2024/03/30 更新

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シングウバラ ショウソウ
新宮原 正三
SINGUBARA,Shoso
所属
システム理工学部 教授
職名
教授
外部リンク

学位

  • 理学博士

研究キーワード

  • Al 陽極酸化;半導体ナノワイヤ;ナノホール;自己組織化;ナノ磁性体

  • LSI銅配線技術;三次元実装技術;エレクトロマイグレーション;配線信頼性;無電解めっき

  • ナノワイヤ;抵抗スイッチ現象

学歴

  • 東京大学

    - 1980年

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    国名: 日本国

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経歴

  • 広島大学大学院先端物質科学研究科助教授

    2001年4月 - 2005年3月

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  • 広島大学工学部二類電気系助教授

    1990年10月 - 2001年3月

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  • 東芝ULSI研究所

    1985年4月 - 1990年9月

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所属学協会

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委員歴

  • 電子材料委員会委員長  

    2013年4月   

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  • シリコンテクノロジー分科会副幹事長  

    2013年4月   

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  • symposium organizer  

    2010年10月   

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  • symposium oranizer  

    2010年10月   

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論文

  • Sensitized mass change detection using Au nanoporous electrode for biosensing

    Naoto Asai, Hideaki Tersawa, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara, Takeshi Ito

    Jpn.J.Appl.Phys.   56-6, 06GG04   2017年6月

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  • Fabrication and characterization of nano porous lattice biosensor using anodic aluminum oxide substrate

    Takeshi Ito, Yuki Matsuda, Takatoshi Jinba, Naoto Asai, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    Jpn.J.Appl.Phys.   56-6, 06GG02   2017年6月

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  • Nonenzymatic detection of glucose using BaCuO2 thin layer

    Ito, Takeshi, Asada, Tsuyoshi, Asai, Naoto, Shimizu, Tomohiro, Shingubara, Shoso

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   56, 1, 01AH02   2017年4月

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  • Magnetic Conductive Filament Formed in the ReRAM Device with Ferromagnetic Electrode Poster Session

    Hayato Yoshida, Tomohiro Shimizu, Takeshi Ito, Shoso Shingubara

    ECS Transaction   75-32, pp.65-71   2017年3月

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  • Antibacterial Property of Si Nanopillar Array Fabricated Using Metal Assisted Etching; Mimic a Cicada Wing

    Takeshi Ito, Kazuki Nakade, Naoto Asai, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    ECS Trans   75:1-5   2017年

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  • Fabrication and optical property of metal nanowire arrays embedded in anodic porous alumina membrane

    Takase, Kouichi, Shimizu, Tomohiro, Sugawa, Kosuke, Shingubara, Shoso

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   55, 6, 1, 06GH09   2016年6月

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  • Oxidation of CuSn alloy nanotree and application for gas sensors

    Kaneko, Naoto, Shimizu, Tomohiro, Tada, Yoshihiro, Kaneko, Naoto, Shingubara, Shoso

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   55, 6, 1, 06GH08   2016年6月

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  • Formation of three-dimensional nano-trees with perpendicular branches by electrodeposition of CuSn alloy

    Shimizu, Tomohiro, Tada, Yoshihiro, Kaneko, Naoto, Shingubara, Shoso

    SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY   294, 83-89   2016年5月

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  • Polarized hard X-ray photoemission system with micro-positioning technique for probing ground-state symmetry of strongly correlated materials

    Fujiwara, Hidenori, Naimen, Sho, Higashiya, Atsushi, Shingubara, Shoso

    JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION   23, 735-742, 3   2016年5月

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  • Fabrication of nanocone arrays by two step metal assisted chemical etching method

    Shimizu, Tomohiro, Tanaka, Norihiro, Tada, Yoshihiro, Shingubara, Shoso

    MICROELECTRONIC ENGINEERING   153, SI, 55-59   2016年3月

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  • Band gap tuning of Ni1-x MgxO films by radio-frequency sputter deposition for deep-ultraviolet photodetectors

    Nishitani, Hiroki, Ohta, Kohei, Kitano, Sosuke, Shingubara, Shoso

    APPLIED PHYSICS EXPRESS   9, 3, 039201   2016年3月

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  • Nitridation of silicon by nitrogen neutral beam

    Hara, Yasuhiro, Shimizu, Tomohiro, Shingubara, Shoso

    APPLIED SURFACE SCIENCE   363, 555-559   2016年2月

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  • Electrodeposited ZnO thin film on twin sensor QCM for sensing of ethanol at room temperature

    Ito, Takeshi, Fujii, Yudai, Yamanishi, Noriyoshi, Shimizu, Tomohiro, Shingubara, Shoso

    PROCEEDINGS OF THE 30TH ANNIVERSARY EUROSENSORS CONFERENCE - EUROSENSORS 2016   168, 411-414   2016年

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  • Antibacterial characteristics of Si nano-pillar array

    Ito, Takeshi, Nakade, Kazuki, Asai, Naoto, Shimizu, Tomohiro, Shingubara, Shoso

    2016 IEEE 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)   82-84   2016年

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  • Oxide thickness dependence of resistive switching characteristics for Ni/HfOx/Pt resistive random access memory device

    Ito, Daisuke, Hamada, Yoshihumi, Otsuka, Shintaro, Shimizu Tomohiro, Shingubara Shoso

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   54, 6, 1, 06FH11   2015年6月

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  • Suppression of switching voltage variation by controlling filament formation in In/porous alumina/Al resistive change random access memory

    Tanimoto, Yusuke, Otsuka, Shintaro, Shimizu, Tomohiro, Shingubara, Shoso

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   54, 6, 1, 06FH05   2015年6月

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  • Nitridation of Si surface at the bottom of submicron trench using nitrogen neutral beam

    Hara, Yasuhiro, Shimizu, Tomohiro, Shingubara, Shoso

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   54, 6, 1, 06FH07   2015年6月

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  • Magnetoresistance of conductive filament in Ni/HfO2/Pt resistive switching memory

    Otsuka, Shintaro, Hamada, Yoshifumi, Ito, Daisuke, Shimizu, Tomohiro, Shingubara, Shoso

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   54, 5, SI, 05ED02   2015年5月

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  • Dynamic moderation of an electric field using a SiO2 switching layer in TaOx-based ReRAM

    Wang, Qi, Itoh, Yaomi, Tsuruoka, Tohru, Shingubara, Shoso

    PHYSICA STATUS SOLIDI-RAPID RESEARCH LETTERS   9, 3, 166-170   2015年3月

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  • Glyoxylic Acid as Reducing Agent for Electroless Copper Deposition on Cobalt Liner

    Fumihiro Inoue, Harold Philipsen, Marleen van der Veen, Stefaan Van Huylenbroeck, Silvia Armini, Herbert Struyf, Shoso Shingubara, Tetsu Tanaka

    ECS Trans   64:63-75   2015年

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  • Cu Displacement Plating on Electroless Plated CoWB Layer on SiO2 and Its Adhesion Property

    Kohei Ohta, Fumihiro Inoue, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    ECS Trans   64:57-61   2015年

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  • Ferromagnetic nano-conductive filament formed in Ni/TiO2/Pt resistive-switching memory

    新宮原 正三

    Appl. Phys.A   118 , 613-619   2015年

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  • Resistance Switching Phenomenon Associated with Anisotropic Magnetoresistance of the ReRAM Device with Ferromagnetic Electrodes Poster Session

    Daisuke Ito, Hayato Yoshida, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    ECS Trans   69:111-115   2015年

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  • Stability Evaluation of Non-Agglomerated Pd Nanoparticle Catalyst Dispersion for Electroless Deposition

    Noriaki Nakamura, Junichi Taniuchi, Takayuki Sone, Kotoe Sasaki, Fumihiro Inoue, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    ECS Trans   64:77-84   2015年

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  • Development of Glyoxylic Acid Based Electroless Copper Deposition on Ruthenium

    Fumihiro Inoue, Harold Philipsen, Marleen van der Veen, Stefaan Van Huylenbroeck, Silvia Armini, Herbert Struyf, Shoso Shingubara, Tetsu Tanaka

    ECS Trans   64:41-55   2015年

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  • Fabrication of ordered array of anodic alumina oxide nanopores ewith interpore distance smaller than th pitch of nano pits formed by ion beam etching

    新宮原 正三

    J.of Materials Sciences and nanotechnology   1-1, 10-14   2014年

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  • Diffusion suppression in vapor-liquid-solid Si nanowire growth by a barrier layer between the Au catalyst and substrate“,

    新宮原 正三

    Journal of Crystal Growth   404, 192-198   2014年

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  • Improvement of adhesion strength of electroless barrier layer and its application to TSV process

    新宮原 正三

    ECS Transactions   58(17), 59-65   2014年

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  • Effect of confining filaments on the current-voltage characteristics of resistive change memory by using anodic porous alumina

    新宮原 正三

    Jpn. J. Appl. Phys   53(6), 06JF07   2014年

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  • Anisotropic Magnetoresistance of Ferromagnetic Conductive Filament in Resistive Switching Memory ReRAM

    Shintaro Otsuka, Yoshifumi Hamada, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    ECS Trans   64:29-35   2014年

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  • Study on Oxide Thickness Dependence of Current-Voltage Characteristics for HfOx Based ReRAM Device Poster Session

    Yoshifumi Hamada, Shintaro Otsuka, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    ECS Trans   64:93-98   2014年

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  • Fabrication of vertical CZTS nanowires arrays by two-step electroplating method into anodic alumina oxide template”,

    新宮原 正三

    J.of Materials Sciences and Nanotechnology   1(1), 1-5   2014年

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  • Morphology dependence of optical reflectance properties for a high-density array of silicon nanowires

    新宮原 正三

    Jpn. J. Appl. Phys.   53-6, 06JF10   2014年

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  • Temperature dependence of resistance of conductive nanofilament formed in Ni/NiOx/Pt resistive switching random access memory

    新宮原 正三

    Jpn. J. Appl. Phys   53-5,05GD01   2014年

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  • Temperature Dependence of Resistance in Conductive Filament Formed with

    新宮原 正三

    ECS Transaction   58巻pp. 27-31   2013年6月

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  • Control of Adhesion Strength and TSV Filling Morphology of Electroless Barrier Layer

    新宮原 正三

    ECS Transaction   56巻   2013年3月

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  • Electric Conduction Mechanism of Resistive Switching Memory

    新宮原 正三

    ECS Transaction   50巻pp. 49-54   2013年3月

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  • Improvement of the Reproducibility of the Switching Voltage of Resistance Change Random Access Memory by Restricting Formation of Conductive Filaments

    新宮原 正三

    Japanes Journal of Applied Physics   vol.52, pp. 06GF07-04   2013年

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  • Temperature Dependence of Resistance of Conductive Filament

    新宮原 正三

    Japanese Journal of Applied Physics   52巻06GF04   2013年

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  • Electroless Cu deposition on atomic layer deposited Ru as novel seed formation process in through-Si vias

    新宮原 正三

    Electrochimica Acta   vol. 100,pp.203-2011   2013年

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  • Highly adhesive electroless barrier/Cu-seed formation for high aspect ratio through-Si vias

    新宮原 正三

    Microelctronic Engineering   vol.106,pp.164-167   2013年

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  • Control of Crystal Orientation and Diameter of Silicon Nanowire Using Anodic Aluminum Oxide Template

    新宮原 正三

    Japanese Journal of Applied Physics   vol.52 , pp. 06GF07-04   2013年

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  • Temperature dependence of resistance of conductive filament formed by dielectric breakdown

    新宮原 正三

    Jpn. J. Appl. Phys.   52, 06GF04-5   2013年

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  • Improved control of silicon nanowire growth by the vapor–liquid–solid method using a diffusion barrier layer between catalyst and substrate

    新宮原 正三

    Journal of Crystal Growth   vol.369, pp.1-7.   2013年

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  • Resistive switching characteristics of NiO/Ni nanostructure

    S.Otsuka, S. Furuya, R.Takeda, T.Shimizu, S.Shingubara, T.Watanabe, Y.Takano, K.Takase

    MICROELECTRONIC ENGINEERING   98, 367-370   2012年10月

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  • Additional Electrochemical Treatment Effects on the Switching Characteristics of Anodic Porous Alumina Resistive Switching Memory

    S.Otsuka, R.Takeda, S.Furuya, T.Shimizu, S.Shingubara, T.Watanabe, Y.Takano, K.Takase

    Jpn.J.Appl.Phys.   51-06, 06FF11   2012年6月

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  • Evaluation of crystal structure of porous Si nanowires prepared by metal assisted etching

