研究者詳細 - 鈴木　昌人

写真a

スズキ　マサト

鈴木　昌人

SUZUKI,Masato

所属

システム理工学部教授

連絡先

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学位

博士（工学）

研究キーワード

MEMS工学
MEMS工学;

研究分野

ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 加工学、生産工学

論文

Human Detection by Fourier Descriptors and Fuzzy Color Histograms with Fuzzy c-Means Method 査読

AKIMOTO,Shohei, TAKAHASHI,Tomokazu, SUZUKI,Masato, ARAI,Yasuhiro, AOYAGI,seiji

Vol. 28, No. 4, pp. 491-499 2016年6月

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DOI： 10.20965/jrm.2016.p0491

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A Study of Micro-mechanical Sensors Using an Organic Thin-film Transistor (OFTF)

M.Suzuki, N.Furushiro, K.Takada, T.Saitoh, S.Aoyagi, H.Tani

Science and Technology Reports of Kansai University No.54, 1-6 2012年4月

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Calibtation of Kinematic Parameters of Robot Arm Using Laser Tracking System: Compensation for Non-Geometric Errors by Neural Networks and Selection of Optimal Measuring Points by Genetic Algorithm 査読

S. Aoyagi, M. Suzuki, T. Takahashi, J. Fujioka(Ishikawa National College of Technology), Y. Kamiya(Kanazawa University)

Int. J. of Automation Technology Vol.6, No.1, 29-37 2012年1月

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Capacitive tactile sensor based on dielectric oil displacement out of a parylene dome into surrounding channels

Tomokazu Takahashi, Masto Suzuki, Shota Iwamotoi, Seiji Aoyagi

Micromachines 3 ( 2 ) 270 - 278 2012年

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記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

We propose a concept of a flexible sensor array using a novel capacitive force sensor not having a vulnerable electrode on the force applied site. It has a polymer domed structure inside which silicone oil is contained. When the force is applied, the oil is pushed into the surrounding thin channels, where the change in capacitance due to the inflowing dielectric oil is measured between two electrodes on the top and bottom surfaces of the channel. Since the channel does not have a directly applied external force to it, the electrodes do not suffer from damage problems. The change in capacitance was simulated using a simplified flow model. The first trial device of the sensing element has been fabricated. A sensitivity of 0.05 pF/gf was achieved. © 2012 by the authors.

DOI： 10.3390/mi3020270

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MICRO ACCELEROMETER AND MAGNETORESISTIVE (MR) SENSOR DIRECTLY FABRICATED ON A CERAMIC SUBSTRATE

Seiji Aoyagi, Masato Suzuki, Tomokazu Takahashi, Tsutomu Tajikawa, Ken-ichi Saitoh, Shoso Shingubara, Yasuhiko Arai, Hiroyuki Tajiri, Yasuhiro Yoshikawa

PROCEEDINGS OF THE ASME PACIFIC RIM TECHNICAL CONFERENCE AND EXHIBITION ON PACKAGING AND INTEGRATION OF ELECTRONIC AND PHOTONIC SYSTEMS, MEMS AND NEMS 2011, VOL 1 No.54, 7-22 429 - + 2012年

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記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）出版者・発行元：AMER SOC MECHANICAL ENGINEERS

The concept of micro-electro-mechanical systems (MEMS) sensors directly fabricated on a ceramic substrate, which can be used for a package of end product, was proposed. As demonstrations of the sensors directly fabricated on a ceramic package, an accelerometer and a magnetoresistive (MR) sensor are focused on, and their fabrications on a ceramic substrate is investigated. The accelerometer utilizes a fringe capacitance formed in a ferroelectric material. For this sensor, in stead of a previously used bulk PZT plate, a screen-printed BaTiO3 (BTO) film on a ceramic alumina substrate was herein employed. An accelerometer using a BTO film was practically fabricated. The sensitivity of it was estimated as 0.1 pF/g, which is degraded a little compare with the previously developed accelerometer using a PZT plate; however, the order is the same. The magnetoresistive (MR) sensor can detect not only x- and y-axes magnetic field intensities but also z-axis one, where all fields are based on the sensor coordinate system. Namely, not only azimuth but also angle of elevation of the sensor can be detected from triaxis components of geomagnetic field. The principle is as follows: a permalloy (FeNi) plate is stood aside MR element. The plate distorts magnetic field and generates x- (or y-) component from originally z-directional field. So, the resistance of MR element changes in proportional to z-axis field intensity, provided that other axes intensities are kept constant.

