2025/08/06 更新

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シミズ トモヒロ
清水 智弘
SHIMIZU,Tomohiro
所属
システム理工学部 教授
職名
教授
連絡先
メールアドレス
外部リンク

学位

  • 博士(工学)

研究分野

  • ナノテク・材料 / ナノ材料科学

所属学協会

  • ナノ学会

    2021年4月

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  • Microprocess and Nanotechnology Conference

    2018年4月

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  • 応用物理学会

    2011年4月 - 2014年3月

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  • Material research society

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委員歴

  • ナノ学会   ナノ構造・物性 副部会長  

    2021年4月   

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  • MNC Program Committee Member  

    2018年4月   

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  • 応用物理学会 プログラム編集委員  

    2011年4月 - 2014年3月   

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論文

  • Electrochemical Biosensor Using Methylene Blue as an Electrochemical Mediator Coupling with DNA Aptamer

    Koki Yamashita, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Hitoshi Ishida, Akinori Kuzuya, Takeshi Ito

    2024 IEEE SENSORS   1 - 4   2024年10月

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    DOI: 10.1109/sensors60989.2024.10784712

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  • Evaluating the Anti-biofilm Performance of Si and Resin Based Nanopillars

    Satoka Matsumoto, Shigemitsu Tanaka, Toshihiro Nagao, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Takeshi Ito

    Journal of Photopolymer Science and Technology   37 ( 4 )   379 - 384   2024年6月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Technical Association of Photopolymers, Japan  

    DOI: 10.2494/photopolymer.37.379

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  • Bactericidal Performance of Nanostructures Resin Surfaces: Nanopillars versus Nanocones 査読

    Zihao Zhao, Yuito Matsushita, Natsuki Ogawa, Gakuto Inoue, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Takeshi Ito

    ACS Applied Nano Materials   7 ( 12 )   14040 - 14049   2024年6月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:American Chemical Society (ACS)  

    DOI: 10.1021/acsanm.4c01288

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  • Antifouling performance against SiO<sub>2</sub> particulate matter adhesion of cyclo olefin polymer nanopillar surfaces

    Zihao Zhao, Nan Liang, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Takeshi Ito

    Environmental Science: Nano   11 ( 10 )   4359 - 4371   2024年

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Royal Society of Chemistry (RSC)  

    The global challenge of soil-derived fine particles, mainly composed of silicon dioxide (SiO<sub>2</sub>) and recognized as particulate matter (PM), presents a significant environmental and economic issue, notably contributing to air pollution.

    DOI: 10.1039/d4en00152d

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  • Electroless Plating of Ru Using Hydrazine Hydrate as a Reducing Agent

    Ryota Saida, Tomohiro Shimizu, Takeshi Ito, Yukihiro Tominari, Shukichi Tanaka, Naoki Fukumuro, Shinji Yae, Shoso Shingubara

    Journal of Electronic Materials   52 ( 10 )   6690 - 6698   2023年7月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Springer Science and Business Media LLC  

    DOI: 10.1007/s11664-023-10605-5

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    その他リンク: https://link.springer.com/article/10.1007/s11664-023-10605-5/fulltext.html

  • Cicada wing-inspired artificial nanopatterns with antifouling properties for clay adhesion

    Zihao Zhao, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Takeshi Ito

    Physica Scripta   98 ( 8 )   085929 - 085929   2023年7月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IOP Publishing  

    Abstract

    To clarify the antifouling properties of cicada-inspired nanostructured surfaces and search for a long-term usable antifouling material, the wings of two types of cicadas in Japan, Graptopsaltria nigrofuscata (GN) and Cryptotympana facialis (CF), were examined by surface wettability and surface free energy. Furthermore, considering the complexity and mechanical stability of natural nanostructured surfaces, we mimicked both cicada wing surfaces by combining nanosphere lithography and metal-assisted chemical etching (MacEtch) on Si wafer, which is low-cost and large-area pattern-fabricable. We obtained artificial nanopatterns with pillar pitches of 200, 500, and 1000 nm (naming 200, 500, and 1000 series). As a result, comparing artificial nanopatterns with cicada wings indicated that nanopillar structures with high roughness factors or structural aspect ratios are likely to have excellent hydrophobic properties and antifouling features. Cryptotympana facialis wings and 200 series Si samples showed less clay particle adhesion than other patterns. These results indicate smaller structured surfaces where air may get trapped, resulting in hydrophobic surfaces contributing to self-cleaning or fouling-release properties. Further, reducing the contact area between nanostructures and clay can be used as an effective strategy to prevent clay adhesion has been proposed, but it has targeted limitations. Herein, we present a novel insight that more fine and high-structural-density nanostructural patterns are universal to prevent clay adhesion.

    DOI: 10.1088/1402-4896/ace562

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    その他リンク: https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1402-4896/ace562/pdf

  • Fabrication and characterization of field-effect transistors based on MoS2 nanotubes prepared in anodic aluminum oxide templates

    Naoya Shiraiwa, Kyosuke Murata, Takuto Nakazawa, Akihiro Fukawa, Koichi Takase, Takeshi Ito, Shoso Shingubara, Tomohiro Shimizu

    Micro and Nano Engineering   19   100200 - 100200   2023年6月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Elsevier BV  

    DOI: 10.1016/j.mne.2023.100200

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  • Fluorescence Intensity of Liposomes and <i>E. coli</i> Attached to Nanopillar Arrays: Implications for Bacterial Death on Nanostructures

    Masato Daimon, Yushi Yanagisawa, Kenta Ishibashi, Yukihiro Tominari, Shukichi Tanaka, Hiroaki Kojima, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Takeshi Ito

    ACS Applied Nano Materials   6 ( 3 )   1610 - 1619   2023年1月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:American Chemical Society (ACS)  

    DOI: 10.1021/acsanm.2c04489

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  • Fabrication and UV photoresponse of ordered ZnO nanonets using monolayer colloidal crystal template

    Yusuke Kiyomi, Naoya Shiraiwa, Takuto Nakazawa, Akihiro Fukawa, Kaito Oshio, Koichi Takase, Takeshi Ito, Shoso Shingubara, Tomohiro Shimizu

    Micro and Nano Engineering   16   100160 - 100160   2022年8月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Elsevier BV  

    DOI: 10.1016/j.mne.2022.100160

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  • Bactericidal effect of nanostructures <i>via</i> lytic transglycosylases of <i>Escherichia coli</i>

    Soma Mimura, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Hiroaki Iwaki, Takeshi Ito

    RSC Advances   12 ( 3 )   1645 - 1652   2022年

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Royal Society of Chemistry (RSC)  

    The time profiles of active cell ratios depended on the growth phase and the absence of some lytic transglycosylases of E. coli. Significant cell damage was not found on the autolysis inhibition condition.

    DOI: 10.1039/d1ra07623j

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  • Detailed analysis of liposome adsorption and its rupture on the liquid-solid interface monitored by LSPR and QCM-D integrated sensor 査読

    ASAI N, MATSUMOTO N, YAMASHITA I, SHIMIZU T, SHINGUBARA S, ITO T

    Sensing and Bio-Sensing Research   32, 100415   2021年

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  • Formation of Ultrathin Segregated-Ge Crystal on Al/Ge(111) Surface 査読

    KOBAYASHI K, OHTA A, KUROSAWA K, ARAIDAI M, TAOKA N, SHIMIZU T, IKEDA M, MAKIHARA K, MIYAZAKI S

    Jpn. J. Appl. Phys.   50, SGGK15   2020年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.35848/1347-4065/ab69de

    Web of Science

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  • Electrochemical Impedance Spectroscopy Study of Liposome Adsorption and Rupture on Self-Assembled Monolayer: Effect of Surface Charge 査読

    FUJINO Y, NAKAMURA R, HAN H W, YAMASHITA I, SHIMIZU T, SHINGUBARA S, ITO T

    Journal of Electroanalytical Chemistry   878,114572   2020年

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  • Observation of ultra-high energy density state with x-ray free electron laser SACLA 査読

    MAEDA Y, HIRONAKA Y, IWASAKI T, KAWASAKI K, SAKAWA Y, IZUMI T, OTA M, EGASHIRA S, NAKAGWA Y, NIGASHI N, SENTOKU Y, KODAMA R, OZAKI N, MATSUOKA T, SOMEKAWA T, YABUUCHI T, INUBUHI Y, TOGASHI T, KON A, SUEDA K, MIYANISHI K, SHINGUBARA S, SHIMIZU T, OKUMURA A, SHIGEMORI K

    High Energy Density Physics   36, 100813   100813 - 100813   2020年

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.hedp.2020.100813

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  • Formation of MoS2 nanostructure arrays using anodic aluminum oxide template 査読

    OKAMOTO T, SHIMIZU T, TAKASE K, ITO T, SHINGUBARA S

    Micro and Nano Engineering   9, 100071   2020年

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  • Adhesion and bactericidal properties of nanostructured surfaces dependent on bacterial motility

    Keisuke Jindai, Kazuki Nakade, Kyosuke Masuda, Takashi Sagawa, Hiroaki Kojima, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Takeshi Ito

    RSC Advances   10 ( 10 )   5673 - 5680   2020年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Royal Society of Chemistry  

    DOI: 10.1039/c9ra08282d

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  • Nano-honeycomb electrode based QCM sensor and its application for PPI detection 査読

    ASAI N, MATSUMOTO N, KAZAMA N, NAGAOKA Y, SUMIYOSHI T, SHIMIZU T, SHINGUBARA S, ITO T

    IEEE Sensors Journal   19, 4025-4030   2019年

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  • Effect of additives on preparation of vertical holes in Si substrate using metal-assisted chemical etching 査読