    T.Yamaguchi, T.Shimizu, C.Wang, M.Inada, S.Shingubara, A Kuzunetsov, J.Vanacken, V.Moschchalkov

    Materials Research Society Symp. Proc.   1439,AA03-02   2012年

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  • Additional Electrochemical Treatment Effects on the Switching Characteristics of Anodic Porous Alumina Resistive Switching Memory

    S.OtsukaS, R.Takeda, S.Furuya, T.shimizu, S.Shingubara, T.Watanabe, T.Takano, K.Takase

    51-06,06EF11   2012年

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  • Formation of 1D and 2D Gold Nanoparticle Arrays by Divalent DNA-Gold Nanoparticle Conjugates

    Y.Ohya, N.Miyoshi, M.Hashizume, T.Tamaki, T.Uehara, S.Shingubara, A.Kuzuya

    Small   8,2335-2340   2012年

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  • Origin of visible photoluminescence from arrays of vertically arranged Si-nanopillars decorated with Si-nanocrystals

    A S Kuznetsov, T Shimizu, S N Kuznetsov, A V Klekachev, S Shingubara, J Vanacken, V Moshchalkov

    Nanotechnlogy   23, 475709 -475715.   2012年

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  • Adsorption of Pd nanoparticles catalyst in high aspect ratio through-Si vias for electroless deposition

    F. Inoue, T. Shimizu, H. Miyake, R. Arima, T. Ito, H. Seki, Y. Shinozaki, T. Yamamoto, S. Shingubara

    Electrochimica Acta   82, 372-377   2012年

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  • AgNO3-Dependent Morphological Change of Si Nanostructures Prepared by Single-Step Metal Assisted Etching Method

    T.Shimizu, T.Yamaguchi, F.Inoue, S.Shingubara

    Jpn.J.Appl.Phys.   51-11,Part2, PE02   2012年

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  • Fabrication of an Array of Ni/NiO Nanowire-ReRAM Using AAO Template on Si

    T.Shimizu, Y.Sumita, F.Inoue, T.Minoguchi, S.Shingubara

    e-Journal of surface Science and Nanotechnology   10,476-479   2012年

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  • Electroless Copper bath stability monitoring with UV-VIS Spectrometry, pH, and mixed potential measurements

    F.Inoue, H.Philipsen, A.Radisic, S.Armini, Y.Civale, S.Shingubara, P.Leunissen

    J. Electrocemical Society   159-7, D437-D441   2012年

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  • “Formation and characterization of single-step electro- deposited Cu2ZnSnS4 thin films: Effect of complexing agent volume”,

    M. Jeon, S. Tanaka(NICT, T. Shimizu, S. Shingubara

    Energy Procedia   10, 255–260   2011年

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  • “Preparation of Ultrahigh-Density Magnetic Nanowire Arrays beyond 1 Terabit/Inch2 on Si Substrate Using Anodic Aluminum Oxide Template”

    T. Shimizu, K. Aoki(D, S. Tanaka(NICT, T. Terui(NICT, S. Shingubara

    Jpn. J. of Appl. Phys.   50, 06GE01-04   2011年

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  • ”Control of Crystal Orientaion of Epitaxial Si nanowires on Si Substrate Using AAO template”

    T. Shimizu, Q. Wang(D, C. Wang(D, F. Inoue(D, M. Koto(キヤノン, M. Jeon, S. Shingubara

    Jpn. J. of Appl. Phys.   50, 06GE01-04   2011年

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  • “Large Magnetoresistance Switching Phenomena in Nanoconduction Path Formed with Dielectric Breakdown of SiO2 Multilayered with Ferromagnetic Film”,

    Y. Shiotani(D, K. Shimomura(D, T. Shimizu, S. Shingubara

    Jpn. J. Appl. Phys.   50, 06GG15-20   2011年

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  • “Formation of electroless barrier and seed layers in a high aspect ratio through-Si vias using Au nanoparticle catalyst for all-wet Cu filling technology”

    F. Inoue(D, T. Shimizu, T. Yokoyama(D, H. Miyake(D, K. Kondo, T. Saito, T. Hayashi, S. Tanaka(NICT, T. Terui(NICT, S. Shingubara

    Electrochimica. Acta   56, 6245-6250   2011年

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  • “Formation and Evaluation of Electroless-Plated Barrier Films for High-Aspect-Ratio Through-Si Vias”

    H. Miyake, F. Inoue(D, T. Yokoyama(D, T. Shimizu, S. Tanaka(NICT, T. Terui(NICT, S. Shingubara

    Jpn. J. Appl. Phys.   50, 05ED01   2011年

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  • ”Control of Crystal Orientaion of Epitaxial Si nanowires on Si Substrate Using AAO template”

    M. Jeon, T. Shimizu, S. Shingubara

    Materials Research Society   1350E, EE03-02   2011年

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  • Addition of PEG-Thiol to Cu Electroless Plating Bath for Realizing Perfect Conformal Deposition in Through-Si Via Holes for 3-D Integration

    F. Inoue, T. Yokoyama, S. Shingubara, K. Yamamoto, S. Tanaka

    25-38   2010年

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  • Reduction of pitch of nanohole array by self-organizing anodic oxidation after nanoimprintin

    S. Shingubara, S. Maruo, T. Yamashita, M. Nakao, T. Shimizu

    87   2010年

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  • Effect of PEG molecular weight on bottom-up filling of copper electrodeposition for PCB interconnects

    Yin L, Liu ZH, Yang ZP, Wang ZL, Shingubara, S

    88-3   2010年

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  • Strain imaging of a perpendicular recording head in a Hard Disk Drive

    K.Takata, N.Kurata, S.Tamura, S.Shingubara, S.Nakahara, N.Tagawa, Y.Arai

    322-6   2010年

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  • TRIAXIS MAGNETORESISTIVE (MR) SENSOR USING PERMALLOY PLATE OF DISTORTING MAGNETIC FIELD

    Suzuki M, Fukutani T, Hirata T, Aoyagi S, Shingubara S, Tajiri H, Yoshikawa Y, Nagahata T

    2010年

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  • Cu Deposition Characteristics in Through-Si-Via by Electroless Plating with Addition of Inhibitors

    F.Inoue, M.Koyanagi, T.Fukushima, K.Yamamoto, S.Tanaka, Z.Wang, S.Shingubara

    ECS Transactions   16(22), pp.27-32   2009年

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  • Vertical Epitaxial Wire-on-Wire Growth of Ge/Si on Si (100) Substrate

    T. Shimizu, Z. Zhang, S. Shingubara, S. Senz, U. Goesele

    Nano Lett   9 (4), pp.1523-1526   2009年

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  • Measurement of electromigration-induced stress in aluminum alloy interconnection

    K.Kusaka, T.Hanabusa, S.Shingubara, T.Matsue, O,Sakata

    Vacuum   83, pp.637-640   2009年

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  • Filling of FePt in AAO Nanohole Array by DC Pulsed Electrodeposition

    H.Mori, T.Korenaga, N.Hosomi, T.Terui, S.Shingubara

    ECS Transactions   16 (45), pp.65-71   2009年

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  • Investigations of Cu Filling in Through-Si Via Holes Using Direct Electroless Plating on CVD-W

    F.Inoue, M.Koyanagi, T.Fukushima, K.Yamamoto, S.Tanaka, Z.Wang, S.Shingubara

    ADMETA 2009   2008年9月

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  • Characterization of sputtered tungsten nitride film and its application to Cu electroless plating

    ZL Wang, ZH Liu, ZP Yang, S.Shingubara

    MICROELECTRONIC ENGINEERING   85-2, pp.395-400   2008年

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  • Synthesis of vertical high-density epitaxial Si(100) nanowire array on a Si (100) substrate using an anodic aluminum oxide template

    T.Shimizu, T.Xien, J.Nishikawa, S.Shingubara, S.Senz, U.Gosele

    Adv. Mater   19, pp.917   2007年5月

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  • Synthesis of epitaxial Si(100) nanowires on Si (100) substrate using vapor-liquid-solid growth in anodic aluminum oxide nanopore array

    T.Shimizu, S.Senz, S.Shingubara, U.Gosele

    Applied Physics   A87, pp.607-610   2007年2月

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  • Thermal Stress Behavior in Nano-size Thin Aluminum Films

    T.Hanabusa, K.Kusaka, S.Shingubara, O.Sakata

    International J. of Modern Physics B   20, pp.4691-4696   2006年7月

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  • Epitaxial growth of Cu nanodot arrays using an AAO template on a Si substrate

    T.Shimnizu, M.Nagayanagi, T.Ishida, O.Sakata, T.Oku, H.Sakaue, T.Takahagi, S.Shingubara

    Electrochemical and Solid-State Letters   9 (4), pp.J13-J16   2006年4月

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  • Fabrication of Carbon Nanotube and Nanorod Arrays Using Nanoporous Templates

    S. Huang, T. Shimizu, H. Sakaue, S.Shingubara, T. Takahagi

    Japanese Journal of Applied Physics   44-7A, pp.5289-5291   2005年7月

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    科研費基盤研究

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  • In-situ observation of thermal stresses in nano-size Thin Aluminum Films

    T.Hanabusa, K.Kusaka, S.Shingubara, O.Sakata

    Materials Science Forum   490-491, pp.577-582.   2005年6月

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    科研費基盤研究

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  • Formation of Damascene Interconnections and Its Electrical Characteristics by Bottom-up Electroless Cu plating

    Z.Wang, R.Obata, O.Yaegashi, T.Hao, H.Sakaue, T.Takahagi, S.Shingubara

    Mat.Res.Soc.Symp.Proc. .   AMC-XX, pp.299-304   2005年

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    科研費基盤研究

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  • Epitaxial Silicon Growth by Load-Lock Low Pressure Chemical Vapor Deposition System for Elevated Source/Drain Formation

    M.Nakano, H. Kotaki, K. Ohta, S. Shingubara

    Japanese Journal of Applied Physics   44-1, pp.1-4   2005年

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    科研費基盤研究

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  • Contact Resistance Reduction Using Vacuum Loadlock System and Plasma Dry Cleaning

    H. Miya, S. Shingubara, H. Sakaue, T. Takahagi

    Japanese Journal of Applied Physics   44-6A, pp.3860-3863   2005年

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    科研費基盤研究

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  • Bottom-up fill of Cu in deep submicron holes by electroless plating

    S.Shingubara, Z.Wang, S.Yaegashi, R.Obata, H.Sakaue, T.Takahagi

    Electrochem. Solid-State Letters,   7, pp.C78-C80.   2004年

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    科研費基盤研究

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  • Control of Self-Organization Conditions of Porous Alumina Film Using a Mixture of Oxalic Acid and Sulfuric Acid

    S.Shingubara, K.Morimoto, H.Sakaue, T.Takahagi

    Electrochemical and Solid-state Letters   7 (3) pp.E15-E17   2004年

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  • Effects of the surface pressure on the formation of Langmuir-Blodgett monolayer of nanoparticles

    Huang S, Minami K, Sakaue H, Shingubara S, Takahagi T

    Langmuir   20,p.2274   2004年

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  • Formation of ultra high density ferromagnetic column arrays beyond 1 Tera/inchi2 using porous alumina template

    SHINGUBARA Shozo, T.Shimizu, N.Nagayanagi, Y.Fujii, O.Yaegashi, G.R.Wu, H.Sakaue, T.Takahagi, S.Sakata

    Transaction of Magnetic Society of Japan   4, 231-234   2004年

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  • Wet treatment for preparing atomically smooth Si(100) wafer surface

    H.Sakaue, T.Taniguchi, Y.Okamura, S.Shingubara, T.Takahagi

    Applied Surface Science,   234,pp.39-444   2004年

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  • Effect of Additives on Hole Fill Property in Electroless Copper Plating

    Z. Wang, O. Yaegashi, H. Sakaue, T. Takahagi, S. Shingubara

    Jpn.J.Appl.Phys.   43-10, pp.7000-7001,   2004年

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  • Bottom-up fill for Submicrometer Copper Via Holes of ULSIs By Electroless Plating

    Z. Wang, O. Yaegashi, H. Sakaue, T. Takahagi, S. Shingubara

    J of Electrochemical Society   151 (12) , pp. C781-C785   2004年

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  • Aspect Ratio Dependence of Magnetic Hysteresis Property of High Density Co Wire Array Buried In Porous Alumina Template

    S.Shingubara, K.Morimoto, M.Nagayanagi, T.Shimizu, O.Yaegashi, G.R.Wu, H.Sakaue, T.Takahagi, K.Takase