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Flexible tactile sensor using polyurethane thin film

Masato Suzuki, Tomokazu Takahashi, Seiji Aoyagi

Micromachines 3 ( 2 ) 315 - 324 2012年

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記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

A novel capacitive tactile sensor using a polyurethane thin film is proposed in this paper. In previous studies, capacitive tactile sensors generally had an air gap between two electrodes in order to enhance the sensitivity. In this study, there is only polyurethane thin film and no air gap between the electrodes. The sensitivity of this sensor is higher than the previous capacitive tactile sensors because the polyurethane is a fairly flexible elastomer and the film is very thin (about 1 μm). The polyurethane film is formed by spin-coating and etched back from 6 μm to 1 μm using 48% sulfuric acid. As a result of evaluation, the sensitivity of the developed sensor (diameter is 1 mm) is 1.3 pF/Pa (800 pF/N considering the sensing area). Young's modulus of the thin polyurethane film was estimated to be 20 kPa. © 2012 by the authors
licensee MDPI, Basel, Switzerland.

DOI： 10.3390/mi3020315

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Proposal and Development of Arrayed Sole Sensor for Legged Robot and Contact Force Detection Using Neural Networks

Seiji Aoyagi, Takashi Matsuda, Tse-Wei Kong, Tatsuya Ishimaru, Masato Suzuki, Kenji Inoue

IEEE SENSORS JOURNAL 11 ( 9 ) 2048 - 2056 2011年9月

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記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）出版者・発行元：IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC

Recently, multilegged walking robots are widely developed. For these robots to walk safely, a sole sensor with high performance is desired. In the present paper, an arrayed type tactile sensor made of flexible silicone rubber, which is based on microelectromechanical systems (MEMS) technology, was developed. This sensor was applied as a sole sensor of a legged mobile robot. By processing the force data from many sensing elements using neural networks, information of contact force, i.e., three-dimensional x, y, and z components of force vector, was able to be detected, which was confirmed by both simulation and experiment.

DOI： 10.1109/JSEN.2011.2109037

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Effect of Dispersing Ag Micro Particles on Enhancing Surface Potential of CYTOP Electret Film

Tomokazu Takahashi, Masato Suzuki, Tetsuya Hirata, Seiji Aoyagi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 50 ( 8 ) 2011年8月

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記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）出版者・発行元：JAPAN SOC APPLIED PHYSICS

Polymer CYTOP is known as a good electret material that traps electrons semipermanently. It realizes a high surface potential, making it possible to be used for a micro power generator recently besides a microphone. We note that electrons are liable to be trapped at the interface between different materials. Ag micro particles are dispersed inside a CYTOP film for making interfaces. As a result, a surface potential that is two times higher than that of a pure film was experimentally achieved. The film preparation, the electron charging method, and the charge holding property are also reported. (C) 2011 The Japan Society of Applied Physics

DOI： 10.1143/JJAP.50.088007

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A Study of Mach-Zehnder Interferometer Type Optical Modulator Applicable to an Accelerometer 査読

M. Suzuki, T. Takahashi, S. Aoyagi, Y. Amemiya(Hiroshima University), M. Fukuyama(Hiroshima University), S. Yokoyama(Hiroshima University)

Japanese Journal of Applied Physics Vol.50.04DG14 2011年5月

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Image-searching for office equipment using bag-of-keypoints and AdaBoost

Seiji Aoyagi, Atsushi Kohama, Yuki Inaura, Masato Suzuki, Tomokazu Takahashi

Journal of Robotics and Mechatronics 23 ( 6 ) 1080 - 1090 2011年

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記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）出版者・発行元：Fuji Technology Press

For an indoor mobile robot's Simultaneous Localization And Mapping (SLAM), a method of processing only one monocular image (640×480 pixel) of the environment is proposed. This method imitates a human's ability to grasp at a glance the overall situation of a room, i.e., its layout and any objects or obstacles in it. Specific object recognition of a desk through the use of several camera angles is dealt with as one example. The proposed method has the following steps. 1) The bag-of-keypoints method is applied to the image to detect the existence of the object in the input image. 2) If the existence of the object is verified, the angle of the object is further detected using the bag-of-keypoints method. 3) The candidates for the projection from template image to input image are obtained using Scale Invariant Feature Transform (SIFT) or edge information. Whether or not the projected area correctly corresponds to the object is checked using the AdaBoost classifier, based on various image features such as Haar-like features. Through these steps, the desk is eventually extractedwith angle information if it exists in the image.