    SHIMIZU T, NIWA R, ITO T, SHINGUBARA S

    Jpn. J. Appl. Phys.   58, SDDF06-1-4   2019年

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  • Effect of a metal interlayer under Au catalyst for the preparation of microscale holes in Si substrate by metal-assisted chemical etching 査読

    SHIMIZU T, NIWA R, ITO T, SHINGUBARA S

    Jpn. J. Appl. Phys.   58, SAAE07-1-5   2019年

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  • Time-lapse imaging of bactericidal effect on nanostructural surface

    Takeshi Ito, Kazuki Nakade, Keisuke Jindai, Takashi Sagawa, Hiroaki Kojima, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering   10965   2019年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:SPIE  

    DOI: 10.1117/12.2514492

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  • Threshold switching of a NbOx device prepared by DC reactive sputtering

    Ryo Nakajima, Atsushi Azuma, Tomohiro Shimizu, Takeshi Ito, Shoso Shingubara

    Japanese Journal of Applied Physics   58   2019年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Institute of Physics Publishing  

    DOI: 10.7567/1347-4065/ab12c5

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  • Single cell / real-time imaging of bactericidal effect on the nanostructural surface

    Kazuki Nakade, Keisuke Jindai, Takashi Sagawa, Hiroaki Kojima, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Takeshi Ito

    Materials Today: Proceedings   7   497 - 500   2019年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Elsevier Ltd  

    DOI: 10.1016/j.matpr.2018.11.115

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  • Investigation of nanostructure-based bactericidal effect derived from a cicada wing by using QCM-D

    Keisuke Jindai, Kazuki Nakade, Takashi Sagawa, Hiroaki Kojima, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Takeshi Ito

    Materials Today: Proceedings   7   492 - 496   2019年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Elsevier Ltd  

    DOI: 10.1016/j.matpr.2018.11.114

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  • Dual Biosensor Coupling with Localized Surface Plasmon Resonance and QCM-D Using Nano-honeycomb Structure

    Takeshi Ito, Hideaki Terasawa, Naohiro Matsumoto, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    Materials Today: Proceedings   7   470 - 475   2019年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Elsevier Ltd  

    DOI: 10.1016/j.matpr.2018.11.111

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  • Adhesion and Bactericidal Properties of a Wettability-Controlled Artificial Nanostructure

    Kazuki Nakade, Keisuke Jindai, Takashi Sagawa, Hiroaki Kojima, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Takeshi Ito

    ACS Applied Nano Materials   1 ( 10 )   5736 - 5741   2018年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:American Chemical Society  

    DOI: 10.1021/acsanm.8b01340

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  • Evaluation of the interdiffusion properties of Cu and electroless-plated CoWB barrier films formed on silicon substrate 査読

    ISERI T, SHINDO S, MIYACHI Y, HIRATE A, SHIMIZU T, ITO T, TANAKA S, SHINGUBARA S

    Jpn. J. Appl. Phys.   57, 07MB02   2018年7月

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  • Hf layer thickness dependence of resistive switching characteristics of Ti/Hf/HfO2/Au resistive random access memory device 査読

    NAKAJIMA R, AZUMA A, YOSHIDA H, SHIMIZU T, ITO T, SHINGUBARA S

    Jpn. J. Appl. Phys.   57, 02HD06   2018年6月

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  • Switching behavior of resistive change memory using oxide nanowires 査読

    AONO T, SUGAWA K, SHIMIZU T, SHINGUBARA S, TAKASE K

    Jpn. J. Appl. Phys.   57, 02HD07   2018年6月

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  • Highly sensitive quartz crystal microbalance based biosensor using Au dendrite structure

    Naoto Asai, Hideaki Terasawa, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Takeshi Ito

    Japanese Journal of Applied Physics   57 ( 2 )   2018年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Japan Society of Applied Physics  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.02CD01

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  • Voltage pulse induced resistance change response of ReRAM with HfO2 layer 査読

    AZUMA A, NAKAJIMA R, YOSHIDA H, SHIMIZU T, ITO T, SHINGUBARA S

    ECS Transactions   86, 13-21   2018年

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  • Fabrication of highly sensitive QCM sensor using AAO nanoholes and its application in biosensing 査読

    ASAI N, SHIMIZU T, SHINGUBARA S, ITO T

    Sensors and Actuators B   276, 534-539   2018年

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  • Nonenzymatic detection of glucose using BaCuO2 Thin layer 査読

    ITO T, ASADA T, ASAI N, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    Jpn. J. Appl. Phys. IOP PUBLISHING LTD   56, 01AH02   2017年5月

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  • Fabrication and characterization of nano porous lattice biosensor using anodic aluminum oxide substrate

    伊藤健, 松田祐貴, 神馬孝俊, 浅井直人, 清水智弘, 新宮原正三

    IOP PUBLISHING LTD,JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56, 06GG02 ( 6 )   06GG02   2017年5月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:Institute of Physics  

    Localized surface plasmon resonance (LSPR) attracts attention for the fabrication of a biosensor because it can be used easily and is highly sensitive to the change in surface reflective index. Anodic aluminum oxide (AAO) has self-assembled nanoholes and is fabricated easily all over the Al substrate. The depth and diameter of the nanoholes are easily controlled by changing the etching solution and applied voltage. By depositing a Au thin film on the AAO substrate, the sensitivity of the sensor chip was affected by both optical interference and LSPR. In this study, the optical property of the AAO-based LSPR sensor chip was characterized on the basis of the nanostructure. We presented a biosensing application of the AAO-based LSPR sensor chip. The highest sensitivity of the sensor chip was observed at the AAO nanohole diameter of 75 nm and the AAO nanohole depth of 0.5 µm, when bovine serum albumin (BSA) adsorbed on the sensor chip.

    DOI: 10.7567/JJAP.56.06GG02

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  • Sensitized mass change detection using Au nanoporous electrode for biosensing 査読

    ASAI N, TERASAWA H, SHIMIZU T, SHINGUBARA S, ITO T

    IOP PUBLISHING LTD,Jpn. J. Appl. Phys.   56, 06GG04 ( 6 )   06GG04   2017年5月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:Institute of Physics  

    Nanostructured Au was obtained on an electrode of a quartz crystal microbalance (QCM) chip by anodization in an oxalic acid solution. The effective surface area was expanded by these nanostructures and evaluated by electrochemical measurement, scanning electron microscopy (SEM), and atomic force microscopy (AFM). Several morphologies, such as a nanosphere and a spongy structure, were observed under various anodic conditions. We demonstrated that a QCM chip with an anodized Au electrode was effective in biosensing because of its large surface area. The frequency shift corresponding to an antigen–antibody reaction improved on a Au nanosphere electrode compared with a flat surface electrode and spongy structure.

    DOI: 10.7567/JJAP.56.06GG04

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  • Fabrication and Characterization of Nano-Porous Lattice Biosensor Using Anodic Aluminum Oxide Substrate 査読

    ITO T, MATSUDA Y, JINBA T, ASAI N, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    Jpn. J. Appl. Phys.   56, 06GG02 ( 6 )   06GG02   2017年5月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:Institute of Physics  

    Localized surface plasmon resonance (LSPR) attracts attention for the fabrication of a biosensor because it can be used easily and is highly sensitive to the change in surface reflective index. Anodic aluminum oxide (AAO) has self-assembled nanoholes and is fabricated easily all over the Al substrate. The depth and diameter of the nanoholes are easily controlled by changing the etching solution and applied voltage. By depositing a Au thin film on the AAO substrate, the sensitivity of the sensor chip was affected by both optical interference and LSPR. In this study, the optical property of the AAO-based LSPR sensor chip was characterized on the basis of the nanostructure. We presented a biosensing application of the AAO-based LSPR sensor chip. The highest sensitivity of the sensor chip was observed at the AAO nanohole diameter of 75 nm and the AAO nanohole depth of 0.5 µm, when bovine serum albumin (BSA) adsorbed on the sensor chip.

    DOI: 10.7567/JJAP.56.06GG02

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  • Antibacterial property of Si nanopillar array fabricated using metal assisted etching; Mimic a cicada wing

    T. Ito, K. Nakade, N. Asai, T. Shimizu, S. Shingubara

    ECS Transactions   75 ( 53 )   1 - 5   2017年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Electrochemical Society Inc.  

    DOI: 10.1149/07553.0001ecst

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  • Fabrication and optical property of metal nanowire arrays embedded in anodic porous alumina membrane

    Kouichi Takase, Tomohiro Shimizu, Kosuke Sugawa, Takashige Aono, Yuma Shirai, Tomohiko Nishida, Shoso Shingubara

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   55 ( 6 )   2016年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.55.06GH09

    Web of Science

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  • Oxidation of CuSn alloy nanotree and application for gas sensors

    Naoto Kaneko, Tomohiro Shimizu, Yoshihiro Tada, Shoso Shingubara

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   55 ( 6 )   2016年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.55.06GH08

    Web of Science

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  • Formation of three-dimensional nano-trees with perpendicular branches by electrodeposition of CuSn alloy

    Tomohiro Shimizu, Yoshihiro Tada, Naoto Kaneko, Shukichi Tanaka, Shoso Shingubara

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY   294   83 - 89   2016年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.surfcoat.2016.03.046

    Web of Science

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  • Polarized hard X-ray photoemission system with micro-positioning technique for probing ground-state symmetry of strongly correlated materials

    Hidenori Fujiwara, Sho Naimen, Atsushi Higashiya, Yuina Kanai, Hiroshi Yomosa, Kohei Yamagami, Takayuki Kiss, Toshiharu Kadono, Shin Imada, Atsushi Yamasaki, Kouichi Takase, Shintaro Otsuka, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Shigemasa Suga, Makina Yabashi, Kenji Tamasaku, Tetsuya Ishikawa, Akira Sekiyama

    JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION   23   735 - 742   2016年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1107/S1600577516003003

    Web of Science

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  • Band gap tuning of Ni1-x MgxO films by radio-frequency sputter deposition for deep-ultraviolet photodetectors (vol 8, 105801, 2015)

    Hiroki Nishitani, Kohei Ohta, Sosuke Kitano, Ryosuke Hamano, Mitsuru Inada, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Hiromitsu Kozuka, Tadashi Saitoh

    APPLIED PHYSICS EXPRESS   9 ( 3 )   2016年3月

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  • Fabrication of nanocone arrays by two step metal assisted chemical etching method

    Tomohiro Shimizu, Norihiro Tanaka, Yoshihiro Tada, Yasuhiro Hara, Noriaki Nakamura, Junichi Taniuchi, Koichi Takase, Takeshi Ito, Shoso Shingubara

    MICROELECTRONIC ENGINEERING   153   55 - 59   2016年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.mee.2016.01.030

    Web of Science

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  • Nitridation of silicon by nitrogen neutral beam

    Yasuhiro Hara, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    APPLIED SURFACE SCIENCE   363   555 - 559   2016年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.apsusc.2015.11.096

    Web of Science

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  • Fabricating a QCM device with the nanostructures using the AAO template

    N. Asai, T. Ito, T. Shimizu, S. Shingubara

    CHEMICAL SENSORS 12: CHEMICAL AND BIOLOGICAL SENSORS AND ANALYTICAL SYSTEMS   75 ( 16 )   229 - 232   2016年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1149/07516.0229ecst

    Web of Science

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  • Antibacterial characteristics of Si nano-pillar array 査読

    Takeshi Ito, Kazuki Nakade, Naoto Asai, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    2016 IEEE 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)   82 - 84   2016年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Electrodeposited ZnO thin film on twin sensor QCM for sensing of ethanol at room temperature

    Takeshi Ito, Yudai Fujii, Noriyoshi Yamanishi, Naoto Asai, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    PROCEEDINGS OF THE 30TH ANNIVERSARY EUROSENSORS CONFERENCE - EUROSENSORS 2016   168   411 - 414   2016年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1016/j.proeng.2016.11.192

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  • Magnetic conductive filament formed in the ReRAM device with ferromagnetic electrode

    Hayaco Yoshida, Tomohiro Shimizu, Takeshi Ito, Shoso Shingubara

    ECS Transactions   75 ( 32 )   65 - 71   2016年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Electrochemical Society Inc.  

    DOI: 10.1149/07532.0065ecst

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  • Band gap tuning of Ni1-xMgxO films by radio-frequency sputter deposition for deep-ultraviolet photodetectors

    Hiroki Nishitani, Kohei Ohta, Sosuke Kitano, Ryosuke Hamano, Mitsuru Inada, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Hiromitsu Kozuka, Tadashi Saitoh

    Applied Physics Express   8 ( 10 )   2015年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Japan Society of Applied Physics  

    DOI: 10.7567/APEX.8.105801

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  • Nitridation of Si surface at the bottom of submicron trench using nitrogen neutral beam

    Yasuhiro Hara, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   54 ( 6 )   2015年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.54.06FH07

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  • Suppression of switching voltage variation by controlling filament formation in In/porous alumina/Al resistive change random access memory

    Yusuke Tanimoto, Shintaro Otsuka, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Kouichi Takase

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   54 ( 6 )   2015年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.54.06FH05

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  • Magnetoresistance of conductive filament in Ni/HfO2/Pt resistive switching memory

    Shintaro Otsuka, Yoshifumi Hamada, Daisuke Ito, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   54 ( 5 )   2015年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.54.05ED02

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  • Dynamic moderation of an electric field using a SiO2 switching layer in TaOx-based ReRAM

    Qi Wang, Yaomi Itoh, Tohru Tsuruoka, Shintaro Ohtsuka, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Tsuyoshi Hasegawa, Masakazu Aono

    PHYSICA STATUS SOLIDI-RAPID RESEARCH LETTERS   9 ( 3 )   166 - 170   2015年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/pssr.201409531

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  • Controlling I-V Characteristics of Resistive Change Memory (ReRAM) Using Nano-peak Structures 査読

    Kouichi Takase, Yusuke Tanimoto, Shintaro Otsuka, Tomohiro Shimizu, Shoso Shinguhara

    INTERNATIONAL CONFERENCE ON ENERGY, ENVIRONMENT AND CHEMICAL ENGINEERING (ICEECE 2015)   202 - 207   2015年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Stability evaluation of non-agglomerated Pd nanoparticle catalyst dispersion for electroless deposition

    Noriaki Nakamura, Junichi Taniuchi, Takayuki Sone, Kotoe Sasaki, Fumihiro Inoue, Tomohiro Shimzu, Shoso Shingubara

    ECS Transactions   64 ( 40 )   77 - 84   2015年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Electrochemical Society Inc.  

    DOI: 10.1149/06440.0077ecst

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  • Cu displacement plating on electroless plated CoWB layer on SiO&lt;inf&gt;2&lt;/inf&gt; and its adhesion property

    Kohei Ohta, Fumihiro Inoue, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    ECS Transactions   64 ( 40 )   57 - 61   2015年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Electrochemical Society Inc.  

    DOI: 10.1149/06440.0057ecst

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  • Diffusion suppression in vapor-liquid-solid Si nanowire growth by a barrier layer between the Au catalyst and substrate

    Makoto Koto, Masatoshi Watanabe, Etsuko Sugawa, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH   404   192 - 198   2014年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2014.07.023

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  • Effect of electric field concentration using nanopeak structures on the current – voltage characteristics of resistive switching memory

    OTSUKA S, SHIMIZU T, SHINGUBARA S, MAKIHARA K, MIYAZAKI S, YAMASAKI A, TANIMOTO Y, TAKASE K

    AIP Advance   4 ( 8 )   2014年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1063/1.4892823

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  • Morphology dependence of optical reflectance properties for a high-density array of silicon nanowires

    Takuya Yamaguchi, Tomohiro Shimizu, Yasuhiro Morosawa, Koichi Takase, Tzu-Ling Chen, Shin-Ming Lu, Hui-Ching Chien, Shoso Shingubara

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   53 ( 6 )   2014年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.53.06JF10

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  • Effect of confining filaments on the current-voltage characteristics of resistive change memory by using anodic porous alumina

    Yusuke Tanimoto, Shintaro Otsuka, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Tadataka Watanabe, Yoshiki Takano, Kouichi Takase

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   53 ( 6 )   2014年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.53.06JF07

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  • Temperature dependence of resistance of conductive nanofilament formed in Ni/NiOx/Pt resistive switching random access memory

    Shintaro Otsuka, Yoshihumi Hamada, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   53 ( 5 )   2014年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.53.05GD01

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  • Fabrication of vrtical Cu2ZnSnS4 nnowire arrays by two-step electroplating method into anodic aluminum oxide template”, J. Mater. 査読

    WANG C, TANAKA S, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    Sci. & Nanotech   1,1-4   2014年

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  • Fabrication of ordered arrays of anodic aluminum oxide pores with interpore distance smaller than the pitch of nano-pits formed by ion beam etching 査読

    WANG C, TANAKA S, SAITO K, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    J. Mater. Sci. & Nanotech.   1, 1-5   2014年

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  • Improvement of adhesion strength of electroless barrier layer and its application to TSV process

    Shoichiro Nishizawa, Fumihiro Inoue, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    PROCESSING, MATERIALS, AND INTEGRATION OF DAMASCENE AND 3D INTERCONNECTS 5   58 ( 17 )   59 - 65   2014年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1149/05817.0059ecst

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  • Ferromagnetic nano-conductive filament formed in Ni/TiO2/Pt resistive-switching memory

    Shintaro Otsuka, Yoshifumi Hamada, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    Applied Physics A: Materials Science and Processing   118 ( 2 )   613 - 619   2014年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Springer Verlag  

    DOI: 10.1007/s00339-014-8769-5

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  • Anisotropic magnetoresistance of ferromagnetic conductive filament in resistive switching memory

    S. Otsuka, Y. Hamada, T. Shimizu, S. Shingubara

    NONVOLATILE MEMORIES 3   64 ( 14 )   27 - 33   2014年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1149/06414.0029ecst

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  • Study on oxide thickness dependence of current-voltage characteristics for HfOx based ReRAM device

    Y. Hamada, S. Otsuka, T. Shimizu, S. Shingubara

    NONVOLATILE MEMORIES 3   64 ( 14 )   91 - 96   2014年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1149/06414.0093ecst

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  • Temperature Dependence of Resistance of Conductive Filament Formed by Dielectric Breakdown

    Shintaro Otsuka, Takashi Kato, Takuya Kyomi, Yoshifumi Hamada, Yoshihiro Tada, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   52 ( 6 )   2013年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.52.06GF04

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  • Control of Crystal Orientation and Diameter of Silicon Nanowire Using Anodic Aluminum Oxide Template

    Tomohiro Shimizu, Fumihiro Inoue, Chonge Wang, Shintaro Otsuka, Yoshihiro Tada, Makoto Koto, Shoso Shingubara

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   52 ( 6 )   2013年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.52.06GF06

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  • Improvement of the Reproducibility of the Switching Voltage of Resistance Change Random Access Memory by Restricting Formation of Conductive Filaments

    Saeko Furuya, Shintaro Otsuka, Tomohiro Shimizu, Shouso Shingubara, Tadataka Watanabe, Yoshiki Takano, Kouichi Takase

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   52 ( 6 )   2013年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.52.06GF07

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  • Highly adhesive electroless barrier/Cu-seed formation for high aspect ratio through-Si vias