    J. Magnetics and Magnetic Materials   272-276, pp.1598-1599.   2004年

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  • Pulsed DC and AC Electromigration Studies of Cu Dual damascene Interconnects

    S.Shingubara, K.Oshima, H.Ting, T.Ishida

    AIP Conf. Proc.   741, pp.180-187   2004年

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  • Formation of 10 nm Continuous Cu Film in a Fine Hole by Electroless Plating for Seed Layer Application

    Z.Wang, O.Yaegashi, H.Sakaue, Takahagi, S.Shingubara

    Mat.Res.Soc.Symp.Proc.   AMC-XIX, pp.567-572.   2004年

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  • Electroless Plating of Cu Initiated by Displacement Reaction on Metal-Nitride Diffusion Barriers

    Zenglin Wang, Hiroyuki Sakaue, Shoso Shingubara, Takayuki Takahagi

    Electrochem. Solid-State Lettters,   6 (3) , pp. C38-C41.   2003年

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  • Formation of Nanomaterials by Porous Alumina Template” -Review Paper

    SHINGUBARA Shozo

    J.of Nanoparticle Research   5, pp.17-30.   2003年

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  • Depth profile analysis of polyimide film treated by potassium hydroxide

    Okumura H, Takahagi T, Nagai N, Shingubara S

    JOURNAL OF POLYMER SCIENCE PART B-POLYMER PHYSICS   41-17 , pp.2071-2078.   2003年

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  • Bottom-up Fill of Copper in High Aspect Ratio Via Holes by Electroless Plating

    S.Shingubara, Z.Wang, O.Yaegashi, R.Obata, H.Sakaue, T.Takahagi

    Technical Digest of IEEE IEDM   pp.147-150   2003年

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  • Formation of Aluminum Nanodot Array by Combination of Nano-indentation and Anodic Oxidation of Aluminum

    Shoso Shingubara, Yusuhiko Murakami, Kazunori Morimoto, Takayuki Takahagi

    Surface Science   532-535, pp.317-323.   2003年

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  • Thickness Dependence of Hysteresis Property of Ferromagnetic Dots

    Guang Ri Wu, Shoso Shingubara, Koji Watanabe, Hiroyuki Sakaue, Takayuki Takahagi

    Jpn.J.Appl.Phys   42, pp.5038-5039.   2003年

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  • Low Dielectric Constant Porous Diamond Films Formed by Diamond Nano-Particles

    H.Sakaue, N.Yoshimura, S.Shingubara, T.Takahagi

    Appl.Phys.Lett.   83 (11) pp.2226-2228.   2003年

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  • Influence of Surface Oxide of Sputtered TaN on Displacement Plating of Cu

    Zenglin Wang, Hiroyuki Sakaue, Shoso Shingubara, Takayuki Takahagi

    Jpn.J.Appl.Phys.   42 pp.1843-1846.   2003年

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  • Electroless plating of Cu using ICB deposited Pd catalysis layer

    Z. Wang, S. Yaegashi, H.Sakaue, T.Takahagi, S.Shingubara

    Jpn.J.Appl.Phys. Express Letter,   42 ,pp.L1223-L1225.   2003年

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  • Suppression of native oxide growth in sputtered TaN films and its application for Cu electroless plating

    Z. Wang, S. S.Yaegashi, H.Sakaue, S.Shingubara, Takahagi

    J.Appl.Phys.   94, p.4697.   2003年

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  • Off-time Dependence of Electromigration MTF in Pulsed DC Stressing Tests

    S.Miyazaki, S.Shingubara, H.Sakaue, T.Takahagi

    Mat.Res.Soc.Conf.Proc.   ULSI-XVIII, pp.279-284.   2003年

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  • Computer-Aided Chemistry Estimation Method of Electronic-Polarization Dielectric Constants for the Molecular Design of Low-k Materials

    Takayuki Takahagi, Atsushi Saiki, Hiroyuki Sakaue, Shoso Shingubara

    Jpn. J. Appl. Phys.   42, pp. 157-161.   2003年

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  • Evaluation of Temperature Rise Due to Joule Heating and Preliminary Investigation of Its Effect on Electromigration Reliability

    S.Shingubara, S.Miyazaki, H.Sakaue, T.Takahagi

    American Institute of Physics Conf Proc.   vol.612, pp.94-104.   2002年

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  • A Novel Method to Improve Adhesion of Electroless Copper Deposition on Polyimidde Substrate

    Z.Wang, A.Furuya, K.Yasuda, H.Ikeda, T.Baba, M.Hagiwara, S.Toki, S.Shingubara, H.Kubota, T.Ohmi

    J. Adhesion Technology,   16 , pp.1027-1040.   2002年

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  • Direct Electroless Copper Plating on Barrier Metals without Pd Catalyst

    Z. Wang, T. Ida, H. Sawa, H. Sakaue, S. Shingubara, T. Takahagi

    MRS Conf. Proc.   ULSI-XVII , pp.185-190.   2002年

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  • Optical spectroscopic studies of the dispersibility of gold nanoparticle solutions

    Huang SH, Minami K, Sakaue H, Shingubara S, Takahagi T

    J. Appl.Phys.   92 (12),pp.7486-7490   2002年

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  • Formation of Al Dot Hexagonal Array on Si Using Anodic Oxidation and Selective Etching

    S.Shingubara, Murakami, H.Sakaue, T.Takahagi

    Jpn.J.Appl.Phys.   41, pp.L340-343.   2002年

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  • Improved Mechanical Strength of Porous Diamond Film by HCDS treatment

    H. Sakaue, N. Yoshimura, S. Shingubara, T. Takahagi

    MRS Conf.Proc.   ULSI-XVII , pp.313-318..   2002年

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  • Formation of a Large-scale Langmuir-Blodgett Monolayer of Alkanethiol-encapsulated Gold Particles

    S. Huang, G. Tsutsui, H. Sakaue, S. Shingubara, T. Takahagi

    J. Vac. Sci. Technol.   B19,pp. 115-120   2001年

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  • Low Dielectric Constant Porous Diamond Film Composed of Diamond Nano-Particles”

    H.Sakaue, Y.Yoshimura, S.Shingubara, T.Takahagi

    Mat.Res.Soc.Conf.Proc.   ULSI-XVI pp.647-652..   2001年

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  • Study of dielectric constant due to electronic polarization using a semiemperical molecular orbital method I

    K. Yamada, A.Saiki, S.Sakaue, S.Shingubara, T.Takahagi

    Jpn.J.Appl.Phys.   40, pp.4829-4836.   2001年

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  • Effect of Pd Catalyst Adsorptionon on Cu Filling Characteristics in Electroless Plating

    S. Shingubara, T. Ida, H. Sawa, H. Sakaue, T. Takahagi

    Mat.Res.Soc.Conf.Proc.   ULSI-XVI pp.229-234.   2001年

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  • Experimental Conditions for a highly ordered monolayer of gold nanoparticles fabricated by the Langmuir-Blodgett method

    S.Huang, G.Tsutsui, H.Sakaue, S.Shingubara, T.Takahagi

    J.Vac.Sci.Technol.   B19, pp. 2045-2049   2001年

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  • Atomic-scale defect control on hydrogen-terminated silicon surface at wafer scale

    H.Sakaue, S.Fujiwara, S.Shingubara, T.Takahagi

    Appl. Phys. Lett.   86, pp.309-311.   2001年

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  • Fabrication of Nanohole Array on Si Using Self-Organized Porous Alumina Mask

    S.Shingubara, O.Okino, H.Sakaue, T.Takahagi

    J.Vacuum Sci.Technol.   B 19, pp.1901-1904.   2001年

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  • Scanning Electron Microscope Observation of Heterogeneous Three-Dimensional Nanoparticle Arrays Using DNA

    T.Takahagi, G.Tsutsui, S.Huang, H.Sakaue, S.Shingubara

    Jpn.J.Appl.Phys.   40, pp.L521-L523.   2001年

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  • Adsorbed Water on a Silicon Wafer Surface Exposed to Atmosphere

    T.Takahagi, H.Sakaue, S.Shingubara

    Jpn.J.Appl.Phys.   40, pp.6198-6201.   2001年

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  • Well-size-controled Colloidal Nanoparticles Dispersed in Organic Solvent

    G.Tsutsui, S.Huang, H.Sakaue, S.Shingubara, T.Takahagi

    Jpn.J.Appl.Phys.   40, pp.346-349.   2001年

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  • Electromigration induced edge drift velocity measurement by Blech pattern attached with multiple voltage proves

    S.Shingubara, T.Osaka, H.Sakaue, T.Takahagi, A.H.Verbruggen

    Mat.Res. Soc. Proc.   ULXI-XV, pp.727-733   2000年

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  • Electrical Properties of Self-organized Nanostructures of Alkanethiol-encapsulated gold particles

    S.Huang, G.Tsutsui, H.Sakaue, S.Shjingubara, T.Takahagi

    J. Vac. Sci.&Tech.   B 18-6, pp.2653—2657   2000年

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  • Multiprobe resistance change monitoring of Blech pattern during electromigration testing

    S.Shingubara, T.Osaka, H.Sakaue, T.Takahagi, A.H.Verbruggen

    American Institute of Physics Proceedings   278, pp.138-149.   1999年

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  • Self-Organized Gold Nanodots Array on a Silicon Substrate and Its Mechanical Stability

    G.Tsutsui, S.Huang, H.Sakaue, S.Shingubara, T.Takahagi

    Jpn.J.Appl.Phys.   38 pp.L1488-1490.   1999年

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  • Two Dimensional Nanowire Formation on Si Substrate Using Self-organized Nanoholes of Anodically Oxidized Aluminum

    S.Shingubara, O.Okino, Y.Sayama, H.Sakaue, T.Takahagi

    Solid State Electronics   43 pp.1143-1146.   1999年

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  • Control of Interdot Space and Dot Size in a Two-Dimensional Gold Nanodot Array

    S. Huang, G. Tsutsui, H. Sakaue, S. Shingubara, T. Takahagi

    Jpn. J. Appl. Phys.   38 , pp.L473-L476   1999年

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  • Correlation between Agglomeration of a Thin Film and Reflow-Filling in a Contact Hole for Sputtered Al Films

    S.Shingubara, H.Kotani, H.Sakaue, F.Nishiyama, T.Takahagi

    J. of Vacuum Science and Technology B,   B17 pp.2553-2558.   1999年

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  • Electromiogration Reliability Study of a GMR Spin Valve Devices

    S.Shingubara, Y.Takeda, H.Sakaue, T.Takahagi

    MRS Symp.Proc.   563, pp.145-150.   1999年

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  • Directional Copper Deposition Using DC Magnetron Self-Sputtering

    Z.J.Radzimski, W.P.Posadowski, S.M.Rossnagel, S.Shingubara

    J.Vac.Sci.&Tecnol.   B16 pp.1102 - 1106.   1998年

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  • Growth of Galium Phosphide Layers by Chemical Beam Epitaxy on Oxide Patterned (001) Silicon Substrate

    V. Narayan, S.Mahajan, N.Sukidi, N.Dietz, K.J.Bachmann, S.Shingubara

    Mater. Sci. Eng.   B54 pp. 207-209.   1998年

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  • Self-organization of a Two-dimensional Array of Gold Nanodots Encapsulated by Alkanethiol

    S.Huang, H.Sakaue, S.Shingubara, T.Takahagi

    Jpn.J.Appl.Phys.   37 pp.7198-7201.   1998年

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  • Optical Emission Spectroscopy of High Density Metal Plasma Formed during Magnetron Sputtering

    Z.J.Radzimski, O.E.Hankins, J.J.Cuomo, W.P.Posadowski, S.Shingubara

    J.Vac.Sci.Technol.(   Vol.B 15 No.2, pp. 202-208.   1997年

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  • Scanning Tunneling Microscopy Observation on the Atomic Structure on Step Edge Pits on a NH4F-Treated Si(111) Surface

    H.Sakaue, E.Takahashi, T.Tanaka, S.Shingubara, T.Takahagi

    Jpn.J.Appl.Phys.   36 , pp.1420-1423.   1997年

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  • LSI配線信頼性技術における課題と今後の方向

    新宮原 正三

    日本信頼性学会誌(REAJ)   19巻4号 PP.257-262   1997年

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  • Ordered Two Dimensional Nanowire Array Formation Using Self-Organized Nanoholes of Anodically Oxidized Aluminum