DOI： 10.20965/jrm.2011.p1080

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Image-searching for office equipment using bag-of-keypoints and AdaBoost

Seiji Aoyagi, Atsushi Kohama, Yuki Inaura, Masato Suzuki, Tomokazu Takahashi

Journal of Robotics and Mechatronics 23 ( 6 ) 1080 - 1090 2011年

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記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）出版者・発行元：Fuji Technology Press

For an indoor mobile robot's Simultaneous Localization And Mapping (SLAM), a method of processing only one monocular image (640×480 pixel) of the environment is proposed. This method imitates a human's ability to grasp at a glance the overall situation of a room, i.e., its layout and any objects or obstacles in it. Specific object recognition of a desk through the use of several camera angles is dealt with as one example. The proposed method has the following steps. 1) The bag-of-keypoints method is applied to the image to detect the existence of the object in the input image. 2) If the existence of the object is verified, the angle of the object is further detected using the bag-of-keypoints method. 3) The candidates for the projection from template image to input image are obtained using Scale Invariant Feature Transform (SIFT) or edge information. Whether or not the projected area correctly corresponds to the object is checked using the AdaBoost classifier, based on various image features such as Haar-like features. Through these steps, the desk is eventually extractedwith angle information if it exists in the image.

DOI： 10.20965/jrm.2011.p1080

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Force Balanced Accelerometer Using MOSFET with Position Controlled Floating Gate Electrode 査読

M. Suzuki, T. Kong, R. Taguchi, J. Kogure, S. Aoyagi, H. Tokunaga

EUROSENSORS XXIV CONFERENCE 5 1079 - 1082 2010年

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記述言語：英語掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）出版者・発行元：ELSEVIER SCIENCE BV

We propose an accelerometer using complementary metal oxide semiconductor (CMOS) structure, the output of which is kept constant by force balance system. The gate of MOSFET is floated mechanically. As an air gap distance between the floating gate and gate oxide of MOSFET is changed, CMOS output changes. A proof mass made of permanent magnet is appended to the floating gate, which is kept at initial position by controlled magnetic field. Therefore, this sensor can detect acceleration from change in current of a planar coil, which generates the magnetic field. A basic design of this sensor, such as necessary turn number of planar coil for force balance, is investigated by finite element method (FEM) simulation. This accelerometer can be fabricated by surface micromachining process. The gate electrode is suspended by a floating beam made of Parylene. The magnet and planar coil are fabricated by micro-electrocasting method. (C) 2009 Published by Elsevier Ltd.

DOI： 10.1016/j.proeng.2010.09.297

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Design and simulation of inertial force sensor using mach-zehnder interferometer with optical waveguides made of crystal silicon

Masato Suzuki, Gou Kawai, Hayato Izumi, Seiji Aoyagi, Shin Yokoyama

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 129 ( 9 ) 6 - 306 2009年

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記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

A new concept of inertial force sensor, which uses a Mach-Zehnder Interferometer (MZI) type optical waveguide made of crystal silicon, is proposed in this paper. In this sensor, one waveguide of branched two waveguides in the MZI has floating beam structure (air-bridge type). Additionally, the cantilever supporting a proof mass intersects with the floating optical waveguide. When inertial force is applied to the proof mass, the floating waveguide is expanded and the output of the MZI is modulated. An optical optimization of the inertial force sensor is carried out by using a simulation, of which a solver is 2-dimentional beam-propagation method (2D BPM). As a resuit, optical loss at the intersection of the floating waveguide and the cantilever is improved by using multi-mode interference (MMI) waveguide as an intersected waveguide. Structure of the sensor is also optimized by a simulation which uses 3-dimentical finite element method (3D FEM). Especially, deflection at the intersection of the sensor is focused on. As results of the simulation, it is found that the sensitivity of the sensor can be controlled by changing in the width and length of the cantilever. Additionally, it is also found that the using of MMI waveguide as interconnecting waveguide dose not decay the sensitivity of sensor. As the results of above simulation, it is expected that an inertial force sensor, which have both high sensitivity and good mechanical strength properties can be fabricated by using the structure in which multiple cantilevers crosses with the MMI waveguide. ©
2009 The Institute of Electrical Engineers of Japan.

DOI： 10.1541/ieejsmas.129.301

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Design and simulation of inertial force sensor using mach-zehnder interferometer with optical waveguides made of crystal silicon

Masato Suzuki, Gou Kawai, Hayato Izumi, Seiji Aoyagi, Shin Yokoyama

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 129 ( 9 ) 6 - 306 2009年

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記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