    Fumihiro Inoue, Tomohiro Shimizu, Hiroshi Miyake, Ryohei Arima, Toshihiko Ito, Hirofumi Seki, Yuko Shinozaki, Tomohiko Yamamoto, Shoso Shingubara

    MICROELECTRONIC ENGINEERING   106   164 - 167   2013年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.mee.2013.01.009

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  • Improved control of silicon nanowire growth by the vapor–liquid–solid method using a diffusion barrier layer between catalyst and substrate

    KOTO M, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    J. Crys. Growth   369   1 - 7   2013年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2012.12.140

    Web of Science

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  • Electric Conduction Mechanism of Resistive Switching Memory Fabricated with Anodic Aluminum Oxide

    S. Otsuka, T. Shimizu, S. Shingubara, N. Iwata, T. Watanabe, Y. Takano, K. Takase

    NONVOLATILE MEMORIES   50 ( 34 )   49 - 54   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1149/05034.0049ecst

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  • Control of Adhesion Strength and TSV Filling Morphology of Electroless Barrier Layer

    R. Arima, F. Inoue, H. Miyake, T. Shimizu, S. Shingubara

    PROCESSING MATERIALS OF 3D INTERCONNECTS, DAMASCENE AND ELECTRONICS PACKAGING 4   50 ( 32 )   13 - 18   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1149/05032.0013ecst

    Web of Science

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  • Temperature Dependence of Resistance in Conductive Filament Formed with Dielectric Breakdown of Ni/TiO2/Pt structure

    S. Otsuka, Y. Hamada, T. Shimizu, S. Shingubara

    NONVOLATILE MEMORIES 2   58 ( 5 )   27 - 31   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1149/05805.0027ecst

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  • Adsorption of Pd nanoparticles catalyst in high aspect ratio through-Si vias for electroless deposition

    Fumihiro Inoue, Tomohiro Shimizu, Hiroshi Miyake, Ryohei Arima, Toshihiko Ito, Hirofumi Seki, Yuko Shinozaki, Tomohiko Yamamoto, Shoso Shingubara

    ELECTROCHIMICA ACTA   82   372 - 377   2012年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.electacta.2012.04.165

    Web of Science

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  • Origin of visible photoluminescence from arrays of vertically arranged Si-nanopillars decorated with Si-nanocrystals

    A. S. Kuznetsov, T. Shimizu, S. N. Kuznetsov, A. V. Klekachev, S. Shingubara, J. Vanacken, V. V. Moshchalkov

    NANOTECHNOLOGY   23 ( 47 )   2012年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/0957-4484/23/47/475709

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  • AgNO3-Dependent Morphological Change of Si Nanostructures Prepared by Single-Step Metal Assisted Etching Method

    Tomohiro Shimizu, Takuya Yamaguchi, Fumihiro Inoue, Mitsuru Inada, Shoso Shingubara

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   51 ( 11 )   2012年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.51.11PE02

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  • Resistive switching characteristics of NiO/Ni nanostructure

    Shintaro Otsuka, Saeko Furuya, Ryota Takeda, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Tadataka Watanabe, Yoshiki Takano, Kouichi Takase

    MICROELECTRONIC ENGINEERING   98   367 - 370   2012年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.mee.2012.07.035

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  • Fabrication of an array of Ni/NiO nanowire-ReRAM using AAO template on Si

    Tomohiro Shimizu, Yuzuru Sumita, Fumihiro Inoue, Tetsuji Minokuchi, Shoso Shingubara, Shintaro Otsuka, Koichi Takase

    e-Journal of Surface Science and Nanotechnology   10   476 - 479   2012年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1380/ejssnt.2012.476

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  • Additional Electrochemical Treatment Effects on the Switching Characteristics of Anodic Porous Alumina Resistive Switching Memory

    Shintaro Otsuka, Ryouta Takeda, Saeko Furuya, Tomohiro Shimizu, Shouso Shingubara, Nobuyuki Iwata, Tadataka Watanabe, Yoshiki Takano, Kouichi Takase

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   51 ( 6 )   2012年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.51.06FF11

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  • Evaluation of morphology and crystal structure of Si nanowires prepared by singlestep metal assisted etching

    Takuya Yamaguchi, Tomohiro Shimizu, Fumihiro Inoue, Chounge Wang, Mitsuru Inada, Tadashi Saitoh, Shoso Shingubara

    IMFEDK 2012 - 2012 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai   1439. AA03-02   84 - 85   2012年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/IMFEDK.2012.6218593

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  • All-wet Cu-filled TSV Process Using Electroless Co-alloy Barrier and Cu Seed

    Fumihiro Inoue, Tomohiro Shimizu, Hiroshi Miyake, Ryohei Arima, Shoso Shingubara, Kansai University

    2012 IEEE 62ND ELECTRONIC COMPONENTS AND TECHNOLOGY CONFERENCE (ECTC)   810 - 815   2012年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

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  • Fabrication of an ordered anodic aluminum oxide pore arrays with an interpore distance smaller than the nano-indentation pitch formed by ion beam etching

    Chonge Wang, Yasuharu Ishida, Ken-Ichi Saitoh, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Shukichi Tanaka

    IMFEDK 2012 - 2012 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai   1, 1-5   122 - 123   2012年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/IMFEDK.2012.6218612

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  • Cu2ZnSnS4 thin films and nanowires prepared by different single-step electrodeposition method in quaternary electrolyte

    Minsung Jeon, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    MATERIALS LETTERS   65 ( 15-16 )   2364 - 2367   2011年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.matlet.2011.05.003

    Web of Science

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  • Formation of electroless barrier and seed layers in a high aspect ratio through-Si vias using Au nanoparticle catalyst for all-wet Cu filling technology

    Fumihiro Inoue, Tomohiro Shimizu, Takumi Yokoyama, Hiroshi Miyake, Kazuo Kondo, Takeyasu Saito, Taro Hayashi, Shukichi Tanaka, Toshifumi Terui, Shoso Shingubara

    ELECTROCHIMICA ACTA   56 ( 17 )   6245 - 6250   2011年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.electacta.2011.02.078

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  • Preparation of Ultrahigh-Density Magnetic Nanowire Arrays beyond 1 Terabit/Inch(2) on Si Substrate Using Anodic Aluminum Oxide Template

    Tomohiro Shimizu, Kazumo Aoki, Yoshinori Tanaka, Toshifumi Terui, Shoso Shingubara

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   50 ( 6 )   2011年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.50.06GE01

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  • Large Magnetoresistance Switching Phenomena in Nanoconduction Path Formed with Dielectric Breakdown of SiO2 Multilayered with Ferromagnetic Film

    Yuichi Shiotani, Kohei Shimomura, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   50 ( 6 )   2011年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.50.06GG15

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  • Formation and Evaluation of Electroless-Plated Barrier Films for High-Aspect-Ratio Through-Si Vias

    Hiroshi Miyake, Fumihiro Inoue, Takumi Yokoyama, Tomohiro Shimizu, Shukichi Tanaka, Toshifumi Terui, Shoso Shingubara

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   50 ( 5 )   2011年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.50.05ED01

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  • Low temperature through-Si via fabrication using electroless deposition

    Fumihiro Inoue, Harold Philipsen, Alex Radisic, Silvia Armini, Peter Leunissen, Hiroshi Miyake, Ryohei Arima, Tomohiro Shimizu, Toshiaki Ito, Hirofumi Seki, Yuko Shinozaki, Tomohiko Yamamoto, Shoso Shingubara

    2011 IEEE International 3D Systems Integration Conference, 3DIC 2011   2011年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/3DIC.2012.6262984

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  • Control of crystal orientation of epitaxial Si nanowires on Si substrate using AAO template

    Tomohiro Shimizu, Qi Wang, Chonge Wang, Fumihiro Inoue, Makoto Koto, Minsung Jeon, Shoso Shingubara

    Materials Research Society Symposium Proceedings   1350   59 - 62   2011年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1557/opl.2011.1131

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  • Oxidation Rate Effect on the Direction of Metal-Assisted Chemical and Electrochemical Etching of Silicon

    Zhipeng Huang, Tomohiro Shimizu, Stephan Senz, Zhang Zhang, Nadine Geyer, Ulrich Goesele

    JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY C   114 ( 24 )   10683 - 10690   2010年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1021/jp911121q

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  • Synthesis of silicon nanotubes with cobalt silicide ends using anodized aluminum oxide template

    Zhang Zhang, Lifeng Liu, Tomohiro Shimizu, Stephan Senz, Ulrich Goesele

    NANOTECHNOLOGY   21 ( 5 )   2010年2月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1088/0957-4484/21/5/055603

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  • Conformal electroless deposition of barrier and Cu seed layers for realizing all-wet TSV filling process

    S. Shingubara, F. Inoue, T. Yokoyama, H. Miyake, T. Shimizu, T. Terui, S. Tanaka, K. Kondo

    ECS Transactions   33 ( 36 )   23 - 27   2010年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Electrochemical Society Inc.  