    S.Shingubara, O.Okino, Y.Sayama, H.Sakaue, T.Takahagi

    Jpn.J.Appl.Phys.   36-12, pp.7791-7795   1997年

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  • Highly Selective SiO2 Etching Using CF4/C2H4

    H.Sakaue, A.Kojima, N.Osada, S.Shingubara, T.Takahagi

    Jpn.J.Appl.Phys.   vol.36 , pp.2477-2481.   1997年

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  • Void Elongation Phenomena Observed in Polycrystalline Cu Interconects at a High Current Density Stressing Condition

    S.Shingubara, S.Kajiwara, T.Osaka, H.Sakaue, H.Takahagi

    Mat.Res.Soc.Symp.Proc.   vol. 473 pp.229-234.   1997年

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  • Void Formation Mechanism at No Current Stressed Area

    S.Shingubara, T.Osaka, S.Abdeslam, H.Sakaue, T.Takahagi

    American Institute of Physics Proceedings ,   vol. 418 pp.159-170.   1997年

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  • A Model for Resolution Dependent Roughness Values Measured by an Optical Profiler for Specific Surfaces

    M.Furukawa, S.Shingubara, Y.Horiike

    Jpn.J.Appl.Phys.   Vol.36 pp. 3750-3754.   1997年

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  • Gap-filling of Cu Employing Sustained Self-sputtering with Inductively Coupled Plasma Inization

    T.Ichiki, T.Kikuchi, A.Sano, S.Shingubara, Y.Horiike

    Jpn.J.Appl.Phys.   vol.36 pp.1469-1472.   1997年

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  • Al-selective CVD induced by hydrogen desorption on Si

    H.Sakaue, Katsuta, S.Konagata, S.Shingubara, T.Takahagi

    Jpn.J.Appl.Phys.   vol.35 p.1010-1013.   1996年

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  • Initial Stage of Titanium Silicide Formation on Si(111) Substrate

    SHINGUBARA Shozo

    Mat.Res. Soc.Symp.Proc.   vol.402, pp.137-142   1996年

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  • Surface Morphologies of Sputter-deposited Aluminum Films Studied Using a High Resolution Phase Measuring Laser Interferometric Microscope

    M.Furukawa, Y.Yamamoto, H.Ikakura, N.Tanaka, M.Hashimoto, A.Sano, S.Shingubara

    J.of Applied Optics ,   vol. 35,NO. 4, pp. 701-707   1996年

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  • Self-sputtering of Cu film employing highly ionized Cu plasma

    A.Sano, H.Kotani, H.Sakaue, S.Shingubara, T.Takahagi, Y.Horiike, Z.J.Radzimski

    Mat.Res.Soc.Conf. Proc.   ULSI-XI pp.709-715.   1996年

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  • Fabrication of a Si nanometer column PN junction and implanted damage evaluation by TEM

    H.Sukesako, T.Kawasaki, K.Inoue, H.Sakaue, S.Shingubara, T.Takahagi

    Jpn.J.Appl.Phys.   vol.35 pp.1045-1048.   1996年

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  • High rate bias sputtering filling of SiO2 film employing both continuous wave and time-modulated inductively coupled plasmas

    Y.Kobayashi, Y.Chinzei, H.Asanome, R.Kurosaki, J.Kikuchi, S.Shingubara, Y.Horiike

    Jpn.J.Appl.Phys.   vol.35, pp.1474-1477.   1996年

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  • Cu deposition Characteristics into submicron contact holes employing self-sputtering with a high ionization rate

    S.Shingubara, A.Sano, H.Sakaue, T.Takahagi, Y.Horiike, Z.Radzimski, Posadowski

    Mat.Res.Soc.Proc.   vol.427 , pp.185-192.   1996年

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  • Study on Adsorption Behavior of Organic Contaminations on Silicon Surface by Gas Chromatography/Mass Spectrometry

    T.Takahagi, S.Shingubara, H.Sakaue, K.Hoshino, H.Yashima

    Jpn.J.Appl.Phys.   vol. 35 pp.L818-821.   1996年

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  • Resistance Oscillations Induced by a Direct Current Electromigration

    S.Shingubara, K.Fujiki, A.Sano, K.Inoue, H.Sakaue, Y.Horiike

    Jpn.J.Appl.Phys.   vol.34 pp.1030-1036.   1995年

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  • Measurement of Fluorocarbon Radicals Generated from C4F8/H2 Inductively Coupled Plasma: Study on SiO2 Selective Etching Kinetics

    K.Kubota, H.Matsumoto, H.Shindo, S.Shingubara, Y.Horiike

    Jpn.J.Appl.Phys.   34 , pp.2119-2124.   1995年

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  • Interaction of a Void and a Grain Boundary under a High Electric Current Stress Employing Three Dimensional Molecular Dynamics Simulation

    Shoso Shingubara, Isao Utsunomiya, Takayuki Takahagi

    Applied Surface Science,   91 pp.220-226.   1995年

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  • Molecular dynamics simulation of behaivor of a void due to electromigration in an Al interconnection

    S.Shingubara, I.Utsunomiya, T.Fujii

    Electronics and Communication in Japan, Part 2,   78 pp.82-95.   1995年

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  • Sustained Self-Sputtering of Copper Film Employing DC Magnetron Source

    S.Shingubara, A.Sano, I.Utsunomiya, Y.Horiike, Z.J.Radzimski, W.N.Posadowski

    MRS Conference Proceedings,   ULSI-IX p.87-94.   1994年

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  • Electromigration Characteristics of Cu-Al Precipitate in AlCu Interconnection

    Shoso Shingubara, Hiroyuki Nishida, Hiroyuki Sakaue, Yasuhiro Horiike

    Jpn.J.Appl.Phys.   Vol. 33 pp. 3860-3863.   1994年

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  • Migration Problems in Submicron Metal Interconnections

    SHINGUBARA Shozo

    Trans. Mat. Res. Soc. Jpn.,   vol.14B pp.1317-1322.   1994年

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  • Vertical and Lateral Hole Aluminum Filling Characteristics Employing ECR Al Sputtering with High Magnetic Field

    S.Shingubara, N.Morimoto, S.Takehiro, Y.Matsui, I.Utsunomiya, H.Shindo, Y.Horiike

    Appl.Phys.Lett.   vol.63, pp.737-739.   1993年

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  • Submicron SiO2 Hole Filling Characteristics Employing ECR Al Sputtering with High Magnetic Field

    N.Morimoto, S.Takehiro, Y.Matsui, I.Utsunomiya, H.Shindo, S.Shingubara, Y.Horiike

    Mat. Res.Soc.Conf.Proc.   ULSI-VIII pp.257-266.   1993年

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  • Digital Etching Study and Fabrication of Fine Si Lines and Dots

    J.Yamamoto, T.Kawasaki, H.Sakaue, S.Shingubara, Y.Horiike

    Thin Solid Films,   225 pp.124-129.   1993年

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  • Electromigration in a Single Crystalline Submicron Width Aluminum Interconnection

    Shoso Shingubara, Yasushi Nakasaki, Hisashi Kaneko

    Applied Physics Letters   58, pp. 42-44.   1991年

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  • Electromigration-Induced Abrupt Changes in Electrical Resistance Associated with Void Dynamics in Aluminum Interconnections

    Shoso Shingubara, Hisashi Kaneko, Makoto Saitoh

    J.of Applied Physics   69 pp.207-212.   1991年

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  • Sputtering of Aluminum Film Using Microwave Plasma with High Magnetic Field

    Shinobu Takehiro, Norimasa Yamanaka, Haruo Shindo, Shoso Shingubara, Yasuhiro Horiike

    Jpn.J.Appl.Phys.,   vol.12B pp. 3657-3661.   1991年

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  • Low Energy Silicon Etching Technologies

    Horiike, T.Hashimoto, K.Asami, J.Yamamoto, Y.Todokoro, H.Sakaue, S.Shingubara

    MICROELECTRONIC ENGINEERING,   13, pp. 417-424.   1991年

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  • Transition process from one celled vortex to two celled vortex

    S.Shingubara, K.Hagiwara, Y.Tchuchiya, T.Kawakubo

    Fluid Dynamics Research ,   vol.3 pp. 219-225.   1988年

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  • Vortices around a Sinkhole : Phase Diagram for One-celled and Two-Celled Vortices

    S.Shingubara, K.Hagiwara, R.Fukushima, T.Kawakubo

    J.Phys.Soc.Jpn. ,   vol.57 pp.88-94.   1988年

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  • Formation of Vortices around a Sinkhole

    S.Shingubara, T.Kawakubo

    J.Phys.Soc.Jpn.   vol.53 p.1026-1030.   1984年

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  • Coherent Structure Formation of Vortex Flow around a Sink

    T.Kawakubo, S.Shingubara, Y.Tsuchiya

    J.Phys.Soc.Jpn.   vol.52 Suppl. pp.143-146.   1983年

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書籍等出版物

  • 科学技術の発展とエネルギーの利用

    新宮原 正三( 担当: 単著)

    コロナ社新コロナシリーズ  2016年5月 

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  • ナノホールテンプレートを用いた半導体及び金属ナノワイヤの作製と応用

    新宮原 正三( 担当: 単著)

    研究開発リーダー  2013年 

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    本研究では直径数十ナノメートル以下の各種ナノワイヤを作成し、これらを用いた超高感度センサー及びエネルギー変換素子等への応用基礎検討を行った。特に、ナノワイヤ成長の鋳型となるアルミナ陽極酸化ナノホール配列の形成、シリコン基板上の垂直配向シリコンナノワイヤ形成、金属ナノ粒子触媒を用いた湿式エッチングによるシリコンナノワイヤ形成、磁性体ナノワイヤの形成と抵抗変化メモリ素子応用、などに関して解説を行う。

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  • LSI配線技術の発展

    新宮原 正三, ADMETA記念誌編集委員会編( 担当: 編集)

    ADMETA委員会発行  2007年10月 

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  • 金属微細配線におけるマイグレーションのメカニズムと対策

    新宮原 正三( 担当: 編集)

    サイエンス&テクノロジー  2006年 

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  • めっき最新技術~メカニズムの考察と品質向上~

    新宮原 正三( 担当: 編集)

    無電解めっき技術 技術情報機構  2006年 

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  • 自己組織化ナノホールを用いた超高密度磁気記録

    新宮原 正三

    日経ナノテク記事  2005年11月 

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  • 塗工・成膜における密着・接着性の制御とその評価

    新宮原 正三( 担当: 編集)

    電解・無電解めっきにおける銅製膜・配線の形成と密着性向上法 技術情報協会  2005年5月 

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MISC

  • 触媒の吸着処理法および吸着処理装置

    新宮原正三, 井上史大, 三宅浩志, 有馬良平, 岩下光秋, 東京エレクトロン, 田中崇(東京エレクトロン

    2011年9月

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  • ハードデイスクの超高密度化実現へ

    新宮原 正三

    日刊工業新聞   2006年3月

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講演・口頭発表等

  • 陽極酸化アルミナを用いたナノ構造を有するQCMの創製

    浅井直人, 伊藤 健, 清水 智弘, 新宮原正三

    第64回応用物理学会春季学術講演会  2017年3月 

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    開催地:横浜  

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  • Cu/Ti/ HfO2/Au抵抗変化メモリにおける低電圧スイッチングの研究

    吉田 勇人, 清水 智弘, 伊藤 健, 新宮原 正三

    第64回応用物理学会春季学術講演会  2017年3月 

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    開催地:横浜  

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  • セミの翅が持つ機能性ナノ構造の模倣と抗菌性評価

    伊藤 健, 中出一輝, 佐川貴志, 小嶋寛明, 清水智弘, 新宮原正三

    第64回応用物理学会春季学術講演会  2017年3月 

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    開催地:横浜  

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  • Formation and evaluation of Cu2ZnSnS4 films prepared by electroplating and sulfurization with CS2

    Tomohiko Nishida, Tomohiro Shimizu, Koichi Takase, Shukichi Tanaka, Takeshi Ito, Shoso Shingubara

    PVSEC-26  2016年11月 

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    開催地:Singapore  

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  • Antibacterial Property of Si Nanopillar Array Fabricated Using Metal Assisted Etching; Mimic a Cicada Wing Nanotechnology General Session 1

    Takeshi Ito, Kazuki Nakade, Naoto Asai, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    PRIME2016  2016年10月 

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    開催地:Hawaii, USA  

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  • Magnetic conductive filament formed in the ReRAM device with ferromagnetic electrode