A new concept of inertial force sensor, which uses a Mach-Zehnder Interferometer (MZI) type optical waveguide made of crystal silicon, is proposed in this paper. In this sensor, one waveguide of branched two waveguides in the MZI has floating beam structure (air-bridge type). Additionally, the cantilever supporting a proof mass intersects with the floating optical waveguide. When inertial force is applied to the proof mass, the floating waveguide is expanded and the output of the MZI is modulated. An optical optimization of the inertial force sensor is carried out by using a simulation, of which a solver is 2-dimentional beam-propagation method (2D BPM). As a resuit, optical loss at the intersection of the floating waveguide and the cantilever is improved by using multi-mode interference (MMI) waveguide as an intersected waveguide. Structure of the sensor is also optimized by a simulation which uses 3-dimentical finite element method (3D FEM). Especially, deflection at the intersection of the sensor is focused on. As results of the simulation, it is found that the sensitivity of the sensor can be controlled by changing in the width and length of the cantilever. Additionally, it is also found that the using of MMI waveguide as interconnecting waveguide dose not decay the sensitivity of sensor. As the results of above simulation, it is expected that an inertial force sensor, which have both high sensitivity and good mechanical strength properties can be fabricated by using the structure in which multiple cantilevers crosses with the MMI waveguide. ©
2009 The Institute of Electrical Engineers of Japan.

DOI： 10.1541/ieejsmas.129.301

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Imprint Property of Optical Mach-Zehnder Interferometers Using (Ba,Sr)TiO3 Sputter- Deposited at 450ºC

鈴木昌人

47 ( 4 ) 2897 - 2901 2008年4月

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記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）

DOI： 10.1143/JJAP.47.2897

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Mechanism of anomalous behavior of metal-oxide-semiconductor capacitors contaminated with organic molecules 査読

M Suzuki, S Yokoyama

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS 44 ( 3 ) 1208 - 1212 2005年3月

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記述言語：英語掲載種別：研究論文（学術雑誌）出版者・発行元：JAPAN SOC APPLIED PHYSICS

The influence of organic contamination on the characteristics of metal-oxide-semiconductor (MOS) capacitors is studied. An anomalous behavior of the capacitance in the inversion region is observed, i.e., the inversion capacitance for the organic-molecule-contaminated samples is substantially increased by the reverse bias stress and decreased after removing the stress. These phenomena are explained on the basis of the change in the response time of the minority carriers (electrons) in the inversion layer caused by the change in the Si/SiO2 interface trap density. Namely, the interface trap is generated by the bias stress for the organic-molecule-contaminated sample and it is self-healed after the removal of the stress. We measure the temperature dependence of this self-healing of the interface traps and the activation energy of similar to 0.04 eV is obtained. On the basis of the results, we propose a model for the self-healing mechanism.

DOI： 10.1143/JJAP.44.1208

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MISC

Acceleration Sensor Based on CMOS Inverter Having Force Balanced Movable Gate Electrode

M. Suzuki, J. Kogure, K. Kitamura, T. Takahashi, S. Yokoyama, H. Tokunaga

IEEE Electron Devices Society Kansai Chapter, 第12回「関西コロキアム電子デバイスワークショップ」 2012年10月

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1A1-U04 フリンジ電界と強誘電体を利用したエレクトレットアクチュエータの開発(MEMSとナノテクノロジー)

山田博司, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2012 "1A1 - U04(1)"-"1A1-U04(2)" 2012年5月

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記述言語：日本語出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

We proposed a novel electrostatic linear actuator using fringe electrical field and a trenched ferroelectric. This actuator can be driven at low applied voltage due to using an electret. A comb-shaped polymer electret with grounded base electrode and a comb-shaped counter electrode are interdigitally fabricated on an insulating substrate. The driven voltage is applied to the counter electrode. Between electret and electrode, fringe electrical field is generated and the electrostatic force is applied to the trenched ferroelectric. The narrow gap such as several tens micrometer is achieved due to support the ferroelectric by the linear rails with ball bearings (200 μm in diameter). The maximum force of actuator was 0.02 mN/mm^2 at 300 V applied.

CiNii Books

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ナノワイヤを用いた超高性能センサー及びエネルギー変換素子の研究

新宮原正三, 谷弘詞, 新井泰彦, 齋藤賢一, 鈴木昌人, 高橋智一, 清水智弘, 大村泰久, 齋藤正, 稲田貢, 伊東博介, 古藤誠

技苑 No.134, 35-42 ( 134 ) 35 - 42 2012年3月

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記述言語：日本語出版者・発行元：関西大学先端科学技術推進機構

CiNii Books

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距離画像を用いたオフィス機器の探索－Bag-of-keypointsとSIFTの利用－

稲浦雄哉, 鈴木昌人, 高橋智一, 青柳誠司

画像の認識・理解シンポジウム(MIRU2011)論文集 2011 298 - 302 2011年7月

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記述言語：日本語

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PDMS微細柱の座屈現象を利用した高感度触覚センサの研究

鈴木昌人, 高橋智一, 青柳誠司

文部科学省先端研究施設共用イノベーション創出事業ナノテクノロジー・ネットワークシリコンナノ加工と高品質真空利用技術に関する支援平成22年度成果報告書 31-32 2011年7月