    DOI: 10.1149/1.3575438

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  • Bottom-Imprint Method for VSS Growth of Epitaxial Silicon Nanowire Arrays with an Aluminium Catalyst

    Zhang Zhang, Tomohiro Shimizu, Lijun Chen, Stephan Senz, Ulrich Goesele

    ADVANCED MATERIALS   21 ( 46 )   4701 - +   2009年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/adma.200900995

    Web of Science

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  • Ordered Arrays of Vertically Aligned [110] Silicon Nanowires by Suppressing the Crystallographically Preferred Etching Directions

    Zhipeng Huang, Tomohiro Shimizu, Stephan Senz, Zhang Zhang, Xuanxiong Zhang, Woo Lee, Nadine Geyer, Ulrich Goesele

    NANO LETTERS   9 ( 7 )   2519 - 2525   2009年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1021/nl803558n

    Web of Science

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  • Ordered High-Density Si [100] Nanowire Arrays Epitaxially Grown by Bottom Imprint Method

    Zhang Zhang, Tomohiro Shimizu, Stephan Senz, Ulrich Goesele

    ADVANCED MATERIALS   21 ( 27 )   2824 - +   2009年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/adma.200802156

    Web of Science

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  • Vertical Epitaxial Wire-on-Wire Growth of Ge/Si on Si(100) Substrate

    Tomohiro Shimizu, Zhang Zhang, Shoso Shingubara, Stephan Senz, Ulrich Goesele

    NANO LETTERS   9 ( 4 )   1523 - 1526   2009年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1021/nl8035756

    Web of Science

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  • Extended arrays of vertically aligned sub-10 nm diameter [100] Si nanowires by metal-assisted chemical etching

    Zhipeng Huang, Xuanxiong Zhang, Manfred Reiche, Lifeng Liu, Woo Lee, Tomohiro Shimizu, Stephan Senz, Ulrich Goesele

    NANO LETTERS   8 ( 9 )   3046 - 3051   2008年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1021/nl802324y

    Web of Science

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  • Synthesis of epitaxial Si(100) nanowires on Si(100) substrate using vapor-liquid-solid growth in anodic aluminum oxide nanopore arrays

    T. Shimizu, S. Senz, S. Shingubara, U. Goesele

    APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING   87 ( 4 )   607 - 610   2007年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1007/s00339-007-3984-y

    Web of Science

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  • Synthesis of vertical high-density epitaxial Si(100) nanowire arrays on a Si(100) substrate using an anodic aluminum oxide template

    Tomohiro Shimizu, Tian Xie, Jo Nishikawa, Shoso Shingubara, Stephan Senz, Ulrich Goesele

    ADVANCED MATERIALS   19 ( 7 )   917 - +   2007年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/adma.200700153

    Web of Science

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  • Homoepitaxial growth of vertical Si nanowires on Si (100) substrate using Anodic Aluminum Oxide template 査読

    SHIMIZU Tomohiro, XIE T, SCHMIDT V, NISHIKAWA Jo, SHINGUBARA Shoso, SENZ S, GOESELE U

    Materials Research Society   1058E, JJ03-01   2007年

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  • Epitaxial growth of Cu nanodot arrays using an AAO template on a Si substrate

    T Shimizu, M Nagayanagi, T Ishida, O Sakata, T Oku, H Sakaue, T Takahagi, S Shingubara

    ELECTROCHEMICAL AND SOLID STATE LETTERS   9 ( 4 )   J13 - J16   2006年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1149/1.2176891

    Web of Science

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  • Fabrication of carbon nanotube and nanorod arrays using nanoporous templates

    SJ Huang, T Shimizu, H Sakaue, S Shingubara, T Takahagi

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS   44 ( 7A )   5289 - 5291   2005年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1143/JJAP.44.5289

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  • Magnetic properties of wide gap layered semiconductor (La(1-x)M(x)o) Cu1-yTyS (M = Ca, Ce; T = Mn, Co, Zn) 査読

    K. Takase, O. Shoji, T. Shimizu, Y. Takahashi, Y. Takano, K. Sekizawa

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   272   E1535 - E1536   2004年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jmmm.2003.12.798

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  • Aspect ratio dependence of hysteresis property of high density Co wire array buried in porous alumina template

    S Shingubara, K Morimoto, M Nagayanagi, T Shimizu, O Yaegashi, GR Wu, H Sakaue, T Takahagi, K Takase

    JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS   272   1598 - 1599   2004年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.jmmm.2003.12.320

    Web of Science

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  • Growth of cobalt nano column arrays directly on Si(111) substrate using AAO template

    T. Shimizu, M. Nagayanagi, T. Hao, H. Sakaue, T. Takahagi, S. Shingubara

    Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2004   298 - 299   2004年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:The Japan Society of Applied Physics  

    DOI: 10.1109/imnc.2004.245661

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  • Formation of ultra-high-density ferromagnetic column arrays beyond 1 Tera/inch2 using porous alumina template 査読

    SHIMIZU Tomohiro, NAGAYANAGI Mamoru, FUJII Y, YAEGASHI O, WU G, SAKAUE H, TAKAHAGI T, SHINGUBARA Shoso

    Transaction of Magnetic society of Japan   4, 231-234 ( 4 )   231 - 234   2004年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:公益社団法人日本磁気学会  

    The formation of ultra-high-density ferromagnetic column arrays beyond 1 Tera/inch<SUP>2</SUP> was investigatedusing porous alumina films formed on Si substrate. It was empirically known that a pitch of nanohole array shrunk with a reduction of anodic voltage. We carried out anodic oxidation of sputtered Al film at the anodic voltage below 10V, and found that the density of the nanohole arraysincreased significantly with a reduction of the anodic voltage.and reached 1.5 Tera/inch<SUP>2</SUP> when the anodic voltage was 5.0 V. We also succeeded in the electro-plating of Co column array in these fine holes.The Co column arrays formed by electroplating in the nanoholes were polycrystalline. and showed perpendicular magnetic anisotropy when their aspect ratio was larger than 3. The coercive field of Co columns tended to increase with a reduction of the hole diameter, which was confirmed by micromagnetic simulation based on the LLG equations. These results strongly suggest that ferromagnetic nano column arrays buried in porous alumina film on substrate have a high potential for application to a future ultra-high density magnetic recording media.

    DOI: 10.3379/tmjpn2001.4.231

    CiNii Books

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  • Electronic structure of oxysulfide (LaO)CuS and (La1-xCaxO)Cu1-xNixS (x≦0.10) studied by photoemission and inverse-photoemission spectroscopies

    SATO H, NEGISHI H, WADA A, INO A, NEGISHI S, HIRAI C, NAMATAME H, TANIGUCHI M, TAKASE K, TAKAHASHI Y, SHIMIZU Tomohiro, TAKANO Y, SEKIZAWA K

    Physical Rev. B   68 ( 3 )   2003年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1103/PhysRevB.68.035112

    Web of Science

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  • Structural defects effect on ferromagnetism of layered oxysulfide (La1-xCaxO)Cu1-xNixS 査読

    K Takase, T Shimizu, K Makihara, Y Takahashi, Y Takano, K Sekizawa, Y Kuroiwa, S Aoyagi, A Utsumi

    PHYSICA B-CONDENSED MATTER   329   961 - 962   2003年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/S0921-4526(02)02623-6

    Web of Science

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  • Static and Dynamic transport study of -FeSi2 single crystals

    HARA Y, TAKASE K, SHIMIZU Tomohiro, OHNISHI A, SASAKI M

    Physica B   329   1113 - 1114   2003年5月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/S0921-4526(02)02462-6

    Web of Science

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  • Electrical resistivity and photoemission spectra of layered oxysulfide (La1-xCaxO)Cu1-xNixS 査読

    TAKASE Koichi, SHIMIZU Tomohiro, MAKIHARA K, SATO H, NEGISHI H, TAKAHASHI Y, TAKANO Y, SEKIZAWA K, KUROIWA Y, AOYAGI S, UTSUMI A, WADA A, INO A, NAMETAKE H, TANIGUCHI M

    Physica B   329-333, 898-899   2003年

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  • Electrical resistivity and photoluminescence spectrum of layered oxysulfide (LaO)CuS 査読

    TAKASE Koichi, KOYANO M, SHIMIZU Tomohiro, MAKIHARA K, TAKANO Y, SEKIZAWA K

    Solid state commn.   123, 531-534   531 - 534   2002年

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MISC

  • 無電解CoWBめっき膜上へのCu置換めっきの形成と密着性評価

    太田 晃平, 井上 史大, 清水 智弘, 新宮原 正三

    マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集   24   387 - 390   2014年9月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:エレクトロニクス実装学会  

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  • Electrical resistivity and photoemission spectra of layered oxysulfide (La1-xCaxO)Cu1-xNixS

    K Takase, T Shimizu, K Makihara, H Sato, H Negishi, Y Takahashi, Y Takano, K Sekizawa, Y Kuroiwa, S Aoyagi, A Utsumi, A Wada, A Ino, H Namatame, M Taniguchi

    PHYSICA B-CONDENSED MATTER   329   898 - 899   2003年5月

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  • Fabrication of ultra high density ferromagnetic column arrays by porous alumina template for magnetic recording media

    T. Shimizu, K. Morimoto, M. Nagayanagi, Y. Fujii, O. Yaegashi, G. R. Wu, H. Sakaue, T. Takahagi, S. Shingubara

    Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2003 - 2003 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2003   62 - 63   2003年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI: 10.1109/IMNC.2003.1268519

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講演・口頭発表等

  • Formation and evaluation of Cu2ZnSnS4 films prepared by electroplating and sulfurization with CS2

    NISHIDA T, SHIMIZU T, TAKASE K, TANAKA S, ITO T, SHINGUBARA S

    2016年11月 

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    開催年月日: 2016年11月

    開催地:Singapore  

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  • Nano-porous Lattice Biosensor Using Anodic Aluminum Oxide Substrate

    Matsuda Y, ASAI N, SHIMIZU T, SHINGUBARA S, ITO T

    2016年11月 

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    開催年月日: 2016年11月

    開催地:Kyoto  

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  • Sensitized Mass Change Detection by Using Au Nanoporous Electrode for Biosensing

    TERASAWA H, ASAI N, SHIMIZU T, SHINGUBARA S, ITO T

    2016年11月 

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    開催年月日: 2016年11月

    開催地:Kyoto  

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  • Magnetic conductive filament formed in the ReRAM device with ferromagnetic electrode