    Hayato Yoshida, Tomohiro Shimizu, Takeshi Ito, Shoso Shingubara

    PRIME2016  2016年10月 

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    開催地:Hawaii, USA  

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  • lectroless plating of diffusion barrier films on SiO2 and evaluation of film characteristics

    Atsushi Hirate, Yuto Miyachi, Kohei Ohta, Tomohiro Shimizu, Takeshi Ito, Shoso Shingubara

    PRIME2016  2016年10月 

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    開催地:Hawaii, USA  

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  • All-Wet TSV Fabrication Using Electroless Plated Barrier and Cu Seed Layers with Pd Nanoparticle Catalyst INVITED PRESENTATION

    Shingubara Shoso, Inoue Fumihiro

    PRIME2016  2016年10月 

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    開催地:Hawaii, USA  

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  • Oxidation of CuSn alloy nano-tree and application for gas sensors

    N. Kaneko, T. Shimizu, T. Ito, Y. Tada, S. Shingubara

    PRIME2016  2016年10月 

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    開催地:Hawaii, USA  

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  • Fabricating a QCM Device with the Nanostructures Using the AAO Template

    Naoto Asai, Takeshi Ito, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    PRIME2016  2016年10月 

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    開催地:Hawaii, USA  

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  • Electrodeposited ZnO thin film on twin sensor QCM for sensing of ethanol at room temperature

    Ito, Takeshi, Fujii, Yudai, Yamanishi, Noriyoshi, Shimizu, Tomohiro, Shingubara, Shoso

    30th Eurosensors Conference  2016年9月 

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    開催地:Budapest, HUNGARY  

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  • AAO鋳型を用いた制御可能なナノ構造を有するQCMの創製

    浅井直人, 伊藤 健, 清水 智弘, 新宮原正三

    第77回応用物理学会秋季学術講演会  2016年9月 

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    開催地:新潟  

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  • TSVバリア・シード層の無電解めっき形成及びCu拡散バリア性の評価

    平手 惇史, 宮地 悠人, 太田 晃平, 伊藤健, 清水 智弘, 新宮原正三

    MES2016  2016年9月 

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    開催地:大阪  

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  • 陽極酸化アルミナ基板を用いたナノ多孔質構造バイオセンサー

    松田裕貴, 浅井直人, 清水 智弘, 新宮原正三, 伊藤 健

    第77回応用物理学会秋季学術講演会  2016年9月 

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    開催地:新潟  

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  • 磁性体電極を用いた抵抗変化メモリ素子におけるスイッチング特性及び磁気抵抗効果の 評価

    吉田 勇人, 伊藤 大介, 清水 智弘, 伊藤 健, 新宮原正三

    第80回半導体集積回路シンポジウム  2016年8月 

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    開催地:東京  

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  • Formation of Si moth-eye structures using 2-step metal assisted chemical etching

    Tomohiro Shimizu, Koichi Takase, Takeshi Ito, Shoso Shingubara

    13th International Conference on Nanoscience and Nanotechnologies(NN16)  2016年7月 

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    開催地:Tessalonik, Greece  

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  • Fabrication of Vertical Cu2ZnSnS4/Mo/Si Nanocylinder Arrays Using a Patterned Si Nanowire Arrays Template

    Chonge Wang, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    EU PVSEC2016  2016年6月 

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    開催地:Munich, Germany  

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  • クマゼミの羽が持つ機能性ナノ表面とその模倣

    伊藤 健, 田中琢望, 清水 智弘, 新宮原正三

    第63回応用物理学会春季学術講演会  2016年3月 

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    開催地:東京  

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  • CuSnナノツリー酸化物の形成と電気伝導特性評価

    金子直人, 清水 智弘, 伊藤健, 夛田芳広, 田中秀吉, 新宮原正三

    電気化学会春季大会  2016年3月 

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    開催地:大阪  

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  • CuSn合金ナノツリーの形成とガスセンサ応用

    和田卓十, 金子直人, 夛田芳宏, 清水智弘, 伊藤健, 新宮原正三

    電気化学会第84回大会  2016年3月 

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    開催地:東京  

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  • NiWB上への無電解Cuめっき膜の形成と評価

    井芹崇樹, 清水智弘, 伊藤健, 新宮原正三

    電気化学会第84回大会  2016年3月 

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    開催地:東京  

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  • SiO2上への無電解Co合金めっき膜の形成と膜質の評価

    平手 惇史, 宮地 悠人, 太田 晃平, 清水 智弘, 新宮原正三, 田中秀吉

    電気化学会春季大会  2016年3月 

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    開催地:大阪  

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  • ナノシリンダー型太陽電池の作製とプロセスの検討

    西田 智彦, 武 衝, 西田 光佑, 清水 智弘, 伊藤 健, 新宮原正三

    電気化学会春季大会  2016年3月 

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    開催地:大阪  

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  • 二段階めっき法で作製した太陽電池材料Cu2ZnSnS4の光応答特性評価

    吉川圭太, 西田智彦, 清水智弘, 高瀬浩一, 田中秀吉, 伊藤健, 新宮原正三

    電気化学会第84回大会  2016年3月 

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    開催地:東京  

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  • 陽極酸化された金電極を有するQCM(ブラックQCM)の作製

    浅井直人, 清水 智弘, 新宮原正三, 伊藤 健

    電気化学会83回大会  2016年3月 

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    開催地:大阪  

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  • Opto-electronic properties of Cu2ZnSnS4 films prepared using electroplating and CS2 sulfurization process

    Tomohiro Shimizu, Kosuke Nishida, Tomohiko Nishida, Koichi Takase, Chonge Wang, Shukichi Tanaka, Takeshi Ito, Shoso Shingubara

    EU PVSEC2016  2016年 

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    開催地:Hague, Nethreland  

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  • CuSn合金ナノツリー酸化物の形成と伝導特性評価

    和田卓十, 金子直人, 夛田芳広, 清水智弘, 伊藤健, 新宮原正三

    2016年秋 応用物理学会学術講演会  2016年 

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    開催地:新潟市  

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  • Highly adhesive displacement plated Cu seed on CoWB barrier for all-wet TSV fill process

    Shoso Shingubara, Kohei Ohta, Fumihiro Inoue, Takeshi Itoh, Tomohiro Shimizu

    MAM 2016  2016年 

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    開催地:Brussels, Belgium  

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  • Antibacterial characteristics of Si nano-pillar array

    Ito, Takeshi, Nakade, Kazuki, Asai, Naoto, Shimizu, Tomohiro, Shingubara, Shoso

    2016 IEEE 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE-NANO)  2016年 

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    開催地:Sendai, Japan  

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  • Switching and Magnetoresistance Characteristics

    H. Yoshida, D. Itou, T. Shimizu, T. Ito, S. Shingubara

    28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC)  2015年11月 

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    開催地:Toyama, JAPAN  

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  • Fabrication and optical property of metal nanowire arrays embedded in anodic porous alumina membrane

    Takase, Kouichi, Shimizu, Tomohiro, Sugawa, Kosuke, Shingubara, Shoso

    28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC)  2015年11月 

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    開催地:Toyama, JAPAN  

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  • Oxidation of CuSn alloy nanotree and application for gas sensors

    Kaneko, Naoto, Shimizu, Tomohiro, Tada, Yoshihiro, Shingubara, Shoso

    28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC)  2015年11月 

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    開催地:Toyama, JAPAN  

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  • Highly adhesive displacement plated Cu seed layer for all-wet TSV fill process

    Kohei Ohta, Fumihiro Inoue, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    228th ECS Meeting  2015年10月 

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    開催地:Phoenics, USA  

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  • Resistance switching phenomenon associated with anisotropic magnetoresistance of the ReRAM device with ferromagnetic electrodes

    D. Ito, H. Yoshida, T. Shimizu, S. Shingubara

    228th ECS Meeting  2015年10月 

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    開催地:Phoenics, USA  

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  • Fabrication of nanocone arrays by two step metal assisted chemical etching method

    Shimizu, Tomohiro, Tanaka, Norihiro, Tada, Yoshihiro, Shoso Shingubara

    International Conference of Micro and Nanofabrication  2015年9月 

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    開催地:Toledo, SPAIN  

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  • Cu-Sn合金ナノツリーの形成とそれを用いた酸化物形成

    金子直人, 新宮原正三, 清水 智弘, 夛田芳広

    第76回応用物理学会秋季学術講演会  2015年9月 

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    開催地:愛知  

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  • SiO2上への無電解CoWPめっき膜の形成と膜質の評価

    平手 惇史, 宮地 悠人, 太田 晃平, 清水 智弘, 新宮原正三

    MES 2015  2015年9月 

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    開催地:大阪  

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  • 磁性体電極を用いた抵抗変化メモリ素子におけるスイッチング特性及び磁気抵抗効果の 評価

    吉田 勇人, 伊藤 大介, 清水 智弘, 伊藤 健, 新宮原 正三

    第76回応用物理学会秋季学術講演会  2015年9月 

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    開催地:愛知  

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  • Fabrication of nanocone arrays by two step metal assisted chemical etching method

    Tomohiro Shimizu, Norihiro Tanaka, Yoshihiro Tada, Yasuhiro Hara, Noriaki Nakamura, Junichi Taniuchi, Koichi Takase, Takeshi Ito, Shoso Shingubara

    MNE 2015  2015年9月 

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    開催地:Hague , Netherland  

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  • SiO2上への無電解NiWPめっき膜の形成と膜質の評価

    宮地 悠人, 平手 惇史, 太田 晃平, 清水 智弘, 新宮原正三

    MES 2015  2015年9月 

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    開催地:大阪  

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  • All-wet TSV filling with highly adhesive displacement plated Cu seed layer

    Ohta, Kohei, Hirate, Atsushi, Miyachi, Yuto, Shimizu, Tomohiro, Shingubara, Shoso

    IEEE International 3D Systems Integration Conference (3DIC)  2015年8月 

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    開催地:Sendai, JAPAN  

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  • Fabrication of the solar-blind photodetector based on NixMg1-xO films by radio-frequency sputtering

    Nishitani, H, Ohta, K, Inada, M, Shimizu, T, Shingubara, S

    IEEE International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK)  2015年6月 

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    開催地:Kyoto, JAPAN  

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  • Temperature dependence of magnetoresistance characteristics of the on-state of resistive random access memory with ferromagnetic electrode

    Ito, Daisuke, Hamada, Yoshihumi, Otsuka, Shintaro, Shimizu, Tomohiro, Shingubara, Shoso

    IEEE International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK)  2015年6月 

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    開催地:Kyoto, JAPAN  

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  • Effect of additive on the formation of CuSn Alloy nano-trees formed with DC Electroplating

    S. Shingubara, T. Shimizu, N.Kaneko, Y.Tada

    227th ECS Meeting  2015年5月 

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    開催地:Chicago, USA  

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  • Temperature dependence of magnetoresistance characteristics of the on-state of resistive random access memory with ferromagnetic electrode

    Daisuke Ito, Yoshihumi Hamada, Shintaro Otsuka, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    IMFEDK 2015  2015年5月 

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    開催地:Kyoto  

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  • CuSn合金ナノツリー形成におけるPEG添加効果

    金子直人, 清水 智弘, 夛田芳広, 田中秀吉, 新宮原正三

    電気化学会82回大会  2015年3月 

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    開催地:横浜  

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  • Auナノ粒子を用いたSiナノコーンの形成と反射率特性の評価

    田中規寛, 近藤彰人, 清水 智弘, 新宮原正三

    第62回応用物理学会春季学術講演会  2015年3月 

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    開催地:神奈川県  

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  • All-wet TSV filling with highly adhesive displacement plated Cu seed layer

    Kohei Ohta, Fumihiro Inoue, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    3DIC Conference 2015  2015年 

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    開催地:Sendai  

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  • Suppression of switching voltage variation by controlling filament formation in In/porous alumina/Al resistive change random access memory

    Tanimoto, Yusuke, Otsuka, Shintaro, Shimizu, Tomohiro, Shingubara, Shoso

    27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC)  2014年11月 

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    開催地:Fukuoka, JAPAN  

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  • Nitridation of Si surface at the bottom of submicron trench using nitrogen neutral beam

    Hara, Yasuhiro, Shimizu, Tomohiro, Shingubara, Shoso

    27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC)  2014年11月 

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    開催地:Fukuoka, JAPAN  

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  • Oxide thickness dependence of resistive switching characteristics for Ni/HfOx/Pt resistive random access memory device

    Ito, Daisuke, Hamada, Yoshihumi, Otsuka, Shintaro

    27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC)  2014年11月 

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    開催地:Fukuoka, JAPAN  

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  • 凝集構造を利用したSi ナノワイヤ配列の光学特性制御