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柔軟な浮遊ゲートを有するMOSFET加速度センサの開発

鈴木昌人, 木暮次郎(D), 高橋智一, 青柳誠司

文部科学省先端研究施設共用イノベーション創出事業ナノテクノロジー・ネットワークシリコンナノ加工と高品質真空利用技術に関する支援平成22年度成果報告書 29-30 2011年7月

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シリコンリング光共振器を用いたリングレーザジャイロの研究

鈴木昌人, 青柳誠司

文部科学省先端研究施設共用イノベーション創出事業ナノテクノロジー・ネットワークシリコンナノ加工と高品質真空利用技術に関する支援平成22年度成果報告書 27-28 2011年7月

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講演・口頭発表等

距離画像を用いた机・椅子および机上物体の抽出と種別認識―形状・大きさに基づく物体の概念の利用―

稲浦雄哉, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

2013年度精密工学会春季大会学術講演会 2013年3月

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開催年月日： 2013年3月

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マイクロ真空吸着デバイスの開発

高橋智一, 長戸浩太郎, 大中翔嗣, 菊池智史, 鈴木昌人, 青柳誠司

第17回関西大学先端科学技術シンポジウム 2013年1月

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開催年月日： 2013年1月

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電解めっきによる金属製マイクロニードルの作製と穿刺抵抗力の測定

中尾健, 鈴木昌人, 高橋智一, 青柳誠司

第17回関西大学先端科学技術シンポジウム 2013年1月

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開催年月日： 2013年1月

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低侵襲性タングステンマイクロニードルの開発―電解エッチングによる先鋭化とエキシマレーザを用いた吸引用の穴加工―

田中隆寛, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

第17回関西大学先端科学技術シンポジウム 2013年1月

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開催年月日： 2013年1月

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小型振動発電デバイスの開発

高橋智一, 大西惇貴, 和田拓也, 市江保博, 鈴木昌人, 青柳誠司

第17回関西大学先端科学技術シンポジウム 2013年1月

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開催年月日： 2013年1月

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アルギン酸ゲルを用いた模擬皮膚組織の開発およびこれを用いた蚊の穿刺動作の観察

高柳弘輝, 田中隆寛, 中尾健, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司, 神崎努

第17回関西大学先端科学技術シンポジウム 2013年1月

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開催年月日： 2013年1月

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物体の概念を用いたオフィス機器の認識法の提案と距離画像を用いた認識例

稲浦雄哉, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

第17回関西大学先端科学技術シンポジウム 2013年1月

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開催年月日： 2013年1月

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Application of Paraelectric to a Miniature Capacitive Energy Harbester Realizing Several Tens Micro Watt –Relationship between Polarization Hysteresis and Output Power-

T.Takahashi, M.Suzuki, T.Nishida, Y.Yoshikawa, S.Aoyagi

The 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2013) 2013年1月

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開催年月日： 2013年1月

開催地：Taipei, Taiwan

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Fabrications of High-dielectric Plate Having Deep Trenches and its Application to Electrostatic Generator for Vibration Energy Harvesting

M.Suzuki, T.Takahashi, J.Oonishi, T.Wada, S.Aoyagi

Fifth International Conference on Emerging Trends in Engineering (ICETET-12) 2012年11月

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開催年月日： 2012年11月

開催地：Himeji,Japan

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エレクトレットを用いた無給電加速度センサ -概念とセラミック基板上への作製-

鈴木昌人, 今井正太, 高橋智一, 青柳誠司

日本機械学会第4回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2012年10月

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開催年月日： 2012年10月

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タングステン中空マイクロニードルの開発と性能評価

田中隆寛, 高柳弘輝, 中尾健, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

日本機械学会第4回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2012年10月

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開催年月日： 2012年10月

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アルギン酸ゲルを用いた模擬皮膚組織の開発およびこれを用いた蚊の穿刺動作の観察

高柳弘輝, 田中隆寛, 中尾健, 鈴木昌人, 高橋智一, 青柳誠司

日本機械学会第4回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2012年10月

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開催年月日： 2012年10月

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高表面電荷密度の狭ピッチ櫛歯状エレクトレットフィルムの作製 ―電荷注入済みCYTOPフィルムへのエキシマ・レーザービーム照射による静電反応現象の回避―

和田拓也, 鈴木昌人, 高橋智一, 西田敏夫, 吉川泰弘, 青柳誠司

日本機械学会第4回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2012年10月

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開催年月日： 2012年10月

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Equivalent Negative Stiffness Mechanism Using Three Bundled Needles Inspired by Mosquito for Achieving Easy Insertion

S.Aoyagi, Y.Takaoki, H.Takayanagi, C-H.Huang, T.Tanaka, M.Suzuki, T.Takahashi, T.Matsumoto