    YOSHYIDA H, SHIMIZU T, ITO T, SHINGUBARA S

    2016年10月 

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    開催年月日: 2016年10月

    開催地:Hawaii, USA  

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  • Antibacterial Property of Si Nanopillar Array Fabricated Using Metal Assisted Etching; Mimic a Cicada Wing

    ITO T, NAKADE K, ASAI N, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    2016年10月 

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    開催年月日: 2016年10月

    開催地:Hawaii, USA  

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  • Fabricating a QCM Device with the Nanostructures Using the AAO Template

    ASAI N, ITO T, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    2016年10月 

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    開催年月日: 2016年10月

    開催地:Hawaii, USA  

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  • Electroless plating of diffusion barrier films on SiO2 and evaluation of film characteristics

    HIRATE A, MIYACHI Y, OHTA K, SHIMIZU T, ITO T, SHINGUBARA S

    2016年10月 

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    開催年月日: 2016年10月

    開催地:Hawaii, USA  

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  • Oxidation of CuSn alloy nano-tree and application for gas sensors

    KANEKO N, SHIMIZU T, ITO T, TADA Y, SHINGUBARA S

    2016年10月 

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    開催年月日: 2016年10月

    開催地:Hawaii, USA  

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  • Electrodeposited ZnO thin film on twin sensor QCM for sensing of ethanol at room temperature

    ITO T, FUJII Y, YMANISHI N, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    2016年9月 

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    開催年月日: 2016年9月

    開催地:Hungary  

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  • Antibacterial characteristics of Si nano-pillar array

    ITO T, NAKADE K, ASAI N, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    2016年9月 

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    開催年月日: 2016年9月

    開催地:Sendai, Japan  

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  • Formation of Si moth-eye structures using 2-step metal assisted chemical etching

    SHIMIZU T, TAKASE K, ITO T, SHINGUBARA S

    2016年7月 

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    開催年月日: 2016年7月

    開催地:Tessalonik, Greece  

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  • Fabrication of Vertical Cu2ZnSnS4/Mo/Si Nanocylinder Arrays Using a Patterned Si Nanowire Arrays Template

    WANG C, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    2016年6月 

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    開催年月日: 2016年6月

    開催地:Munich, Germany  

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  • Opto-electronic properties of Cu2ZnSnS4 films prepared using electroplating and CS2 sulfurization process

    SHIMIZU T, NISHIDA K, NISHIDA T, TAKASE K, WANG C, TANAKA S, SHINGUBARA S

    2016年6月 

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    開催年月日: 2016年6月

    開催地:Munich, Germany  

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  • Highly adhesive displacement plated Cu seed on CoWB barrier for all-wet TSV fill process

    SHINGUBARA S, OHTA K, INOUE F, ITO T, SHIMIZU T

    2016年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2016年3月

    開催地:Brussels, Belgium  

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  • Non-enzymatic detection of glucose using BaCuO2 thin layer

    ITO T, ASADA T, ASAI N, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    2016年3月 

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    開催年月日: 2016年3月

    開催地:Nagoya, Japan  

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  • Fabrication and optical property of metal nanowire arrays embedded in anodic porous alumina membrane

    TAKASE K, SHIMIZU T, SUGAWA K, SHINGUBARA S

    2015年11月 

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    開催年月日: 2015年11月

    開催地:Toyama, Japan  

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  • Switching and Magnetoresistance Characteristics Observed in the ReRAM Device with Ferromagnetic Electrodes

    YOSHYIDA H, ITO D, SHIMIZU T, ITO T, SHINGUBARA S

    2015年11月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年11月

    開催地:Toyama, Japan  

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  • Oxidation of CuSn alloy nanotree and application for gas sensors

    KANEKO N, SHIMIZU T, TADA Y, ITO T, SHINGUBARA S

    2015年11月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年11月

    開催地:Toyama, Japan  

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  • Highly adhesive displacement plated Cu seed layer for all-wet TSV fill process

    OHTA K, INOUE F, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    2015年10月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年10月

    開催地:Phonenics, USA  

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  • Resistance switching phenomenon associated with anisotropic magnetoresistance ofthe ReRAM device with ferromagnetic electrodes

    ITO D, YOSHIDA H, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    2015年10月 

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    開催年月日: 2015年10月

    開催地:Phonenics, USA  

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  • Fabrication of nanocone arrays by two step metal assisted chemical etching method

    TANAKA N, SHIMIZU T, TADA Y, HARA Y, NAKAMURA N, TANIUCHI J, TAKASE K, ITO T, SHINGUBARA S

    2015年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年9月

    開催地:Hague, Netherlands  

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  • All-wet TSV filling with highly adhesive displacement plated Cu seed layer

    OHTA K, INOUE F, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    2015年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年9月

    開催地:Sendai, Japan  

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  • Temperature dependence of magnetoresistance characteristics of the on-state of resistive random access memory with ferromagnetic electrode

    ITO D, HAMADA Y, OTSUKA S, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    2015年6月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年6月

    開催地:Kyoto, Japan  

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  • Effect of additive on the formation of CuSn Alloynano-trees formed with DC Electroplating

    SHINGUBARA S, SHIMIZU T, KANEKO N, TADA Y

    2015年5月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2015年5月

    開催地:Chicago, USA  

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  • CuSn合金ナノツリー構造体の電解めっき形成と評価

    夛田 芳広, 新宮原 正三, 清水 智弘, 岡 演之

    2014年電気化学会第81回大会  2014年3月 

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    開催年月日: 2014年3月

    開催地:大阪  

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  • Temperature Dependence of Resistance of Conductive Nano-filament Formed in Resistance Change Memory

    OTSUKA S, HAMADA Y, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    第61回応用物理学会春季学術講演会  2014年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    開催地:神奈川  

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  • 凝集構造を利用したSi ナノワイヤ配列の光学特性制御

    山口 卓也, 清水 智弘, 新宮原 正三

    第61回応用物理学会春季学術講演会  2014年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    開催地:神奈川  

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  • 自己集合ポリスチレン球とメタルアシストエッチングを用いた規則配列Siナノワイヤ作製と光学特性評価

    近藤 彰人, 山口 卓也, 王 崇娥, 原 康寛, 清水 智弘, 新宮原 正三

    2014年電気化学会第81回大会  2014年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    開催地:大阪  

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  • 窒素中性粒子ビームによるSi表面の窒化

    原 安寛, 清水 智弘, 新宮原 正三

    第61回応用物理学会春季学術講演会  2014年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2014年3月

    開催地:神奈川  

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  • Enhancement of light absorption using bunched Si nanowire arrays

    YAMAGUCHI T, SHIMIZU T, MOROSAWA Y, TAKASE K, SHINGUBARA S

    Material Research Society fall meeting 2013  2013年11月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年11月

    開催地:Boston, USA  

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  • Study on collective morphology dependence of optical reflectanceproperties for a high density array of silicon nanowires

    YAMAGUCHI T, SHIMIZU T, MOROSAWA Y, TAKASE K, SHINGUBARA S

    26th International Microprocesses and Nanotechinology Conference  2013年11月 

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    開催年月日: 2013年11月

    開催地:Sapporo  

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  • Fabrication of Cu2ZnSnS4 thin films by sulfurization of electrodeposited CuZn/CuSn precursor layers with CS2

    WANG C, SHIMIZU T, TANAKA S, KAWAKAMI A, KONDO A, TERUI T, TAKASE K, SHINGUBARA S

    23rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference  2013年11月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2013年11月

    開催地:Taipei, Taiwan  

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  • Niナノワイヤを用いた抵抗変化型メモリの形成と評価

    京見 拓也, 大塚 慎太郎, 清水 智弘, 新宮原 正三

    第33回表面科学学術講演会  2013年11月 

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    開催年月日: 2013年11月

    開催地:茨城  

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  • Effect of confining filaments on the current – voltage characteristics of resistive change memory by using anodic porous alumina

    TANIMOTO Y, HAMADA Y, OTSUKA S, SHIMIZU T, SHINGUBARA S, WATANABE T, TAKANO Y, TAKASE K

    26th International Microprocesses and Nanotechinology Conference  2013年11月 

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    開催年月日: 2013年11月

    開催地:Sapporo  

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  • Study on conductive filaments formed in ReRAM devices through temperature dependence of electrical transport properties

    HAMADA Y, ITO D, OTSUKA S, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    26th International Microprocesses and Nanotechinology Conference  2013年11月 

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    開催年月日: 2013年11月

    開催地:Sapporo  

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  • Temperature Dependence of Resistance of Conductive Nano-filament Formed in Ni/NiOx/Pt ReRAM

    OTSUKA S, HAMADA Y, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    ADMETA Plus 2013: Asiasn Session  2013年10月 

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    開催年月日: 2013年10月

    開催地:Tokyo  

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  • Highly conformal and adhesive electroless barrier and Cu seed formationusing nanoparticle catalyst for realizing a high aspect ratio Cu-filled TSV

    NISHIZAWA S, ARIMA R, INOUE F, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    IEEE 3DIC-2013  2013年10月 

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    開催年月日: 2013年10月

    開催地:Sanfrancisco, USA  

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  • 金属酸化膜中に形成された導電性フィラメントの抵抗温度依存性

    濱田 佳典, 大塚 慎太郎, 伊藤 大介, 清水 智弘, 新宮原 正三

    第74回応用物理学会秋季学術講演会  2013年9月 

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    開催年月日: 2013年9月

    開催地:京都  

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  • 高密着性無電解めっきバリア膜の検討とTSVプロセスへの応用