    新宮原 正三

    第61回応用物理学会春季学術講演会  2014年3月 

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  • Temperature Dependence of Resistance of Conductive Nano-filament

    新宮原 正三

    第61回応用物理学会春季学術講演会  2014年3月 

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  • Enhancement of light absorption using bunched Si nanowire arrays

    新宮原 正三

    Material Research Society fall meeting 2013  2013年12月 

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    開催地:Boston、USA  

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  • Niナノワイヤを用いた抵抗変化型メモリの形成と評価

    新宮原 正三

    第33回表面科学学術講演会  2013年11月 

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    開催地:茨城県つくば市  

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  • Study on conductive filaments formed in ReRAM devices through temperature dependence of electrical transport properties

    新宮原 正三

    26th International Microprocesses and Nanotechinology Conference  2013年11月 

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    開催地:Sapporo  

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  • Study on collective morphology dependence of optical reflectance

    新宮原 正三

    26th International Microprocesses and Nanotechinology Conference  2013年11月 

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    開催地:Sapporo  

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  • メタルアシストエッチングと陽極酸化アルミナを用いた規則配列Si ナノワイヤの形成と反射率特性評価

    新宮原 正三

    2013年精密工学会  2013年11月 

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    開催地:大阪府  

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  • Fabrication of Cu2ZnSnS4 thin films by sulfurization of electrodeposited CuZn/CuSn precursor layers with CS2

    新宮原 正三

    23rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference  2013年10月 

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    開催地:Taipei, Taiwan  

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  • Temperature Dependence of Resistance of Conductive Nano-filament Formed in Ni/NiOx/Pt ReRAM

    新宮原 正三

    ADMETA Plus 2013: Asiasn Session  2013年10月 

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    開催地:Tokyo  

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  • Highly conformal and adhesive electroless barrier and Cu seed formation

    新宮原 正三

    IEEE 3DIC-2013  2013年10月 

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    開催地:San Francisco, USA  

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  • Effect of confining filaments on the current – voltage characteristics of resistive change memory by using anodic porous alumina

    新宮原 正三

    26th International Microprocesses and Nanotechinology Conference  2013年10月 

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    開催地:札幌市  

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  • 高密着性無電解めっきバリア膜の検討とTSVプロセスへの応用

    新宮原 正三

    MES(Microelectronics Symposium)2013  2013年9月 

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    開催地:Osaka  

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  • Fabrication and absorption properties of ordered Si nanowire arrays using porous aluminum mask

    新宮原 正三

    International Porous Powder Materials 2013  2013年9月 

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    開催地:Izmir, Turkey  

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  • S i ナノワイヤ配列の光学特性の凝集度による相違

    新宮原 正三

    第74回応用物理学会秋季学術講演会  2013年9月 

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    開催地:京都府京田辺市同志社大学  

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  • Fabrication of Cu2ZnSnS4 thin films by sulfurization of electrodeposited CuZn/CuSn precursor layers with CS2

    新宮原 正三

    第74回応用物理学会秋季学術講演会  2013年9月 

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    開催地:京都府京田辺市  

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  • 金属酸化膜中に形成された導電性フィラメントの抵抗温度依存性

    新宮原 正三

    第74回応用物理学会秋季学術講演会  2013年9月 

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    開催地:京都府京田辺市  

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  • Enhancement of light absorption using bunched Si nanowire arrays

    新宮原 正三

    The 2013 International Meeting for Future of Electron Device  2013年5月 

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    開催地:大阪府吹田市  

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  • CuSn合金ナノツリー構造体の電解めっき形成と評価

    新宮原 正三

    電気化学会第81回大会  2013年3月 

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  • 窒素中性粒子ビームによるSi表面の窒化

    新宮原 正三

    第61回応用物理学会春季学術講演会  2013年3月 

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  • 自己集合ポリスチレン球とメタルアシストエッチングを用いた

    新宮原 正三

    第61回応用物理学会春季学術講演会  2013年3月 

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  • Direct Electroless Cu Seed Fabrication on Vapor Deposited Polyimide in Through-Si Via

    INOUE F, SHIMIZU T, ARIMA R, MIYAKE H, SHINGUBARA S

    MAM 2012  2013年3月 

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    開催地:Leuven, Begium  

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  • 自己組織テンプレートとメタルアシストエッチング法を用いた規則配列Siナノワイヤ形成と評価

    山口 卓也, 清水 智弘, 夛田 芳広, 新宮原 正三

    応用物理学会  2013年3月 

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    開催地:厚木市  

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  • ガスセンサ応用に向けた銅錫酸化物ナノツリー構造の形成と評価

    夛田 芳広, 田中 良典, 清水 智弘, 新宮原 正三

    応用物理学会  2013年3月 

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    開催地:厚木市  

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  • 電気化学処理を施した硫酸陽極酸化アルミナを用いた抵抗変化素子の電流電圧特性

    谷本 優輔, 古屋 沙絵子, 大塚 慎太郎, 清水 智弘, 新宮原 正三, 渡辺 忠孝, 高野 良紀, 高瀬 浩一

    応用物理学会  2013年3月 

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    開催地:厚木市  

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  • 無電解めっき法を用いた高アスペクト比TSV へのCu シード層形成

    井上 史大, 清水智弘, ハロルド・フィリップ, 新宮原正三

    応用物理学会シリコンテクノロジー分科会  2013年3月 

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    開催地:東京都  

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  • VLS法によるナノワイヤ成長 拡散抑制層追加による成長の改善

    古藤 誠, 清水 智弘, 新宮原 正三

    応用物理学会  2013年3月 

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    開催地:厚木市  

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  • 高アスペクト比TSVへの無電解めっき皮膜形成に向けたPdナノ粒子触媒吸着

    井上 史大, 清水 智弘, 三宅 浩志, 有馬 良平, 伊藤 俊彦, 關 洋文, 篠崎 夕子, 山本 智彦, 新宮原正三

    応用物理学会  2013年3月 

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    開催地:厚木市  

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  • Fabrication of Cu2ZnSnS4 nanowire arrays using electroplating with nanohole template

    WANG C, TANAKA Y, TERUI T, TANAKA S, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    PVSEC 2012  2012年11月 

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    開催地:HANGZHOU. CHINA  

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  • Temperature dependence of resistance of conductive filament formed by dielectric breakdown

    S. Otsuka, T. Kato, T. Kyomi, Y. Hamada, Y. Tada, T. Shimizu, S. Shingubara

    MNC2012  2012年11月 

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    開催地:Kobe, Japan  

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  • Control of crystal orientation and diameter of Si nanowire using anodic aluminum oxide template

    T.shimizu, S.Shingubara

    MNC2012  2012年11月 

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    開催地:Kobe, Japan  

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  • Fabrication of nanostructured Cu2ZnSnS4 using electrodeposition with AAO template

    Y.Tanaka, C.Wang, A.Kondo, T.Terui, S.Tanaka, T.Shimizu, S.Shingubara

    MNC2012  2012年11月 

     詳細を見る

    開催地:Kobe, Japan  

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  • Electrical properties of metal oxide nanowire formed in anodic aluminum oxide template

    S.Furuya, S.Otsuka, T,Shimizu, S.Shingubara, T.Watanabe, Y.Yakano, K.Takase

    MNC2012  2012年11月 

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    開催地:Kobe, Japan  

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  • Large Resistive Switching Phenomenon Induced by Magnetic Field in Nano Conduction Path

    KATO T, SHIMIZU T, OTSUKA S, KYOMI T, SHINGUBARA S

    PriME 2012  2012年10月 

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    開催地:Honolulu, USA  

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  • 金属触媒とポーラスアルミナを用いた垂直シリコンナノワイヤ配列の形成

    清水 智弘, 夛田 芳裕, 山口 卓也, 新宮原 正三

    マイクロ・ナノ工学研究会  2012年10月 

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    開催地:北九州市  

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  • Improvement of adhesion strength of electroless barrier layer on SiO2 and control of deposition profile in a high aspect ratio TSV

    NISHIZAWA S, INOUE F, ARIMA R, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    ADMETA PLUS 2012  2012年10月 

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    開催地:Tokyo Japan  

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  • Fabrication and evaluation of nanowire-based resistive switching device using self-organized template

    T.Kyomi, S.Otsuka, Y.Takeda, Y.Sumita, T.Shimizu, S.Shingubara

    ADMETA PLUS 2012  2012年10月 

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    開催地:Tokyo Japan  

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  • Control of the Morphology of Si Nanostructure Using Single-Step Metal Assisted Etching

    YAMAGUCHI T, SHIMIZU T, INOUE F, WANG C, OTSUKA S, TADA Y

    PRiME 2012  2012年10月 

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    開催地:Honolulu, USA  

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  • Electric Conduction Mechanism of Resistive Switching Memory using Anodic Porous Alumina

    OTSUKA S, SHIMIZU T, SHINGUBARA S, IWATA N, WATANABE T, TAKANO Y

    PRiME 2012  2012年10月 

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    開催地:Honolulu, USA  

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  • Bath Stability Monitoring for Electroless Cu Seed Formation in High Aspect Ratio TSV”

    Inoue F, Philipsen H, S. Armini, A. Radisic, Y. Civale, P. Leunissen, S,Shingubara

    Prime 2012  2012年10月 

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    開催地:Honolulu USA  

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  • Control of Adhesion Strength and TSV Filling Morphology of Electroless Barrier Layer

    ARIMA R, INOUE F, MIYAKE H, SHIMIZU T, SHINGUBARA S

    PRiME 2012  2012年10月 

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    開催地:Honolulu, USA  

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  • Electrical properties of metal oxide nanowire formed in anodic aluminum oxide template

    SHIMIZU T, KYOMI T, OTSUKA S, TAKASE K, SHINGUBARA S

    ICPS 2012  2012年9月 

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    開催地:Zurich, Swiss  

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  • SiO2上の無電解バリアメタル膜の密着性向上の検討

    西沢 正一郎, 井上 史大, 有馬 良平, 清水智弘, 新宮原 正三

    応用物理学会  2012年9月 

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    開催地:松山市  

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  • Fabrication of vertical Cu2ZnSnS4 nanowire arrays using anodic aluminum oxide templates

    王 崇娥, 田中 良典, 照井 通文, 田中 秀吉, 清水 智弘, 新宮原 正三

    応用物理学会  2012年9月 

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    開催地:松山市  

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  • 自己組織テンプレートを用いたナノワイヤ抵抗変化素子の形成と評価

    京見 拓也, 大塚 慎太郎, 武田 佳樹, 清水 智弘, 新宮原 正三

    応用物理学会  2012年9月 

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    開催地:松山市  

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  • Collective electronic transport in Au10 clusters

    M.Inada, K. Fukaya, T. Ogawa, H. Kawasaki, T.shimizu, S. Shingubara, T.Saitoh

    ICPS 2012  2012年9月 

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    開催地:Zurich, Swiss  

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  • Au10クラスターの電子輸送特性

    小川 智矢, 深谷 一樹, 清水 智弘, 新宮原 正三, 齊藤 正, 稲田 貢

    応用物理学会  2012年9月 

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    開催地:松山市  

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  • Novel Seed Layer Formation Using Direct Electroless Copper Deposition on ALD-Ru Layer for High Aspect Ratio TSV

    F. Inoue, H. Philipsen, A. Radisic, S. Armini, Y. Civale, P. Leunissen, S. Shingubara

    IEEE IITC 2012  2012年6月 

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    開催地:San Jose  

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  • Electroless Deposition of Barrier and Seed Layers for Via Last Cu-TSV Metalization

    F.Inoue, T.Shimizu, R.Arima, S.Shingubara

    IEEE IMFEDK 2012  2012年5月 

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    開催地:Osaka, Japan  

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  • Fabrication of an ordered anodic aluminum oxide pore arrays with an interpore distance smaller than the nano-indentation pitch formed by ion beam etching

    C.Wang, K.Saitoh, T.Shimizu, S.Tanaka, Y.Ishida, S.Shingubara

    IEEE IMFEDK 2012  2012年5月 

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    開催地:Osaka, Japan  

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  • All-wet Cu-filled TSV Process Using Electroless Co-alloy Barrier and Cu Seed

    INOUE F, SHIMIZU T, ARIMA R, MIYAKE H, SHINGUBARA S

    IEEE ECTC 2012  2012年5月 

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    開催地:SanDiego, USA  

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  • Evaluation of morphology and crystal structure of Si nanowires prepared by single-step metal assisted etching

    T.Yamaguchi, T.shimizu, F.Inoue, C.Wang, M.Inada, T.Saitoh, S.Shingubara

    IEEE IMFEDK 2012  2012年5月 

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    開催地:Osaka, Japan  

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  • Application of electroless plating for the formation of Cu-filled TSV

    Shingubara S

    MSP NEX Symposium 2012  2012年4月 

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    開催地:Seoul, Korea  

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  • “Fabrication of an array of Ni/NiO nanowire-ReRAM using AAO template on Si”

    Y.Sumita(D, S.Minoguchi(B, S. Otsuka(日, K. Takase, T.Shimizu, S.Shingubara

    2011年11月 

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    開催地:Tokyo,Japan  

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  • “Electroless Barrier Deposition with Pd Nanoparticle Catalyst in High Aspect Ratio TSV

    H. Miyake(D, F. Inoue(D, R. Arima(D, T. Shimizu, S. Shingubara

    2011年10月 

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    開催地:Boston,USA.  