2012 IEEE/RSJ International Conference on Intelligent Robots and Systems(IROS2012) 2012年10月

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開催年月日： 2012年10月

開催地：Vilamoura, Algarve, Portugal

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物体の概念を用いたオフィス機器の認識法の提案と距離画像を用いた認識例

稲浦雄哉, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

第30回日本ロボット学会学術講演会 2012年9月

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開催年月日： 2012年9月

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三次元点群データを用いたオフィス機器の抽出と一般物体認識

石丸達也, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

2012年度精密工学会秋季大会学術講演会 2012年9月

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開催年月日： 2012年9月

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タングステン中空マイクロニードルの開発―電解エッチングによる溝加工とスパッタによる蓋形成―

田中隆寛, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

2012年度精密工学会秋季大会学術講演会 2012年9月

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開催年月日： 2012年9月

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距離画像とAdaBoost識別器を用いたオフィス機器の探索

石丸達也, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

第15回画像の認識・理解シンポジウム(MIRU2012) 2012年8月

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開催年月日： 2012年8月

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電解めっきによる金属製マイクロニードルの作製と穿刺抵抗力の測定

中尾健, 黄志濠, 田中隆寛, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

精密工学会関西支部 2012年度関西地方定期学術講演会 2012年6月

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開催年月日： 2012年6月

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低侵襲性タングステンマイクロニードルの先鋭化と吸引用の穴加工

田中隆寛, 吉田悟, 黄志濠, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

精密工学会関西支部 2012年度関西地方定期学術講演会 2012年6月

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開催年月日： 2012年6月

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有機薄膜トランジスタ（TFT）を利用したMEMS加速度センサ

北村健太朗, 鈴木昌人, 高橋智一, 青柳誠司

電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2012年6月

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開催年月日： 2012年6月

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フリンジ電界と強誘電体を利用したエレクトレットアクチュエータの開発

山田博司, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

ロボティクス・メカトロニクス講演会2012 2012年5月

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開催年月日： 2012年5月

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蚊の下唇を模倣した穿刺ガイドの作製とその評価

高柳弘輝, 高沖穣, 黄志濠, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司, 神崎努

ロボティクス・メカトロニクス講演会2012 2012年5月

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開催年月日： 2012年5月

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フリンジ電界を利用した可塑化PVCゲルアクチュエータの開発と性能評価

西浦嘉晃, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

ロボティクス・メカトロニクス講演会2012 2012年5月

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開催年月日： 2012年5月

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MEMS技術を用いた自由曲面に対応可能な真空吸着ロボットハンドの開発

長戸浩太郎, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

ロボティクス・メカトロニクス講演会2012 2012年5月

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開催年月日： 2012年5月

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低侵襲性タングステンマイクロニードルの開発―電解エッチングによる先鋭化とエキシマレーザを用いた吸引用の穴加工―

田中隆寛, 黄志濠, 吉田悟, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

ロボティクス・メカトロニクス講演会2012 2012年5月

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開催年月日： 2012年5月

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陽解法有限要素法解析による蚊の穿刺メカニズムの検討

漆畑雄也, 高沖穣, 田中隆寛, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司, 神崎努, 山口哲, 今里聡

ロボティクス・メカトロニクス講演会2012 2012年5月

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開催年月日： 2012年5月

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距離画像センサにより得られた三次元点群データとAdaBoost識別器を用いたオフィス内の物体認識

石丸達也, 中島徳一, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

ロボティクス・メカトロニクス講演会2012 2012年5月

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開催年月日： 2012年5月

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ロボットハンド用フレキシブル触覚センサの開発―基本性能とセンサを曲面へ設置した状態での性能評価―

大西将太, 高橋智一, 岩本翔太, 鈴木昌人, 青柳誠司

ロボティクス・メカトロニクス講演会2012 2012年5月

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開催年月日： 2012年5月

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低侵襲性マイクロニードルの開発―電解エッチングによる金属針の先鋭化―

田中隆寛(D), 黄志濠(D), 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

2012年度精密工学会春季大会学術講演会 2012年3月

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開催年月日： 2012年3月

開催地：首都大学東京

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ポリマ製のチャンバと流路構造を利用したフレキシブルな力センサの開発

岩本翔太(D), 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

第17回ロボティクスシンポジア 2012年3月

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開催年月日： 2012年3月

開催地：山口県萩市

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距離画像センサにより得られた三次元点群データとAaBoost識別器を用いたオフィス内の物体認識

石丸達也, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

第17回関西大学先端科学技術シンポジウム 2012年1月

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開催年月日： 2012年1月 - 2013年1月

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可塑化PVCゲルを用いたマイクロアクチュエータの試作

高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

第16回関西大学先端科学技術シンポジウム 2012年1月

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開催年月日： 2012年1月

開催地：関西大学100周年記念会館

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電解メッキによる金属微細針の作製と電解エッチングによる先鋭化