    西澤 正一郎, 井上 史大, 清水 智弘, 新宮原 正三

    MES 2013  2013年9月 

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    開催年月日: 2013年9月

    開催地:大阪  

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  • Fabrication and absorption properties of ordered Si nanowire arrays using porous aluminum mask

    SHIMIZU T, YAMAGUCHI T, TAKASE K, SHINGUBARA S

    International Porous Powder Materials 2013  2013年9月 

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    開催年月日: 2013年9月

    開催地:Izmir, Turkey  

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  • メタルアシストエッチングと陽極酸化アルミナを用いた規則配列Si ナノワイヤの形成と反射率特性評価

    山口 卓也, 清水 智弘, 新宮原 正三

    2013年精密工学会  2013年9月 

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    開催年月日: 2013年9月

    開催地:大阪  

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  • S i ナノワイヤ配列の光学特性の凝集度による相違

    山口 卓也, 清水 智弘, 高瀬 浩一, 諸沢 泰裕, 中原 住雄, 新宮原 正三

    第74回応用物理学会秋季学術講演会  2013年9月 

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    開催年月日: 2013年9月

    開催地:京都  

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  • Fabrication of Cu2ZnSnS4 thin films by sulfurization of electrodeposited CuZn/CuSn precursor layers with CS2

    WANG C, KONDO A, TERUI T, TANAKA S, TAKASE T, SHIMIZU T, SHINGBARA S

    第74回応用物理学会秋季学術講演会  2013年9月 

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    開催年月日: 2013年9月

    開催地:京都  

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  • Enhancement of light absorption using bunched Si nanowire arrays

    HAMADA Y, KATO T, OTSUKA S, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    The 2013 International Meeting for Future of Electron Device, Kansai  2013年6月 

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    開催年月日: 2013年6月

    開催地:Osaka  

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  • 自己組織テンプレートとメタルアシストエッチング法を用いた規則配列Siナノワイヤ形成と評価

    山口 卓也, 清水 智弘, 夛田 芳広, 新宮原 正三

    第60回応用物理学会春季学術講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

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  • 電気化学処理を施した硫酸陽極酸化アルミナを用いた抵抗変化素子の電流電圧特性

    谷本 優輔, 古屋 沙絵子, 大塚 慎太郎, 清水 智弘, 新宮原 正三, 渡辺 忠孝, 高野 良紀, 高瀬 浩一

    第60回応用物理学会春季学術講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

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  • 高アスペクト比TSVへの無電解めっき皮膜形成に向けたPdナノ粒子触媒吸着

    井上 史大, 清水 智弘, 三宅 浩志, 有馬 良平, 伊藤 俊彦, 關 洋文, 篠崎 夕子, 山本 智彦, 新宮原 正三

    第60回応用物理学会春季学術講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

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  • VLS法によるナノワイヤ成長 拡散抑制層追加による成長の改善

    古藤 誠, 清水 智弘, 新宮原 正三

    第60回応用物理学会春季学術講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

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  • ガスセンサ応用に向けた銅錫酸化物ナノツリー構造の形成と評価

    夛田 芳広, 田中 良典, 清水 智弘, 新宮原 正三

    第60回応用物理学会春季学術講演会  2013年3月 

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    開催年月日: 2013年3月

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  • Fabrication of Cu2ZnSnS4 nanowire arrays using electroplating with nanohole template

    WANG C, TANAKA Y, TERUI T, TANAKA S, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    PCSEC-22  2012年11月 

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    開催年月日: 2012年11月

    開催地:HANGZHOU. CHINA  

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  • Electric Conduction Mechanism of Resistive Switching Memory using Anodic Porous Alumina

    OTSUKA S, SHIMIZU T, SHINGUBARA S, IWATA N, WATANABE T, TAKANO Y, TAKASE K

    PRiME 2012  2012年10月 

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    開催年月日: 2012年10月

    開催地:Honolulu, USA  

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  • Large Resistive Switching Phenomenon Induced by Magnetic Field in Nano Conduction Path

    KATO T, SHIMIZU T, OTSUKA S, KYOMI T, SHINGUBARA S

    PRiME 2012  2012年10月 

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    開催年月日: 2012年10月

    開催地:Honolulu, USA  

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  • Control of Adhesion Strength and TSV Filling Morphology of Electroless Barrier Layer

    ARIMA R, INOUE F, MIYAKE H, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    PRiME 2012  2012年10月 

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    開催年月日: 2012年10月

    開催地:Honolulu, USA  

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  • Control of the Morphology of Si Nanostructure Using Single-Step Metal Assisted Etching

    YAMAGUCHI T, SHIMIZU T, INOUE F, WANG C, OTSUKA S, TADA Y, INADA M, SHINGUBARA S

    PRiME 2012  2012年10月 

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    開催年月日: 2012年10月

    開催地:Honolulu, USA  

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  • Temperature dependence of resistance of conductive filament formed by dielectric breakdown

    OTSUKA S, KATO T, KYOMI T, HAMADA Y, TADA Y, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    MNC 2012  2012年10月 

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    開催年月日: 2012年10月

    開催地:KOBE, JAPAN  

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  • Fabrication of nanostructured Cu2ZnSnS4 using electrodepostion with AAO template

    TANAKA Y, WANG C, KONDOU A, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    MNC 2012  2012年10月 

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    開催年月日: 2012年10月

    開催地:KOBE, JAPAN  

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  • Control of crystal orientation and diameter of Si nanowire using anodic aluminum oxide template

    SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    MNC 2012  2012年10月 

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    開催年月日: 2012年10月

    開催地:KOBE, JAPAN  

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  • Anodic condition dependence of current-voltage characteristic of resistive change memory using anodic porous alumina

    FURUYA S, OTUKA S, SHIMIZU T, SHINGUBARA S, WATANABE T, TAKANO Y, TAKASE K

    MNC 2012  2012年10月 

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    開催年月日: 2012年10月

    開催地:KOBE, JAPAN  

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  • 金属触媒とポーラスアルミナを用いた垂直シリコンナノワイヤ配列の形成

    清水 智弘, 夛田 芳裕, 山口 卓也, 新宮原 正三

    第4回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2012年10月 

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    開催年月日: 2012年10月

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  • Improvement of Adhesion Strength of Electroless Barrier Layer on SiO2 and Control of Deposition Profile in a High Aspect Ratio TSV

    NISHIZAWA S, INOUE F, ARIMA R, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    ADMETA 2012  2012年10月 

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    開催年月日: 2012年10月

    開催地:TOKYO, JAPAN  

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  • abrication of vertical Cu2ZnSnS4 nanowire arrays using anodic aluminum oxide templates

    王 崇娥, 田中 良典, 照井 通文, 田中 秀吉, 清水 智弘, 新宮原 正三

    第73回応用物理学会秋季学術講演会  2012年9月 

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    開催年月日: 2012年9月

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  • SiO2上の無電解バリアメタル膜の密着性向上の検討

    西沢 正一郎, 井上 史大, 有馬 良平, 清水智弘, 新宮原 正三

    第73回応用物理学会秋季学術講演会  2012年9月 

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    開催年月日: 2012年9月

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  • 自己組織テンプレートを用いたナノワイヤ抵抗変化素子の形成と評価

    京見 拓也, 大塚 慎太郎, 武田 佳樹, 清水 智弘, 新宮原 正三

    第73回応用物理学会秋季学術講演会  2012年9月 

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    開催年月日: 2012年9月

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  • Au10クラスターの電子輸送特性

    小川 智矢, 深谷 一樹, 清水 智弘, 新宮原 正三, 齊藤 正, 稲田 貢

    第73回応用物理学会秋季学術講演会  2012年9月 

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    開催年月日: 2012年9月

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  • Large resistive switching phenomenon induced by magnetic field in nano conduction path formed in SiO2

    SHIMIZU T, OTUKA S, TAKASE K, SHINGUBARA S

    ICM 2012  2012年7月 

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    開催年月日: 2012年7月

    開催地:BUSAN, KOREA  

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  • Electrical properties of metal oxide nanowire formed in anodic aluminum oxide template

    SHIMIZU T, KYOMI T, OTSUKA S, TAKASE K, SHINGUBARA S

    ICPS 2012  2012年7月 

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    開催年月日: 2012年7月

    開催地:ZURICH, SWISS  

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  • All-wet Cu-filled TSV Process Using Electroless Co-alloy Barrier and Cu Seed

    INOUE F, SHIMIZU T, ARIMA R, MIYAKE H, SHINGUBARA S

    ECTC 2012  2012年5月 

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    開催年月日: 2012年5月

    開催地:San Diego, USA  

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  • Evaluation of crystal structure of porous Si nanowires prepared by metal assisted etching”

    YAMAGUCHI T, SHIMIZU T, WANG C, WANG Q, SHINGUBARA S, KUZNETSOV A, VANACKEN J, MOSHCHALKOV V

    MRS 2012  2012年5月 

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    開催年月日: 2012年5月

    開催地:Sun Francisco,USA  

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  • Electroless Deposition of Barrier and Seed Layers for Via Last Cu-TSV Metalization

    INOUE F, SHIMIZU T, ARIMA R, MIYAKE H, SHINGUBARA S

    IMFEDK 2012  2012年5月 

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    開催年月日: 2012年5月

    開催地:OSAKA, JAPAN  

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  • Low Temperature Through-Si Via Fabrication Using Electroless Deposition

    INOUE F, PHILIPSEN H, RADISIC A, AMNINI S, LEUNISSEN P, HMIYAKE H, ARIMA R, SHIMIZU T, ITO T, SEKI H, SHINOZAKI Y, YAMAMOTO T, SHINGUBARA S

    3DIC 2012  2012年2月 

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    開催年月日: 2012年2月

    開催地:OSAKA, JAPAN  

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産業財産権

  • 抵抗変化型メモリ及びその作製方法

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    出願番号:2012-176343  出願日:2012年8月