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  • “Oxide Thickness Dependence of a Large Magnetoresistance Switching Phenomenon in a Ferromagnetic Nano-conduction Path”

    K. Shimomura, T. Kato(D, T. Iwakura(D, T. Shimizu, S. Shingubara

    2011年10月 

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    開催地:Kyoto, Japan  

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  • “Fabrication of an Ordered Anodic Aluminum Oxide Pore Arrays with an Interpore Distance smaller than the Nano-indentation Pitch formed by Ion Beam Etching”

    C. Wang(D, Y. Ishida(D, Q. Wang(D, T. Yamaguchi(B, S. Tanaka(D, K. Saitoh(NICT, T. Shimizu, S. Shingubara

    2011年10月 

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    開催地:Kyoto, Japan  

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  • “Additional Electrochemical Treatment Effects on the Switching Characteristics of Anodic Aluminum Oxide ReRAM”,,

    S. Otsuka, R. Takeda, S. Furuya, H. Miyake(D, T. Shimizu, S. Shingubara, N. Iwata(日, T. Watanabe(日, Y. Takano, K. Takase

    2011年10月 

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    開催地:Kyoto, Japan  

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  • “Adsorption of Pd Nanoparticle Catalyst for Conformal Electroless Plating of Barrier Layer in a High Aspect Ratio TSV”

    R. Arima(D, F. Inoue(D, H. Miyake(D, T. Shimizu, T. Ito(東レリサーチセンター, H. Seki(東レリサーチセンター, Y. Shinozaki(東レリサーチセンター, T. Yamamoto(東レリサーチセンター, S. Tanaka(NICT, T.Terui(NICT, S.Shingubara

    2011年9月 

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    開催地:Tokyo, Japan  

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  • 無電解バリアメタルを用いたオールウエットCu-TSVの形成と評価

    有馬良平, 三宅浩志, 井上史大, 清水智弘, 新宮原正三

    2011年9月 

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    開催地:大阪府吹田市  

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  • “Resistive switching characteristics of NiO/Ni nanostructure”

    S. Otsuka(日, S. Furuya(日, R. Takeda, T. Shimizu, S. Shingubara, T. Watanabe(日, Y. Takano, K. Takase

    2011年9月 

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    開催地:Berlin, Germany  

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  • 電解めっきによるSn-Cu系合金めっき膜の形成と膜特性評価

    西村清賢, 井上史大, 清水智弘, 照井通文(NICT, 新宮原正三

    2011年9月 

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    開催地:大阪府吹田市  

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  • “Formation of a fine pitch nanohole array in AAO film on Si substrate by combination of the pattern transfer with IBE and the self-organizing anodic oxidation”

    T. Shimizu, Y. Ishida(D, S. Shingubara

    2011年9月 

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    開催地:Berlin, Germany  

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  • “All-Wet TSV Process Using Electroless Barrier and Seed Layers with Pd Nanoparticle Catalyst”

    H. Miyake, F. Inoue(D, R. Arima(D, T. Shimizu, S. Shingubara

    ISE 2011  2011年8月 

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    開催地:Niigata, Japan  

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  • CU2ZNSNS4 THIN FILMS FORMED BY SINGLE-STEP ELECTRODEPOSITION METHODS FOR ABSORBER LAYER

    M. Jeon, F. Inoue(D, T. Shimizu, S. Shingubara

    2011年7月 

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    開催地:Jeju, Korea  

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  • “Huge magnetoresistance switching in a ferromagnetic nano-conduction-path formed by dielectric breakdown”

    T. Shimizu, Y. Shiotani(D, K. Shimomura(D, S. Shingubara

    2011年6月 

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    開催地:Nijmegen, Netherland  

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  • “Resistance Switching Phenomenon in Nano-Conduction Path formed by dielectric breakdown”

    T. Shimizu, Y. Shiotani(D, K. Shimomura(D, S. Shingubara

    2011年5月 

     詳細を見る

    開催地:Osaka, Japan  

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  • “Control of crystalline orientation and diameter of Si nanowires based on VLS method and electrodeposition of catalyst using AAO template”,

    Q. Wang(D, T. Shimizu, Shingubara

    2011年5月 

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    開催地:Osaka, Japan  

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  • “Characteristics of AAO template-assisted Cu2ZnSnS4 (CZTS) nanowires synthesized by potential pulsed electrodeposition method”

    M. Jeon, F. Inoue(D, T. Shimizu, S. Shingubara

    2011年5月 

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    開催地:Niece, France  

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  • “Huge Resistance Switching Induced by Magnetic Field in a Ferromagnetic Nano-Conduction Path”

    T. Shimizu, Y. Shiotani(D, K. Shimomura(D, S. Shingubara

    2011年4月 

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    開催地:Taipei, Taiwan  

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  • “Control of Crystal Orientation of Epitaxial Si nanowires on Si Substrate Using AAO template”

    T. Shimizu, Q. Wang(D, C. Wang(D, F. Inoue(D, M. Koto(キヤノン, M. Jeon, S. Shingubara

    2011年4月 

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    開催地:San Francisco, USA  

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  • “All-Wet Cu-TSV Fabrication Process Using Electroless Barrier and Seed Layers”

    R. Arima, F. Inoue(D, T. Yokoyama(D, H. Miyake(D, S. Tanaka(NICT, T. Terui(NICT, T.Shimizu, S. Shingubara

    2011年4月 

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    開催地:Tokyo, Japan  

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  • AAOテンプレートを用いたAu/Ag/Auナノワイヤの形成と特性評価

    綱島祐人, 井上史大, 清水智弘, 大矢裕一, 田中秀吉, 新宮原正三

    2011年3月 

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    開催地:厚木  

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  • Si基板上に形成したCoナノワイヤ配列の微細化とその磁気特性評価

    田中良典, 青木和茂, 照井通文(NICT, 清水智弘, 新宮原正三

    2011年3月 

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    開催地:厚木市  

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  • 3次元LSIに向けた無電解バリア膜の形成及び密着性評価”

    有馬良平, 井上史大, 横山巧(D, 三宅浩志, 清水智弘, 新宮原正三

    2011年3月 

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    開催地:厚木  

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  • Fabrication of Various Nanowires Using AAO Template for Preparation of Building Blocks of Highly Functional Nanodevices and Sensors

    shoso shingubara

    2010年12月 

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    開催地:Kobe, Japan  

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  • Reduction of pitch of nanohole array by self-organizing anodic oxidation after pre-patterning with IBE on the surface of Al film

    Y.Ishida, S.Tanaka, T.Shimizu, S.Shinguhara

    2010年12月 

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    開催地:Kobe, Japan  

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  • Large magnetoresistance observed in a nano-conduction path formed with dielectric breakdown of SiO2 connected with ferromagnetic layer

    Y.Shiotani, K.Shimomura, T.Shimizu, S.Shingubara

    2010年12月 

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    開催地:Cheju, South Korea  

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  • Preparation of Ultra High Density Magnetic Nanowire Arrays beyond 1 Tera Bit / Inch2 on Si Substrate Using AAO Template

    K.Aoki, T.Shimizu, S. Shingubara, Y.Tanaka, T.Terui

    2010年11月 

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    開催地:Kokura, Japan  

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  • Change in magnetoresistance property depending on the state of Ni-oxide memory device

    K.Suzuki, Y.Shiotani, Y.Sumita, T.Shimizu, S.Shingubara

    2010年11月 

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    開催地:Kokura, Japan  

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  • Large magnetoresistance switching phenomena in a nano-conduction path formed with dielectric breakdown

    Y.Shiotani, K.Shimomura, T.Shimizu, S. Shingubara

    2010年11月 

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    開催地:Kokura, Japan  

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  • All-Wet Fabrication Technology for High Aspect Ratio TSV Using Electroless Barrier and Seed Layers

    Fumihiro Inoue, Takumi Yokoyama, Hiroshi Miyake, Shukichi Tanaka, Toshifumi Terui, Tomohiro Shimizu, Shoso Shingubara

    2010年11月 

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    開催地:Munich,Germany  

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  • Conformal Electroless Deposition of Barrier and Cu Seed Layers for Realizing All-Wet TSV Filling Process

    Shoso Shingubara, Fumihiro Inoue, Takumi Yokoyama, Shokiti Tanaka, Toshifumi Terui, Tomohiro Shimizu

    2010年10月 

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    開催地:Las Vegas, USA  

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  • Improvement in the deposition profile of electroless plated barrier on TSV sidewall and evaluation of the barrier film properties

    Takumi Yokoyama, Fumihiro Inoue, Shokiti Tanaka, Toshifumi Terui, Shoso Shingubara

    2010年10月 

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    開催地:Las Vegas, USA  

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  • Formation of Electroless Barrier Layer Using Au Nanoparticles Catalyst for All-Wet TSV-Fill Technology

    Fumihiro Inoue, Takumi Yokoyama, Shokiti Tanaka, Toshifumi Terui, Shoso Shingubara, Tomohiro Shimizu

    2010年10月 

     詳細を見る

    開催地:Las Vegas, USA  

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  • Formation and Evaluation of Electroless Barrier Films for High Aspect Ratio Through-Si Vias

    H. Miyake, F. Inoue, T. Yokoyama, T. Shimizu, S. Tanaka, T. Terui, S.Shingubara

    2010年9月 

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    開催地:Tokyo  

    出願人;関西大学

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  • 金ナノ粒子を触媒とした無電解Ni,Co合金めっき膜の形成とTSVへの応用の検討

    三宅 浩志, 井上 史大, 横山 巧, 清水 智弘, 新宮原 正三

    2010年9月 

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    開催地:滋賀県  

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  • VLS法によるシリコンナノワイヤ成長 イールドの改善

    古藤 誠, 石田康晴, 清水智弘, 新宮原 正三

    2010年9月 

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    開催地:長崎市  

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  • 絶縁破壊により形成された微細導通経路における抵抗揺らぎ特性

    下村 耕平, 塩谷 裕一, 清水智弘, 新宮原 正三

    2010年9月 

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    開催地:長崎市  

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  • 電解めっき形成Sn/Cu積層膜の界面合金層の評価

    西村清賢, 井上史大, 横山巧, 清水智弘, 新宮原正三

    2010年9月 

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    開催地:長崎市  

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  • 無電解めっき形成バリア・シード層を用いた高アスペクト比TSV形成

    井上 史大, 横山 巧, 三宅 浩志, 清水 智弘, 新宮原 正三

    2010年7月 

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    開催地:横浜市  

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  • The Effect of Electroless Barrier Layer Deposition on SiO2 with Au Nano Particles in a Through Si Via

    F. Inoue, T. Yokoyama, H. Miyake, S. Tanaka, K. Yamamoto, S. Shingubara

    2010年6月 

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    開催地:San Francisco,USA  

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  • Study of Electroless Plating for Low Resistance 3D Interconnect

    F. Inoue, T. Yokoyama, H. Miyake, S. Tanaka, K. Yamamoto, S. Shingubara

    2010年5月 

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    開催地:Osaka, Japan  

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  • Reduction of the Pitch of the Nano-Hole Array by Self-Organizing Anodic Oxidation After Nano-Imprinting

    S. Maruo, T. Yamashita, M. Nakao, T.Shimizu, S. Shingubara

    2009年9月 

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    開催地:Ghent, Belgium  

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  • Ni-アルミナ・ナノコンポジットにおける巨大磁気抵抗スイッチング現象

    塩谷裕一, 山西卓, 村上勝久, 清水智弘, 新宮原正三

    2009年9月 

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    開催地:長崎市  

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  • 配線技術の課題と展望

    新宮原 正三

    2009年9月 

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    開催地:富山市  

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  • 微小Niショットキー接合の形成と磁気伝導特性評価