黄志濠(D), 田中隆寛(D), 高沖穣(D), 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

第16回関西大学先端科学技術シンポジウム 2012年1月

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開催年月日： 2012年1月

開催地：関西大学100周年記念会館

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MEMS慣性センサのクロストーク低減を目的としたマイクロばね構造の開発と評価―高速度カメラによるばね運動の直接観察―

鈴木昌人, 藤居卓也(B), 高橋智一, 青柳誠司

第16回関西大学先端科学技術シンポジウム 2012年1月

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開催年月日： 2012年1月

開催地：関西大学100周年記念会館

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Fabrication of Narrow Comb-shaped Electret by Removing Charge Using Excimer Laser Beam from Charge-implanted Cytop Film for Avoiding Electrostatic Repulsion Problem

M. Suzuki, T. Wada(B), T. Takahashi, T. Matsushita(D), T. Nishida(ROHM Co, Ltd.,), Y. Yoshikawa(ROHM Co, Ltd.,), S. Aoyagi

The 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2012) 2012年1月

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開催年月日： 2012年1月

開催地：Paris, France

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Milliwatt Order Vertical Vibratory Energy Harvesting Using Electret and Ferroelectric - Discharge Does Not Occur with Small Gap and Only One Wiring Is Required

T. Takahashi, M. Suzuki, T. Nishida(ROHM Co, Ltd.,), Y. Yoshikawa(ROHM Co, Ltd.,), S. Aoyagi

The 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2012) 2012年1月

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開催年月日： 2012年1月

開催地：Paris, France

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Nonlinear Spring and Su-8 Rails with Solid Lubricant for Electrostatic Energy Harvester Using Parallel-Plate Electrodes and Ferroelectric

T. Takahashi, M. Suzuki, J. Onishi(D), T. Nishida(ROHM Co, Ltd.,), Y. Yoshikawa(ROHM Co, Ltd.,), S. Aoyagi

The 11th Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (Power MEMS 2011 2011年11月

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開催年月日： 2011年11月

開催地：Seoul, Republic of Korea

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Acceleration Sensor Based on CMOS Inverter Having Force Balanced Movable Gate Electrode

M. Suzuki, J. Kogure(D), K, Kitamura(D), T. Takahashi, S, Yokoyama(Hiroshima University), H. Tokunaga(M.T.C. Corp.,)

The 2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2011) 2011年9月

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開催年月日： 2011年9月

開催地：Nagoya

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鋳型成型法によるBaTiO3/エポキシ樹脂複合強誘電体の微細溝形成とその振動発電への応用

松下直道(D), 鈴木昌人, 高橋智一, 大西惇貴(D), 和田拓也(B), 西田敏夫(ローム株式会社), 吉川泰弘(ローム株式会社), 青柳誠司

日本機械学会第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2011年9月

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開催年月日： 2011年9月

開催地：タワーホール船橋

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MEMS慣性センサのクロストーク低減を目的としたマイクロばね構造の開発と評価―高速度カメラによるばね運動の直接観察―

鈴木昌人, 藤居卓也(B), 高橋智一, 青柳誠司

日本機械学会第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2011年9月

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開催年月日： 2011年9月

開催地：タワーホール船橋

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振動発電デバイスのためのダイシング加工による強誘電体Pb(ZrTi)O3への微細溝形成

大西惇貴(D), 鈴木昌人, 高橋智一, 松下直道(D), 和田拓也(B), 西田敏夫(ローム株式会社), 吉川泰弘(ローム株式会社), 本嶋一樹(ディスコ), 岡崎恵美(ディスコ), 青柳誠司

日本機械学会第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2011年9月

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開催年月日： 2011年9月

開催地：タワーホール船橋

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RECSコンセプトに基づく保護色マークと赤外線を用いたホームロボットによる食器片付け作業

長戸浩太郎(D), 鈴木昌人, 高橋智一, 青柳誠司

2011年度精密工学会秋季大会学術講演会 2011年9月

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開催年月日： 2011年9月

開催地：金沢大学

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蚊の観察に基づいた鋸歯状マイクロニードルの作製およびアンカー効果の検証

高柳弘輝(D), 高沖穣(D), 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司, 神崎努(大日本除虫菊株式会社)

第29回日本ロボット学会学術講演会 2011年9月

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開催年月日： 2011年9月

開催地：芝浦工業大学

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力覚信号の時刻歴を用いたロボットによるピン挿入作業―リカレントニューラルネットワークを用いた状態遷移の予測―