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受賞

  • Outstanding Reviewer Awards 2024

    2025年3月   IOP Publishing  

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共同研究・競争的資金等の研究課題

  • 電界印加による反強磁性-強磁性相転移の発現と不揮発性磁気メモリ応用

    研究課題/領域番号:21K04159  2021年4月 - 2024年3月

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

    岩田 展幸, 高瀬 浩一, 清水 智弘

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    配分額:4160000円 ( 直接経費:3200000円 、 間接経費:960000円 )

    CaFeOx(CFO)の酸化度が磁気特性に与える影響は大きい。CaFeO3(CFO3)から酸素欠損を起こした場合、CFO層内にはFe3+とFe4+が混在し強磁性的性質を示す。X線反射測定結果をフィッティングして、CFO3の存在比を見積もり以下の結果を得た。300Kにおける飽和磁化の大きさから、CFO3の存在比が約50%で緩やかなピークを示したことから、CFOの強磁性的性質を示唆していることがわかった。超格子では存在比が50%以下と低い値であったのに対し、積層膜では65%以上と非常に高い値であった。積層を続けることで、CFO3からの酸素欠損が上昇することがわかった。よって、反強磁性-強磁性転移を達成するには、積層膜が最適であると示唆する結果となった。
    一方、PLD成膜装置に装着されているターゲットマニピュレータの修理を行い、電気系統およびガス配管の整理・整備することで、事故を無くし操作性を改善して、連続成膜をより効率よく実施できるようになった。

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  • 制御可能なナノ構造を用いた微生物抗菌メカニズムの解明

    研究課題/領域番号:18K19008  2018年6月 - 2021年3月

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  挑戦的研究(萌芽)

    伊藤 健, 小嶋 寛明, 新宮原 正三, 清水 智弘

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    配分額:6110000円 ( 直接経費:4700000円 、 間接経費:1410000円 )

    本研究では、ナノ構造が発現する抗菌メカニズムを解明するために、ナノ構造の寸法を制御すること、そしてその物理化学的性質を制御することでそれらのパラメーターが抗菌性に及ぼす影響について評価を行った。
    研究の結果、シリコン基板にナノピラーを任意の寸法で形成できる技術を開発し、それを用いて抗菌性を発現する構造的特徴を見出した。また、物理化学的条件も重要である事を見出した。

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  • 光触媒/多波長吸収金属ナノワイヤーコアシェルアレイによる可視光利用高効率水素生成

    研究課題/領域番号:18K04877  2018年4月 - 2023年3月

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

    高瀬 浩一, 清水 智弘, 田中 啓文

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    配分額:4290000円 ( 直接経費:3300000円 、 間接経費:990000円 )

    今年度も引き続き、金ナノワイヤーの作成をポーラスアルミナのナノ細孔を利用して行った。ポーラスアルミナの底部にはバリア層と呼ばれる絶縁層が存在するため、電解メッキにて金を埋め込むためには、このバリア層を除去しなければならない。バリア層除去のために、電圧降下処理とエッチング処理を併用した。これらを経て得られる金ナノワイヤーは、場所により長さが異なり、不均一である。また、バリア層を除去してもアルミニウムは直ちに酸化されてしまうので、再現性を得ることが大変困難である。これらの要因が妨げとなり、現在までに均一な長さをもつナノワイヤーの作成には至っていない。また、ナノワイヤーが成長する条件では、比較的長い1μm程度のワイヤーが成長することがほとんどであった。この試料の光学特性を評価した結果、金特有のプラズモン吸収がほとんど見られなかった。これは、長さが長いために、大半の部分はワイヤーの影になり、光が届いていないためであると推察される。
    以上のようなナノワイヤーであることは、承知の上で、原子層堆積法による酸化チタン膜でのナノワイヤーコーティングを実施した。これで、一様、目標とする酸化チタン/金なのワイヤーコアシェル構造を作成できた。得られた複合体が可視光のもと、水を分解できるかどうかを、暗室中でグリーンレーザーを光源に用い水分解実験を試みたところ、ガスの発生を確認できた。現状では、これらのガスが何であるか特定には至っていない。

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  • 多層膜金属触媒を用いた湿式シリコン基板垂直エッチング法の高精度制御に関する研究

    研究課題/領域番号:18K04916  2018年4月 - 2022年3月

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

    清水 智弘, 新宮原 正三, 伊藤 健

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    配分額:4420000円 ( 直接経費:3400000円 、 間接経費:1020000円 )

    貴金属触媒を用いた湿式エッチング法(Metal assisted chemical Etching: MacEtch)をシリコン基板のマイクロスケール加工技術に適用するためには、①貴金属触媒であるAuのSiへの拡散防止、②ランダムエッチングの発生防止という課題がある。これらの課題に対し、我々は貴金属触媒をAu単層構造からAu/Tiなど中間層金属を用いた多層金属構造を用いることでエッチング初期に起こるランダムエッチングの抑止に成功し、そのメカニズムを明らかにした。また、長時間のエッチング時に起こるランダムエッチングにおいては界面活性剤の添加が有効であることを示した。

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  • 空間制御型抵抗変化メモリの創成とスイッチングメカニズムの解明

    研究課題/領域番号:15K04602  2015年4月 - 2018年3月

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(C)

    高瀬 浩一, 清水 智弘, 牧原 克典

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    配分額:4940000円 ( 直接経費:3800000円 、 間接経費:1140000円 )

    絶縁体ナノワイヤーを用いた抵抗変化メモリを作成し、そのスイッチング特性を調査した。このデバイスにおいては、絶縁体の直径が約40nm程度であるため、この中に作られる導電性フィラメントの数は制限されることになり、スイッチング電圧のばらつきが改善されると期待される。そこで、ポーラスアルミナをナノテンプレートとして電解メッキ法によりニッケルをナノ細孔に埋め込むことでニッケルナノワイヤーを作成し、その後、このナノワイヤーを酸化することで抵抗変化メモリを得た。
    このナノワイヤーを絶縁体とする抵抗変化メモリのスイッチング特性を調べた結果、通常の薄膜を用いたものに比べ、スイッチング電圧のばらつきは抑制された。

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  • CuSnナノツリーの形成機構の解明と制御及び超高性能ガスセンサ応用の研究

    研究課題/領域番号:25600048  2013年4月 - 2015年3月

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  挑戦的萌芽研究

    新宮原 正三, 夛田 芳広, 清水 智弘

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    配分額:4030000円 ( 直接経費:3100000円 、 間接経費:930000円 )

    3次元的ナノツリー構造がCuSn合金の直流電解めっきによって形成されることを見出した。ナノツリーのそれぞれの枝は単結晶であり、(100)方向に伸びているものが殆どであり、また元素組成はCu:Sn=4:1程度である。結晶構造は立方晶であるが、周期的な面状欠陥を含む超格子構造が認められた。枝はすべてが直交して生えており、体積に対して表面積が著しく大きな構造となっている。本材料は酸化したのちには、高感度ガスセンサーやリチウムイオンバッテリーへの応用に適しているものと考えられる。大気中での酸化においては350℃にて、ナノツリーの構造を維持したまま酸化物が形成されることを確認した。

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  • 低環境負荷材料CZTSナノワイヤを用いた太陽電池の形成と評価

    研究課題/領域番号:25790024  2013年4月 - 2015年3月

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  若手研究(B)

    清水 智弘

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    配分額:4290000円 ( 直接経費:3300000円 、 間接経費:990000円 )

    本研究では環境低負荷太陽電池CZTSの高エネルギー変換効率化を目指し、Siナノワイヤ配列を鋳型とし、その上にCZTS薄膜を形成することで、ナノシリンダーCZTS配列の形成を行った。シリンダーCZTS配列では通常の薄膜と比較し、高い光吸収係数と光電流値を示すことを確認した。さらに副次的な成果としてCZTS形成の際に、硫黄や毒物である硫化水素を用いず、比較的取り扱いが容易な硫化炭素によるCZTS硫化方法を見出した。これらの成果は高エネルギー変換効率かつ低環境負荷なCZTS太陽電池の実現に貢献できると考える。

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  • トップダウンとボトムアップ融合による超高密度ナノホール配列形成と磁気記録媒体応用

    研究課題/領域番号:20241027  2008年 - 2010年

    日本学術振興会  科学研究費助成事業  基盤研究(A)

    新宮原 正三, 田中 秀吉, 清水 智弘

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    配分額:26780000円 ( 直接経費:20600000円 、 間接経費:6180000円 )

    シリコン基板上へ形成した陽極酸化アルミナ・ナノホール配列を用いて、平方インチ当たりの密度200ギガから2.5テラの範囲の磁性体ナノロッド配列形成に成功した。ナノロッド最少直径は10nmであり、室温での保磁力は2.0kOeである。また、電子ビーム描画とエッチング、さらに陽極酸化自己組織化を組み合わせるトップダウンとボトムアップ融合により、ナノホール規則配列周期の縮小化に成功し、超高密度磁気記録媒体形成への指針を与えた。

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教育内容・方法の工夫(授業評価等を含む)

  • Webを利用した授業を行っている。 具体的には情報処理科目では授業資料の公開、課題解答例の公開などをWeb上(CEAS)で行っている。さらに質問の受付や課題の提出もWeb上で行い、授業が教員側からの一方通行にならないように心がけている。 さらに力学では講義だけにならないよう、TAを配置し、その日の講義内容の演習を行い、その場で疑問に感じたことやわからないことを質問させて理解を深める工夫をしている。

作成した教科書、教材、参考書

  •  特になし

教育方法・教育実践に関する発表、講演等

  •  特になし

その他教育活動上特記すべき事項

  •  特になし