    鈴木克哉, 山西卓, 塩谷裕一, 新宮原正三

    2009年9月 

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    開催地:富山市  

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  • Cu Filling Characteristics in Through-Si Via Holes by Electroless Plating with Addition of Inhibitors

    S. Shingubara, F. Inoue, Z. Wang, K. Yamamoto, S. Tanaka

    2009年8月 

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    開催地:Xi’an, China  

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  • Enormous Magneto-resistance Switching Observed in Ni-diffused Anodic Aluminum Oxide

    S.Yamanishi, Y.Shiotani, K.Murakami, T.Shimizu, S. Shingubara

    2009年7月 

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    開催地:Karlsruhe, Germany  

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  • Study of Low Resistance TSV Using Electroless Plated Copper and Tungsten-alloy Barrier

    F.Inoue, T.Yokoyama, S.Tanaka, K.Ymamoto, M.Koyanagi, T.Fukushima, Z.Wang, S.Shingubara

    2009年6月 

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    開催地:Sapporo  

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  • ENORMOUS RESISTANCE SWITCHING PHENOMENA OBSERVED IN NICKEL-ALUMINIUM-OXIDE NANOCOMPOSITE

    S.Yamanishi, Y.Siotani, K.Murakami, T.Shimizu, S. Shingubara

    2009年5月 

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    開催地:Sacramento, USA  

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  • Cu Fill Properties in the High Aspect Ratio Through-Si Via Hole by Electroless Plating

    F. Inoue, K. Yamamoto, S. Tanaka, Z. Wang, S. Shingubara

    2009年4月 

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    開催地:Kyoto Japan  

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  • 無電解めっきによるNiW合金/Cu積層膜の形成と評価

    横山巧, 上田淳貴, 井上史大, 新宮原正三

    2009年3月 

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    開催地:つくば市  

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  • Fabrication of Metal Nanowires Sandwiched with Gold for Self-Assembling of NW sensors

    M. Yamanaka, K.Aoki, Ishida, Y. Ohya, S. Tanaka, T.Shimizu, S. Shingubara

    2008年12月 

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    開催地:Kobe, Japan  

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  • Synthesis of size-controlled metal nanowires toward self-assembling of NW networks

    M.Yamanaka, H.Mori, Y.Ohya, S.Tanaka, K.Ijiro, S.Shingubara

    2008年10月 

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    開催地:Nagoya, Japan  

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  • Realizing 1/√3 pitch of the alumna nano-hole array by self-organizing anodic oxidation after nano-imprinting

    S. Maruo, T. Yamashita, M. Nakao, T.Shimizu, S. Shingubara

    2008年10月 

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    開催地:Hakata, Japan  

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  • Aspect Ratio Dependence of M-H Switching Characteristics of Oblong Ferromagnetic Film

    H.Oka, S.Yamanishi, S.Shingubara, K.Akabane

    2008年10月 

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    開催地:Nagoya, Japan  

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  • Investigations of Cu Filling in Through-Si Via Holes Using Direct Electroless Plating on CVD-W

    F.Inoue, M.Koyanagi, T.Fukushima, K.Yamamoto, S.Tanaka, Z.Wang, S.Shingubara

    2008年9月 

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    開催地:Tokyo  

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  • Niナノワイヤの形成と磁気伝導特性評価

    山西卓, 河上茂太, 新宮原正三, 清水智弘, Max Planck Institute of Microstructure physics, Germany

    2008年9月 

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  • 電圧刺激に誘起されたパターン化ゲルのBZ振動現象

    白木裕介, 西河丞, 新宮原正三, 加藤直彦

    2008年9月 

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  • Fabrication and characterization of diameter controlled Ag and Ni nanowires for bio-sensing devices

    S.Shingubara, T.Shimizu, N.Yamanaka

    2008年9月 

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    開催地:Warsaw, Poland  

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  • Epitaxial growth of vertical group IV semiconductor nanowires on Si (100) substrate using anodic alumina template

    Tomohiro Shimizu, Zhang Zhang, Xie Tian, Jo Nishikawa, Shoso Shingubara, Stephan Senz, Ulrich Gösele

    2008年9月 

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    開催地:Tsukuba, Japan  

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  • Bottom-up Electroless Copper Plating Technology for through Si-Via Filling

    F.Inoue, K.Yamamoto, S.Tanaka, Z.Wang, S.Shingubara

    2008年5月 

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    開催地:Tokyo, Japan  

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  • Reduction of nanohole pitch from that of pre-imprinted one in AAO by adjusting anodic voltage

    S.Shingubara, T.Yamashita, K.Maruo, M.Nakao, T.Shimizu

    2008年3月 

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    開催地:San Francisco  

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  • ナノインプリント制御によるアルミナナノホール配列のピッチ縮小に関する研究

    丸尾 賢, 新宮原正三, 中尾 正史, 山下 尊史

    2008年3月 

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    開催地:甲府市  

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  • Co還元無電解めっきによる銀薄膜の形成

    井上史大, 原田優作, 田中秀吉, 山本和広, 新宮原正三

    2008年3月 

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    開催地:甲府市  

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  • Detection of Interconnect Reliability Failures by Non-Biased / Biased IR-OBIRCH Method

    S.Shingubara, Y.Harada, S.Nakahara, M.Kawakami, K.Koshikawa, T.Nakamura

    Materials Research Society.  2008年 

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  • BZ反応によるパターン化ゲルの振動現象

    西河丞, 白木裕介, 新宮原正三, 加藤直彦

    講演要旨集  2007年 

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  • 無電解銅めっきによる微細ホールのボトムアップ堆積

    原田優作, 実吉要文, 奥村典昭, 新宮原正三

    第17回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集  2007年 

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  • Si基板上へのFePt膜の電解めっき形成

    森裕紀, 山下尊史, 浮田真司, 松田亜弓, 新宮原正三

    2007年 

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  • インプリント法を用いた陽極酸化アルミナ・ナノホール配列の形成

    山下尊史, 丸尾賢, 新宮原正三, 中尾正史, 田中秀吉

    講演要旨集  2007年 

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  • Fabrication of Nanohole Arrays in Anodized Aluminum Oxide with Gold at the bottom as templates t toward one dimensional organic nanostructures

    K. Ogata, S. Shingubara, H. Yorozu, T. Nakanishi

    2006年12月 

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  • Diameter controlled CVD growth of CNTs using AAO template on Si substrate with Ni silicide catalyst

    S.Shingubara, T. Ishida, T.Shimizu, T.Takahagi

    2006年12月 

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  • 陽極酸化アルミナ膜におけるマイクロホールの形成現象

    山下尊史, 浮田真司, 新宮原正三

    2006年9月 

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    開催地:京都  

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  • Diameter controlled CVD growth of CNTs using AAO template on Si substrate with Ni silicide catalyst

    S.Shingubara, T. Ishida, T.Shimizu, T.Takahagi

    2006年7月 

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    開催地:Switzerland, Basel  

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  • Large Negative Resistance Observed in 3-D Network of DNA and Gold Nanoparticle Formed by DNA Mediated Self-organization

    S. Shingubara, Y. Fujii, M.Hosoda, T. Takahagi

    2006年7月 

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    開催地:Switzerland, Basel  

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  • ポーラスアルミナナノホールを用いたCVD成長CNTの直径制御

    河上茂太, 石田友幸, 清水智弘, 新宮原正三

    2006年5月 

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    開催地:京都  

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  • 陽極酸化アルミニウムのフォトルミネッセンス特性

    尾形健一, 萬宏己, 中西忠彦, 新宮原正三

    2006年5月 

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    開催地:京都  

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  • 陽極酸化アルミナナノホールを用いた強磁性ナノロッド配列の形成と評価

    西河丞, 山下尊史, 清水智弘, 石田友幸, 新宮原正三

    2006年5月 

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    開催地:京都  

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  • 陽極酸化アルミナ・テンプレートを用いたSi基板上でのエピタキシャルCuナノドット配列の形成

    清水智弘, 石田友幸, 尾形健一, 坂上弘之, 高萩隆行, 坂田修身, 新宮原正三

    2006年3月 

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    開催地:東京  

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  • Preparation of nano-sized template using AAO nanoholes for growth of epitaxial nanocolumn arrays

    T. Shimizu, T. Ishida, H. Sakaue, T. Takahagi, O. Sakata, S. Shingubara

    EPTM 2005  2005年10月 

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  • Growth of diameter controlled CNTs by catalytic CVD using porous alumina template

    T.Ishida, T.Shimizu, H.Sakaue, T.Takahagi, S.Hisada, S.Nakahara, T.Fujita, S.Shingubara

    EPTM 2005  2005年10月 

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  • 陽極酸化アルミナを用いた磁性ナノロッド配列の形成と磁気特性

    清水 智弘, 石田 友幸, 徐 軍, 新宮原 正三

    2005年9月 

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  • 自己組織化AAOナノホール二次元配列からのCNTの選択CVD成長

    石田友幸, 清水智弘, 新宮原正三

    2005年9月 

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  • 自己組織化AAOナノホール配列からのCNTの選択CVD成長

    石田 友幸, 清水 智弘, Hao-Ting, 新宮原 正三

    2005年3月 

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    開催地:東京  

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  • Large resistive switching phenomenon induced by magnetic field in nano conduction path formed in SiO2

    SHIMIZU T, OTUKA S, TAKASE K, SHINGUBARA S

    ICM 2012 

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    開催地:BUSAN, Korea  

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  • “Study on Adhesion Properties of Electroless Barrier Formed with Pd Nanoparticle Catalyst for High Aspect Ratio TSV”

    F. Inoue(D, H. Miyake(D, R. Arima(D, K. Kondo, T. Hayashi, T. Shimizu, S. Shingubara

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    開催地:Dresden, Germany  

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  • Evaluation of crystal structure of porous Si nanowires prepared by metal assisted etching”

    YAMAGUCHI T, SHIMIZU T, WANG C, WANG Q, SHINGUBARA S, KUZNETSOV A

    MRS 2012 Spring Meeting 

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    開催地:San Francisco, USA  

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受賞

  • 応用物理学会フェロー表彰

    2015年9月   応用物理学会  

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  • 国際固体素子材料コンファレンス・最優秀論文賞

    1991年9月   国際固体素子材料コンファレンス委員会  

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教育内容・方法の工夫(授業評価等を含む)

  • 学部専門における基礎科目においては、講義中の演習、宿題などを半期に5-6回実施して、学生の理解度のチェック及び達成目標を講義途中で明確に示すなどの工夫を行っている。特に初学者がおちいり易い誤解や、必要かつ有効な数学的計算手法について、折に触れて丁寧に解説している。これらの工夫を行った対象科目は、解析力学I、解析力学II、量子統計力学入門、統計力学入門、物性論、などである。 また、講義の初回においては、講義内容やその科学技術的な意味を明確に伝えるため、関連する技術を用いた具体的な製品の例やその発展歴史などを紹介し、学生への啓発を行い、講義の意味づけを行っている。 授業評価アンケートに関しては、学生からの声を講義中に読み上げ、多数の学生からのか意見かどうかを確認しつつ、講義へフィードバックを行っている。アンケート自身は個人的な意見が多く、すべてに対応するのは困難である。

作成した教科書、教材、参考書

  • 教材に関しては、パワーポイントファイルなどを独自で作成した。 対象となる講義は、「しくみを形作る機械工学(全学共通科目)」、などである。 なお、講義ノートは独自で作成し、多くの講義では板書により講義を進めている。 ある講義に関しては、1冊のテキストで講義内容を網羅できないものがあるので、テキストの執筆を準備している。

教育方法・教育実践に関する発表、講演等

  •  特になし

その他教育活動上特記すべき事項

  • 学部教育における講義に関しては、教員によるばらつきが非常に大きいという学生からの声がある。特に必修科目や選択必修科目においては、少なくとも私が担当する講義間での成績評価のばらつきをなくす努力をしている。学部入学時点で、基礎学力に関しては学生間に大きなばらつきがあるのが現状である。 講義を行う立場からは、優秀な学生の興味をそらさずに質の高い講義をすると共に、そうでない学生の理解度を引き上げる努力をせねばならない。これは本学の学部教育の最大の課題であり、大人数クラスにおいては習熟度別の講義を他の教員と分担して行ってきた。しかし、専門的な講義に関してはこのような習熟度別クラスの設定は不可能であるので、独自に工夫を行ってきている。