本山瞭(D), 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

第29回日本ロボット学会学術講演会 2011年9月

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開催年月日： 2011年9月

開催地：芝浦工業大学

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可塑化PVCゲルを用いた摩擦駆動型リニアアクチュエータの開発

西浦嘉晃(B), 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

第29回日本ロボット学会学術講演会 2011年9月

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開催年月日： 2011年9月

開催地：芝浦工業大学

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距離画像を用いたオフィス機器の探索―Baf-of-keypoints と SIFTの利用

稲浦雄哉(D), 鈴木昌人, 高橋智一, 青柳誠司

第14回画像の認識・理解シンポジウム(MIRU2011) 2011年7月

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開催年月日： 2011年7月

開催地：金沢

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Micro Accelerometer and Magnetoresistive(MR) Sensor Directly Fabricated on a Ceramic Substrate

S. Aoyagi, M. Suzuki, T. Takahashi, T. Tajikawa, K. Saitoh, S. Shingubara, Y. Arai, H. Tajiri(ROHM Co., Ltd.), Y. YoshikawaTajiri(ROHM Co., Ltd.)

The ASME 2011 Pacific Rim Technical Conference & Exposition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Systems (InterPACK2011) 2011年7月

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開催年月日： 2011年7月

開催地：Portland, Oregon, USA

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Flexible Force Sensor Measuring Change in Capacitance due to Dielectric Oil Displacement Out of Domed Polymer into Surrounding Channels

T. Takahashi, M. Suzuki, S. Iwamoto(D), S. Aoyagi

The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystem (Transducers 2011) 2011年6月

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開催年月日： 2011年6月

開催地：Beijing, China

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Fabrication of Highly Dielectric Nano-BaTiO3/Epoxy-Resin Composite Plate Having Trenches by Mold Casting and Its Application to Capacitive Energy Harvesting

M. Suzuki, N. Matsushita(D), T. Hirata(D), R. Yoneya(B), J. Onishi(D), T. Wada(B), T. Takahashi, T. Nishida(ROHM Co., Ltd.), Y. Yoshikawa(ROHM Co., Ltd.), S. Aoyagi

The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystem (Transducers 2011) 2011年6月

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開催年月日： 2011年6月

開催地：Beijing, China

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Accelerometer Using Mosfet with Movable Gate Electrode: Electroplating Thick Nickel Proof Mass on Flexible Parylene Beam for Enhancing Sensitivity

S. Aoyagi, M. Suzuki, J. Kogure(D), T. Kong(D), R. Taguchi(D), T. Takhashi, S. Yokoyama(Hiroshima University), H. Tokunaga(M.T.C.Corp.,)

The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystem (Transducers 2011) 2011年6月

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開催年月日： 2011年6月

開催地：Beijing, China

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RECSコンセプトに基づくホームロボットの開発―保護色マークと赤外線を用いた食器片付け作業―

長戸浩太郎(D), 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

ロボティクス・メカトロニクス講演会2011 2011年5月

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開催年月日： 2011年5月

開催地：岡山

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可塑化ゲルアクチュエータの薄膜化による応答速度の向上

松本啓伸(B), 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

ロボティクス・メカトロニクス講演会2011 2011年5月

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開催年月日： 2011年5月

開催地：岡山

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蚊の小顎を模倣したマイクロニードルの作製およびアンカー効果の検証

高沖穣(D), 青柳誠司, 鈴木昌人, 高橋智一

ロボティクス・メカトロニクス講演会2011 2011年5月

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開催年月日： 2011年5月

開催地：岡山

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産業財産権

無給電センサ及びこれを用いた無線センサネットワーク

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出願番号：2012-231755 出願日：2012年10月

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中空微細針及びその作製方法

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出願番号：特願2012-119865 出願日：2012年5月

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把持装置

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出願番号：2012-116412 出願日：2012年5月

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教育内容・方法の工夫（授業評価等を含む）

担当している講義すべてにおいて、授業内容をまとめたスライド資料を作成している。この資料は各講義開始前に、大学内部のネットワークを通じて受講生にダウンロードさせ、予習を促している。また、この授業資料をプリントアウトさせて授業に臨むよう指導し、学生がノートテイクに注力するあまりに講義を聞き逃さないように工夫している。講義は、作成したスライド資料をプロジェクタで投影させる形式にて進行する。基本的には資料の解説を行っているが、適時板書を併用している。

作成した教科書、教材、参考書

前項で記述したように、講義課目の内容をまとめた資料を作成している。また、実験科目である「機械工学入門（実技）」および「メカトロニクス実験」における担当実験用テキストを自ら作成し、更に毎年改良、更新をしている。

教育方法・教育実践に関する発表、講演等

　特になし

その他教育活動上特記すべき事項

　特になし